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流行饰品材料及工艺教育部职业教育宝玉石鉴定与加工专业教学资源库GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary物理气相沉积工艺的分类建设者姓名：尚颖丽物理气相沉积工艺物理气相沉积工艺的分类-离子镀

离子镀离子镀是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反应物沉积在基底上。离子镀兼具蒸发镀的沉积速度快和溅射镀的离子轰击清洁表面的特点，具体来说有以下方面：(1)膜层与衬底之间具有良好的附着力，并且薄膜结构致密。(2)可以提高薄膜对于复杂外形表面的覆盖能力，或称为薄膜沉积过程中的绕射能力。(3)膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物涂层。谢谢观看！

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