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人工宝石及宝石优化处理教育部职业教育宝玉石鉴定与加工专业教学资源库GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary化学气相沉积法的原理化学气相沉积法的原理原因:在气相中发生气相-气相反应，然后生成粉末，该粉末出现在反应系统之外。从气相析出固相的驱动力(drivingforce)是根据基体材料和气相间的扩散层内存在的温差和不同化学物质的浓度差，由化学平衡所决定的过饱和度。化学气相沉积法的原理过饱和度(β)定义为

β=(P)g/(P)式中，(pA)是气体热力学平衡求出A的分压;(pA)是在AB固体化合物的析出温度时的平衡蒸气压。化学气相沉积法的原理CVD法析出的化合物形状的决定因素:反应温度、有助于反应的不同化学物质的过饱和度、在反应温度时的成核速率等。为了得到优质的薄膜，必须防止在气相中由气相-气相反应生成均相核，即应首先设定在基片表面促进成核的条件。化学气相沉积

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