友达光电(昆山)有限公司第一阶段建设项目环保“三同时”执行情况报告

友达光电(昆山)有限公司ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANMANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59项目名称：第6代LTPSTFT-LCD生产线项目建设地点：昆山经济技术开发区龙腾路6号开工日期：2015年8月建成日期：2016年11月职工人数：3000人12小时，年工作天数360天，年工作小时数8640小时。(二)建设项目主体工程及产品方案、公用及辅助工程详细情况。第6代LTPSTFT-LCD生产线项目主体工程包括：阵列工程(铝制程)、1.1阵列工程友达光电(昆山)有限公司2AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59阵列工程生产工艺流程见图1.1-1友达光电(昆山)有限公司3AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59DI纯水Mo/Al靶材DI纯水N₂O,SiH₄,NHMo/Al靶材44N₂,H₂,SiH₄,NH₃DI纯水5次掩膜光刻图1.1-1-2阵列工程工艺流程图友达光电(昆山)有限公司5AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59ITO像素溅射沉积N₂,H₂,SiH₄,NH₃DI纯水友达光电(昆山)有限公司6图1.1-1-3阵列工程工艺流程图1.2彩膜工程序包括玻璃基板清洗、黑色矩阵膜(BM)形成、彩色滤光膜(红绿蓝R彩色滤光片ColorFilter的基本结构见图1.2-1所示，从图中可见，其结构由下而上分别是：玻璃基板/黑色矩阵层(BM层)/彩色矩阵层(RGB层)/保护层(0C层)/导电层(ITO层)。图1.2-1彩色滤光片ColorFilter基本结构图③RGB层(红色/绿色/蓝色层):LCD之所以会有颜色，是因为背光光友达光电(昆山)有限公司7ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59阵(红色、绿色、蓝色三色),保护层(OC)与溅射ITO膜。PS层(PhotoSpacer层):传统TFT-LCD面板工程成盒工序中，在阵列玻璃与彩膜玻璃(彩色滤光片)之间由随机洒布的间隔球(spacerbead) PS结构见图1.2-2。图1.2-2PS结构示意图友达光电(昆山)有限公司8ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:591.3成盒工程友达光电(昆山)有限公司9AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59摩擦配向处理，在阵列基板涂布封框胶及进行液晶注入，两基板在真空中粘合、固化，即成盒。再根据下游厂家的需求进行盒分割，再贴上偏光片，加入电信号作图像检查后即成为LCD面板。成盒工程工艺流程图见图1.3-1。涂P1及固化光照取向摩擦取向涂P1及固化图1.3-1成盒工艺流程图友达光电(昆山)有限公司AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:591.4薄化工艺查、研磨、清洗和质量检查。薄化工程的工艺流程图见DI纯水图1.4-1薄化工程工艺流程图ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59图1.5-1。DI纯水DI纯水ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANMANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59友达光电(昆山)有限公司第一阶段建设项目环保“三同时”执行情况报告1.6模块工程模块工程是向LCD面板连接驱动芯片和信号基板，组装背光源和防护罩，在加温状态下作老练处理，再作最后电气特性检查后即成为LCD模块。此模块可提供给下游厂家使用。模块工程工艺流程图见图1.6-1。TFTTFT显示屏FPC软板压合图1.6-1模块车间制作工艺流程图1.7产品方案：阵列玻璃72万片/年，彩膜工程72万片/年，液晶面板屏1998000m2/年。2.公用及辅助工程设施2.1主要能耗及设备本项目主要能源及动力消耗情况见表2.1-1。表2.1-1主要能源及动力消耗情况表序号消耗量备注1城市电网(220kv鹿成变电234天然气用量开发区5压缩空气6真空78蒸汽表2.1-2公用工程设备表一览表规格型号台备注1锅炉CZI-1700GS(BM)然气型227310m³,卧式24电梯5空压机13用2备62备用7空气储气罐2879LPG罐3AUOCONFIDENTIAIKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:5916242.2供电系统1)供电电源容量为20MVA的油浸式主变压器1台，500kVA干式变压器2台，1500kVA干式变压器32台，2500kVA干式变压器47台，7500kVA干式变压器6台，2)自动控制2.3给排水系统1)给水系统AUOCONPIDENTIALKL6KSOZHIYUANANCZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:592)排水系统2.4气体动力系统1)冷热水系统根据低温冷负荷情况，设置2750RT低温冷水机组3台，并预留2台三根据中温冷负荷情况，设置3000RT中温冷水机组6台(1台备用),并燃气真空热水锅炉组成。设置燃气热水锅炉3000KW3台(2用1备)。热水2)压缩空气ALOCONFIDENTLALKL6KSOZHIYUANWANGZzhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59拟设置19200Nm³/h空压机15台(13用2备),9600Nm³/h空压机2台(备3)供热、供蒸汽本项目拟设置3台热水锅炉(2用1备)和3台蒸气锅炉(2用1备)。4)大宗气体其是氧为50m²储罐1只，氮为150m储罐2只，氩为15m³储罐1只，氦为集装格(12瓶，计800L)。氢气和二氧化碳供气站产权为友达光电(昆山)有限公司所有，其中氢气为长拖管车(计3000Nm³),二氧化碳为10m³储罐1只。5)特气系统N₂O、CF₄、Xe、Ne+H₂、H₂+Ar、CHF₃、HCl+H₂+Ne、BF₃共16种，钢瓶存储。除硅烷外以上特种气体均存放在G栋综合动力站二(特种气体间)内，硅烷存在槽车区二(硅烷站)内，通过管道输送到生产车间。5)工艺真空系统系统能力27,600Nm/h,用量23,400Nm³/h,本项目拟采用1350Nm³/h真AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59空泵机16台，14用2备，1500Nm³/h真空泵机4台，3用1备。6)柴油供应系统2.5纯水系统2.7采暖、通风、空调、净化1)热媒冬季)及非洁净区空调(冬季)提供加热热源。2)冷媒AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59-洁净区内干式冷盘管(DDC)、新风机组一级冷盘管、洁净室循环机组的冷盘管所用冷媒为14～20℃的中温冷水。配变电间、UPS室、内区等空调系统的冷盘管所用冷媒为14～20℃的中一般降温空调机组冷盘管所用冷媒为14～20℃的中温冷水。3)空调与净化①净化空调开放式生产车间内的净化级别主要包括Class10和Class1000:Class10洁净区采用垂直单向流，顶部均布FFU(风机过滤单元),FFU的覆盖率为100%,Class1000洁净区FFU的覆盖率为16%;同时利用大量循环风，循环风 (循环风经干表冷盘管冷却降温)与处理后的新风混合后，进入上部回风静压箱，经FFU加压、过滤后送入生产区。回风→干表冷盘管→和新风混合→FFU→生产区→回风格栅地板→回根据工艺房间内工艺生产流程及生产采用的化学品类型不同，为了防止化学污染物在不同的生产区域之间造成交叉污染，将工艺区划分为若干的独立回风区域。洁净生产区内的设备、人员和照明发热以及围护结构传热等的冷负荷由干表冷盘管承担。支持区内洁净服更衣间、玻璃投入间等有洁净要求的房间，采用组合机组+高效过滤器送风口的净化空调系统：顶部均布高效过滤器送风口，洁净室两侧处设回风夹道，回风夹道底部布置百叶风口，新风引自洁净室新风机组空调机组；回风与新风混合，经组合机组冷却后，经风管由高效过滤器送风口过滤后送入生产区，即上部送风、侧下部回风的气流组织形式。各净化空调房间都送有满足规范要求的新风，新风由新风处理机集中处ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59办公区等房间采用风机盘管+新风(单独处理)机组的空调形式。4)通风气次数为12～15次/h。事故排风系统为防爆系统。间设计了加压送风系统。人员较多的大于300m²的丙类洁净生产区AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:592.8通信、信息系统1)电话通信系统、计算机网络系统2)火灾报警和消防联动控制系统防控制室内24小时设有专人值班，并设可直接报警的外线电话。3)广播系统4)安防系统ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59一座固废站(S栋),建筑面积2100m,其中危废库210m²,一般固废库(三)项目变动情况，需要明确所列的项目变动内容是否属于重大变动。无二、环保“三同时”执行情况乙酸、硫酸、氢氟酸和氯气等。本项目共设置12套酸性废气处理系统(8用4备),其中，阵列厂房(A/C栋)有3根酸性废气排气筒，2用1备；薄化工程厂房(B栋)有5根酸性废气排气筒，4用1备；动力厂房(G栋)有1根酸性废气排气筒；厂区污水处理站有2根酸性废气排气筒，1用1备。(2)碱性废气处理系统栋)有4根碱性废气排气筒，2用2备；成盒工程厂房(F栋)有2根碱性废气排气筒，1用1备；触控工程厂房(B栋)有1根碱性废气排气筒；动(3)剥离废气处理系统变更项目共设置2套剥离废气处理系统(1用1备)。其中，阵列厂房(A/C栋)有2根剥离废气排气筒，1用1备；触控工程厂房(B栋)有2根剥离AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGzhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59废气排气筒，1用1备。剥离废气处理系统由剥离废气吸收塔、排风机、喷经硫酸吸收液喷淋处理，处理效率可达90%,达标后再排入大气。序过程中，会使用到SiH4NFNHPHSF本项目共设置3套CVD废气处理系统(2用1备)。CVD废气处理系统包括区域处理系统(POU处理设备)和中央处理系统(集尘设备及碱液喷淋吸收塔),收集效率可以达到99%以上，废气处理效率可达80%。(5)有机废气处理系统6套“沸石转轮+氧化炉”处理系统(3用3备),TVOC收集效率可以达到99%2)废水处理(1)根据生产废水的种类，采取分质处理，即将无机废水(含氟废水(2)含氟废水在采用石灰沉淀法的同时，使用高分子絮凝剂，能加速(3)含磷废水采用化学沉淀法处理后接入有机废水处理系统进一步处AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59(4)酸碱废水经中和处理后直接排入城市污水管网，进入蓬朗污水处(5)生活污水经化粪池和隔油池预处理后，经生活污水排放口排入开(6)为了确保各废水预处理系统正常运行，污水处理系统设有中央控3)固废处理(1)一般工业固废处理本项目生产过程中产生的一般工业固体废物主要有废包装材料、废手等，收集后暂存于厂区的S栋仓库，由废品回收商收购处理，处置周期约3(2)危险固废处理4)噪声处理AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志远2017-02-0809:03:59三、环境管理情况(一)环境管理机构情况。(1)机构设置(2)机构职责序号岗位设置岗位职责1环境与卫生安全部环保事项主导部门，负责环保各项申报，配合环保主管机关检查及内部环保稽核管理。2厂务空调课废气处理主导部门，负责废气处理设备、管路、烟囱等附属设备及其相关文件维护管理。3厂务水务课