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文档简介
10万级干净室干净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室,是指将肯定空间范围内之空而所赐予特别设计之房间。干净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。它是污染掌握的根底。没有干净室,污染敏感零件不行能批量生产。在FED-STD-2里面,干净室被定义为序以掌握空气悬浮微粒浓度,从而到达适当的微粒干净度级别。及压力等性能之特性。分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是掌握每立方米将小于微米粒径的微尘数量掌握在3500个以下,就到达了国际无尘标AA10001K也要求工艺、建筑及其他专业实行相应的措施:不但要有合理的设计,而且还要施中到达干净度要求的四个必要条件简要论述。一、送风干净度要保证送风干净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。≥%,B≥%,C,D≥μm[2]≥μm粒子)95~%。效率越高,过滤器的价格也越贵。所以选择过滤器时应本着既要满足低性能过滤器、高级别干净室选用高性能过滤器为原则。一般说来:100A;1~100B;100~1C二、气流组织能有效的带走。依据不同的干净度要求,选择不同的送、回风方式。三、送风量或风速尘粒最大允许数/立方米尘粒最大允许数/升尘粒最大允许数/立方米尘粒最大允许数/升四、静压差别地相邻房间或套间维持肯定地正压,负压干净室的干净度才能得以维持。干净室正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数风机和排风机;系统关闭时先关排风机,再关回风机和送风机,以防止干净室在系统开启和关闭时受到污染。到达要求并具备应有的抗污染干扰力量。干净度级别≥μm≥5μm ≥μm≥5μm1003,52029 100100035,200293 100010,000352,0002,930 9968100,0003,520,00029,300 9,96283300,00010,560,00087,900 29,8852491000,00035,200,000293,000 99,616829尘埃最大允许数/3微生物最大允许数相当于干净级别≥ ≥5mm浮游菌/m3 沉降菌皿ISO1003,500051ISO510,000350,0002,0001003ISO7100,0003,500,00020,00050010ISO8300,000300,00010,500,00060,00015ISO9ISO14644最高浓度极限〔颗粒数/m〕近似对应分级传统规格ISO1102ISO210024104ISO31,0002371023581ISO410,0002,3701,0203528310ISO5100,00023,70010,2003,52083229100ISO61,000,000237,000102,00035,2008,3202931,000ISO7352,00083,2002,93010,000ISO83,520,000832,00029,300100,000ISO935,200,0008,320,000293,000悬浮粒子最大允许数/立方米(a)干净度级别静态(b)动态(b)≥μm(d) ≥5μm≥μm(d)≥5μmA35001(e)35001(e)B(c)35001(e)3500002023C(c)3500002023350000020230D(c)35000002,0000不作规定(f)不作规定(f)外表微生物浮游菌沉降菌〔f90mm〕
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