年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目申请立项环境影响评估报告

银笛（扬州）微电子有限公司建设项目环境影响报告书PAGEPAGE3本报告由环保资料网--收集整理归档资料，核准通过。未经允许，请勿外传！归档资料，核准通过。未经允许，请勿外传！银笛（扬州）微电子有限公司年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目环境影响报告书（简本）银笛（扬州）微电子有限公司目录TOC\o"1-2"\h\z\u1 总论 11.1 任务由来 11.2 评价目的 11.3 编制依据 21.4 评价原则 41.5 评价重点 51.6 评价因子 51.7 评价等级 51.8 评价范围 61.9 评价工作技术路线 72 建设项目周围地区环境概况 82.1 自然环境概况 82.2 社会环境状况 132.3 经济开发区总体规划 132.4 开发区环境功能区划 182.5 评价标准 182.6 建设项目环境保护目标 203 工程分析 223.1 本项目概况 223.2 生产工艺流程及原辅料能源消耗 273.3 主要生产、公用及贮运设备 353.4 公用工程 353.5 污染源分析 374 污染防治措施 504.1 大气污染防治措施评述 504.2 水污染防治措施评述 524.3 噪声污染防治措施评述 564.4 固体（废液）污染防治措施评述 564.5 非正常排放防范措施 574.6 绿化 574.7 排污口规范化设置 594.8 环保投资及“三同时” 595 清洁生产与循环经济分析 625.1 产业政策相符性分析 625.2 清洁生产 625.3 循环经济 646 环境质量现状评价 656.1 大气环境质量现状监测与评价 656.2 地表水环境质量现状监测及评价 677 环境影响预测及评价 727.1 大气环境影响预测及评价 727.2 地表水环境影响分析 857.3 声环境影响分析 857.4 固废环境影响分析 878 施工期环境影响分析与防治 888.1 施工期环境影响分析 888.2 施工期环境影响防治 899 总量控制分析 929.1 总量控制要求 929.2 总量控制原则 929.3 总量控制因子 929.4 总量控制指标 929.5 总量平衡方案 9310 环境风险评价 9410.1 风险评价等级的确定 9410.2 风险识别 9510.3 源项分析 9610.4 事故防范 9710.5 结论 10111 项目厂址可行性分析 10211.1 项目选址与规划相容性 10211.2 项目选址与评价区域的环境质量现状的相容性分析 10211.3 本项目实施后对周围环境的影响 10312 公众参与 10412.1 建设项目环评公众参与公示 10412.2 公众意见问卷调查 10413 环境经济损益分析 10913.1 经济效益分析 10913.2 社会效益分析 10913.3 环境效益分析 10914 环境管理与监控计划 11114.1 环境管理 11114.2 环境监控计划 11214.3 排污口规范化设置 11315 结论与建议 11515.1 结论 11515.2 建议 119总论任务由来主要环境保护目标本项目概况本项目名称、建设地点、建设性质、投资总额、环保投资本项目建设内容占地面积、厂区布置职工人数、工作制度生产工艺流程及原辅料能源消耗生产工艺流程固定固定切片快速退火倒角分档检测研磨磨片检测腐蚀A/B分档检测粗抛光RCA清洗检测纯水洗检测包装出货单晶硅棒水S1W1S2W2S3纯水洗氮气氧气磨片剂S4水W3水纯水洗A：混酸B：碱液氮气A：G7、8S11B：S12水A：W11B：W12纯水洗水W13纯水洗精抛光研磨剂S13精磨剂S14水W14RCA清洗W4~10S6~10G2~6图3-1单晶硅抛光片工艺流程及产污节点图溶剂G1S5清洗W15~21S15~19G9~13水W22SPM清洗SPM清洗纯水洗DHF清洗纯水洗APM清洗HPM清洗纯水洗DHF清洗纯水洗图3-2RCA清洗工艺流程及产污节点图硫酸、双氧水氢氟酸氨水、双氧水盐酸、双氧水氟化氢GSW4GSW5GSW6W7W8W9W10GSGS纯水洗热水洗纯水洗水水水水水水水纯水洗纯水洗硅衬底材料检测外延生长测试检验真空包装外延炉石英管清洗HCl+N2、H2、SiHCl3、PH3、B2H6、N2、石英、石墨G14S20、S21混酸G17~18S23水洗纯水W26图3-3硅外延生产工艺流程及产污节点图图3-4外延炉石英管清洗工序及产污节点图S24水SPM清洗纯水洗碱清洗纯水洗硫酸、双氧水水水氨水G15S22W23W24G16S23W25主要原辅料及能源消耗主要原辅料、能源消耗见表3-3。主要生产、公用及贮运设备公用工程供电供水供热纯水制备自来水自来水加絮凝剂原水箱原水泵机械过滤器活性炭吸附器热交换器5μ保安过滤Ⅰ级高压泵器Ⅰ级RO装置器Ⅱ级高压泵器Ⅱ级RO装置器真空脱气装置中间水箱中间水泵EDI装置氮封纯水箱纯水泵抛光树脂床TOC杀菌器器超过滤器器生产工艺用水水箱水泵循环冷却系统器冷却器图3-5超纯水制备工艺流程图清洗装置清洗装置pH调节加阻垢剂排水氢气、氮气的供应污染源强及污染物排放量分析污染防治措施大气污染防治措施评述大气污染源大气污染防治措施及可行性分析废气废气吸附设备风管集气罩引风机排放图4-1有机废气处理系统流程图洗涤液洗涤液废气洗涤塔主风管支风管引风机废气洗涤循环水池进入废水处理系统排放图4-2酸、碱废气处理系统流程图（3）特种废气对外延生产工序产生的特种废气HCl、SiHCl3以及微量的PH3和B2H6经过收集后进入湿式外延清洗器，采用5段水喷淋和水洗方式对外延尾气进行充分的水洗和稀释，将其中绝大部分的HCl、SiHCl3、B2H6和微量的PH3溶解于水，经过水洗后的尾气在设备中被大量的空气稀释，再通过管道向室外高空排放；废气洗涤水进入废水处理设施处理。湿式外延清洗器设有手动的旋转刮板装置，用于清理尾气入气口处的附着物粘附在入气口的管壁造成堵塞；并采用氮气密封装置，将入气口清理装置的尾气与外界隔离，确保没有尾气泄漏；通过水流量表和调节阀，用于水流量调节，以满足使用；采用不锈钢做骨架，增加强度和仿腐蚀能力；其他均采用透明PVC材料，