8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书

6-106-10山东大学8环境影响报告书1评价目的与指导思想评价目的保设施设计、环境治理及领导部门决策供给依据。指导思想量缩短评价周期。编制依据国家法规依据〔1989；〔2023；〔2023；〔1996；〔1996；〔2023；〔1991；〔2023；253〔1999；2023；24》〔2023〕；26前优先进展的高技术产业化重点领域指南》〔2023.4.30〕；99〔2023；〔20233[2023]86；〔2023；〔国家环保总局、国家经贸委、对外贸易经济合作部、公安部〔199；〔环发[2023]152。技术标准依据⑴HJ/T2.1～2.3-93⑵HJ/T2.4-1995⑶HJ/T19-1997⑷HJ/T169-2023工程依据〔环发[2023]17；⑵国家计委、国家环保局《关于标准环境影响询问收费有关问题的通知》〔[2023]125；⑽泷芯宇通〔烟台〕集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程申请TJTJ36-79居住区大气中有害物质的最高允许浓度溴化氢0.10mg/m3日平均丙酮0.80mg/m3一次浓度氨0.20mg/m3一次浓度前苏联居民区大气中有害异丙醇0.60mg/m3一次浓度⑾泷芯宇通〔烟台〕集成电路有限责任公司环境影响评价托付书。评价标准行标准如下。环境质量标准环境质量标准具体见表1-1。类别序号环境因素执行标准类别序号环境因素执行标准污染因子标准限值备注1地下水环境环境Mn氰化物硫酸盐总硬度溶解性总固体PM100.05mg/L250mg/L450mg/L1000mg/L0.15mg/m3日均质NO2量《环境空气质量标准》〔GB3095-1996〕二级标准SO2标准23声环境物质的最大允许浓度〔GB3096-93〕3类标准北厂界LeqA65dB(A)55dB(A)昼间夜间砷0.05mg/L六价铬0.05mg/L铅0.05mg/L氟化物1.0mg/L镉0.01mg/L《地下水质量标准》锰0.1mg/L〔GB/T14848-93〕氯化物250mg/LⅢ类标准COD3.0mg/L0.24mg/m31小时平均0.12mg/m3日均0.50mg/m31小时平均0.15mg/m3日均环境空氟化物氯化氢20µg/m37µg/m30.50mg/m31小时平均日平均一次浓度气0.15mg/m3日平均《工业企业设计卫生标准》 硫酸雾 0.30mg/m3 一次浓度《城市区域环境噪声标准》《城市区域环境噪声标准》〔GB3096-93〕4类标准东厂界LeqA4土壤《土壤环境质量标准》〔GB15618-1995〕一级标准砷镉汞铜铅铬锌镍70dB(A)55dB(A)15mg/kg0.20mg/kg0.15mg/kg35mg/kg35mg/kg90mg/kg100mg/kg40mg/kg昼间夜间污染物排放标准污染物排放标准具体见表1-2。类别序号环境因素执行标准1废水类别序号环境因素执行标准1废水《污水综合排放标准》〔GB8978-1996〕三级标准污污染因子pHSSCODCrBOD5石油类动植物油氟化物NH-N3磷酸盐染氟化物标准限值6～9400mg/L500mg/L300mg/L20mg/L100mg/L20mg/L//9.0mg/m30.59kg/h100mg/m31.4kg/h45mg/m38.8kg/h240mg/m34.4kg/h备注30m物氯化氢30m排《大气污染物综合排放标准》〔GB16297-1996〕二级标准硫酸雾30m放氮氧化物30m标2废气《工作场全部害因素职业接触限值》〔GBZ2—2023〕及上海市把握标准《恶臭污染物排放标准》〔GB14554-93〕异丙醇320mg/m330m准氨20kg/h30m砷烷《荷兰排放导则》NER磷烷硅烷1.0mg/m30.01kg/h1.0mg/m30.01kg/h5.0mg/m30.05kg/h排放速率小于0.6kg/h排放削减率大于90%50mg/m3燃气100mg/m3燃油100mg/m3燃气500mg/m3燃油400mg/m3燃气、燃油65dB(A)昼间55dB(A)夜间70dB(A)昼间55dB(A)夜间台湾地区《半导体制造业空气污染管制及排放标准》及台湾地区《半导体制造业空气污染管制及排放标准》及上海拟公布的半岛体行业标准100mg/m3挥发性有机物VOC《锅炉大气污染物排放标准》〔GB13271-2023〕二类区域标准〔第Ⅱ时段〕烟尘SO2NOx《工业企业厂界噪声标准》L3噪声〔GB12348-90〕Ⅲ类标准《工业企业厂界噪声标准》〔GB12348-90〕Ⅳ类标准北厂界eqA东厂界LeqA废气：《大气污染物综合排放标准》〔GB16279-1996〕二级标准，《恶13271-2023〕二类区域标准。关标准。通过调研，收集国外有关标准参照执行如下：①我国台湾地区《半导体制造业空气污染管制及排放标准》对特征污染物90%。本工程有VOC拟公布的半岛体行业标准。②对于目前我国尚无排放标准的特别污染物，如砷烷、磷烷、硅烷等，参照执行《荷兰排放导则》〔NER，NederlandseEmissieRichtlijnen=DutchEmissionGuidelines〕。关于该导则需要说明的是：NER不是类同于中国排放导方针。噪声：营运期执行《工业企业厂界噪声标准》〔GB12348-90〕Ⅲ类标准，施工期执行《建筑施工场界噪声限值》〔GB12523-90〕。环境影响因素识别及评价因子筛选环境影响因素识别和噪声等。备实行相应消声、减噪措施后对声环境的影响较小。依据以上工程特点及厂址四周环境状况，确定拟建工程的环境影响要素详1-3。1-3拟建工程环境影响要素识别表工程阶段环境空气水环境 声环境 生态环境社会环境施工期▢▢ ▢ □□运营期■▢ ▣▢注：表中■表示影响显著，▢表示影响一般，□表示影响略微，▣表示根本无影响。环境影响因子识别施工期工程施工期间对环境的影响很大程度上取决于工程特点、施工季节以及工程所处的地形、地貌等环境因素。经分析，施工期主要环境影响因素见表1-4。表1-4 施工期主要环境影响因素环境要素环境空气

产生影响的主要内容土地平坦、挖掘，土石方、建材运输、存放、使用施工车辆尾气、炊事燃具使用

主要影响因素扬尘NOSOx 2水环境声环境生态环境

施工人员生活废水等施工机械、车辆作业噪声土地平坦、挖掘及工程占地土石方、建材堆存

COD、BOD、SS噪声水土流失、植被破坏占压土地等施工期1-5。环境影响因素环境要素废气表环境影响因素环境要素废气酸性碱性有机VOC废水噪声固废废气废气废气烧废气环境空气有影响地表水有影响地下水略微影响声环境有影响生态略微影响土壤略微影响略微影响略微影响评价因子确实定1-6。工程专题主要污染源现状评价因子工程专题主要污染源现状评价因子推想因子环境空气工艺废气氟化物、HCl、硫SONOPM、氟化物、氯化氢、溴化氢、氨、酸雾、NH2 2 10 3硫酸雾、VOC、丙酮、异丙醇共11项 醇、VOC、氮氧化物地表水生产、生活污水工程区四周河道已枯槁无水，因此未进呈现状监测影响分析砷、六价铬、铅、氟化物、镉、锰、氯化物、地下水厂区污水COD、氰化物、硫酸盐、总硬度、溶解性总固Mn影响分析14土壤厂区土壤砷、镉、氟、汞、铜、铅、铬、锌、镍共9项--噪声厂区生产设备LAeqLAeq评价等级及评价重点大气环境影响评价等级大气环境》的评价级别计算方法：P等标排放量

Q单位时间排放量kg/hi

106i C 环境空气标准1小时浓度mg/m3oi结合评价区范围内的地形特点，确定的评价等级详见表1-7。表1-7 拟建工程大气环境影响评价等级确定表序号大气污染物Qi〔kg/h〕Coi〔mg/m3〕Pi地形评价等级确定1氟化物0.070.023.5×106三级2氯化氢0.0330.050.66×106三级3硫酸雾0.140.300.47×106三级4NOx4.930.150.32×108三级SO2

0.016

0.50

0.032×106

山丘陵区三级异丙醇NH3烟尘

0.140.0860.67

0.600.200.30

0.23×106 三级0.43×106 三级2.23×106 三级建工程环境空气影响评价应执行二级评价。水环境影响评价等级t/a，经厂内污水处理站处理达标后经市政污水管网排入烟台市套子湾污水处理厂，因此本次环评重点对本工程废水经厂内污水处理站处理达标后再通过市政管网进入烟台市套子湾污水处理厂处理的可行性和牢靠性进展分析。响仅作简要分析。声环境影响评价等级依据地方环境功能区划，工程厂址所在区域适用于《城市区域环境噪声标3前后噪声的增量较小，受影响人口变化不大，因此依据《环境影响评价技术导〔HJ/T2.4-1995〕价。环境风险评价等级料包含剧毒危急性物质，因此本次环评环境风险评价定为一级评价。评价范围和重点保护目标1-81-1。环境要素环境保护对象名称方位环境要素环境保护对象名称方位〔米〕评价范围环境功能环境空气以厂址为中6km的范围《环境空气质量标准》GB3095-1996二级水环境内夹河和大沽夹河流域厂址500m的范围声环境厂界外1米《地表水环境质量标准》GB3838-2023Ⅲ类标准《地下水质量标准》〔GB/T14848-93〕Ⅲ类标准《城市区域环境噪声标准》GB3096-933类标准吕格庄SW1600芝阳山医院N1100房家疃ENE1600前埠村居民点W150福山区政府N2800东留公W1300水厂地下水取水口WNW1100芝阳小区N1400南涂山SE1700大沽夹河E2600内夹河W1000地下水取水口W500前埠村W1502章建设工程概况工程建设内容工程概况工程名称：泷芯宇通〔烟台〕集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片项目建设性质：建筹建方：森邦集团〔美国〕〔SCHAUMBONDGroup.Inc.〕2-1A、2-1B。总投资：12.6生产规模和产品方案883CMOS工艺技术水平，并将同时CMOSBiCMOS生产。厂区布置和工程组成厂区布置工程组成建筑物状况及主要数据指标见表2-1，工程组成状况详见表2-2。表2-1 建筑物状况及主要数据指标一览表序号工程 建筑面积m2指标1办公研发楼 193942综合楼 142883八英寸芯片厂房 592604综合动力站 152995气站 11106化学品库 14267锅炉房 7078活动室和餐厅 32129倒班宿舍 1503810门卫18011总用地面积13329312总建筑占地面积4250213总建筑面积12991414容积率0.9715建筑密度32％16绿化率2-2拟建工程组成状况一览表36％序号设施名称内容1生产设施1生产设施2动力设施3关心设施4环保设施5效劳设施6主要由8英寸芯片厂房、办公研发楼等构成，内容包括：集成电路芯片生产设施、集成电路测试设施、试验设施、原材料半成品及成品存放、生产线技术治理、生产线设备修理等。由综合动力站，锅炉房、气站等构成，内容包括：水泵房、纯水站、废水站、冷冻站、锅炉房、空压站、真空站、净化、通风和排风系统、消防等；变电站、柴油发电机房〔备用、大宗气体供给站。化学品库、硅烷站〔SiH、自然气调压站N、特别气体供给系统、大宗4气体供给系统，空分主装置(PL-2E)，包括：主空气压缩机,氮气压缩机。工厂空气装置CDA，包括：空气压缩机。工业废水处理系统、生活污水处理系统、废气处理系统、废液、废渣收集系统、绿化、雨水回收处理系统。由办公研发楼，综合楼、倒班宿舍、专家宿舍、活动室及餐厅等构成，内容包括：办公、会议、餐厅等用房；停车场厂外设施给水管线、排水管线、自然气管线、高压输电线、通信线路等。司，生产、生活污水末端处理依托烟台市套子湾污水处理厂拟建工程的主要技术经济指标状况详见表2-3。表2-3 拟建工程主要技术经济指标一览表序号工程名称单位数量备注1生产力气万片/月380.13～0.25μm2所需人数人15003生产线主要设备仪器台〔套〕3654用地面积m21332935总建筑面积m21299146工程总投资万美元126000〔1〕建设投资万美元100000〔2〕流淌资金万美元260007正常生产年年销售收入万美元1202308正常生产年所得税后利润万美元329039所得税前内部收益率%28.2610所得税后内部收益率%24.4711税后静态投资回收期年5.011.5年12税后动态投资回收期年6.151.5年定员及年时基数200300人，操800200人。年工作日360天，生产线工人实行四班二运转工作制，每天2班，每班1222工