版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
本文格式为Word版,下载可任意编辑——Fab3Cell工程ESDIPQC作业规范文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次1/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業規範ME030-00051.0目的
規範ESDMonitor監控系統與KeyenceSensorESD監控系統IPQC管制規格及異常時之反應流程。
2.0適用範圍
LCD南科廠:CELL工程各站
PI&Rubbing:ESDMonitor監控系統、KeyenceSensorESD監控ODF:ESDMonitor監控系統、KeyenceSensorESD監控2ndCut:ESDMonitor監控系統
3.0IPQC項目:
站別IPQC項目執行頻率執行方式判斷標準SpecOOC規格:>800VOOS規格:>1200VOOC規格:>1000VOOS規格:>1500VOOC規格:>800VOOS規格:>1000VPI&RUBESD監控1次/DailyESD監控系統ODFESD監控1次/DailyESD監控系統2ndCutESD監控
4.0IPQC項目說明
1次/DailyESD監控系統4.1IPQC各項作業細項與規格4.1.1ESD監控作業規範A.點檢頻率與時機:
ESD點檢頻率:1次/Daily點檢值請記錄於各站ESD檢查記錄表B.ESD監控方式
利用各Line裝設之ESDMonitor監控系統進行檢查,監控ESDChart之曲線及變化量以判定線上靜電狀況。
4.1.2ESDTrendChartOOC/OOS認定標準:
本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可,不得以任何方式複製本文件,或將本文件之全部或部份內容透露予無權閱讀本文件之機構或個人。文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次2/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業規範ME030-00051.依各站製程需求訂定ESD判斷標準Spec值,均在OOC以內為正常狀況,不需執行OCAP流程。
2.ESD量測值每小時有10Peak超過OOC設定規格時列為OOC,需執行OOCOCAP流程。
3.ESD量測值每小時有10Peak超過OOS設定規格及連續波幅小於100V時列為OOS,需執行OOSOCAP流程。
ESD值+OOCv+OOSv-OOCv-OOSvOOSOOSESD值在此ESD值在此大於-SpecESD值在此範圍內為正常大於+Spec範圍屬OOC範圍屬OOC
4.1.4ESDSENSOR裝設位置圖
本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可,不得以任何方式複製本文件,或將本文件之全部或部份內容透露予無權閱讀本文件之機構或個人。文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次3/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業規範ME030-0005
4.1.5ESDMonitor異常處置
A.ESDMonitorOOC處理流程.
1.確認線上所生產之產品類形
(TFT&CF&Dummy因本身材料不同,所以於Monitor上所監控的靜電也不一致,因此只針對TFT產品有此規範,CF及Dummy則不此限)。
2.確認線上目前之生產狀況.
(確認目前點檢時段是否處於換線後30分內或PILineDummy下線30分鐘內)。3.檢查ESD異常之設備狀況及ESD監控Sensor位置有無變異。
4.檢查設備上之HugleIonizerBar&KeyenceIonizerBar&X-Ray電源、位置是否正常及放電針使用狀況。
5.確認FI,該產品是否有ESDIssue。
本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可,不得以任何方式複製本文件,或將本文件之全部或部份內容透露予無權閱讀本文件之機構或個人。
文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次4/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業規範ME030-0005
B.ESDMonitorOOS處理流程
1.確認線上所生產之產品類形。
(TFT&CF&Dummy因本身材料不同,所以於Monitor上所監控的靜電也不一致,因此只針對TFT產品有此規範,CF及Dummy則不此限)。2.確認線上目前之生產狀況。
(確認目前點檢時段是否處於換線後30分內或PILineDummy下線30分鐘內)。
3.檢查ESD異常之設備狀況及ESD監控Sensor位置有無變異。
4檢查設備上之HugleIonizerBar&KeyenceIonizerBar&X-Ray電源、位置是否正常,放電針使用狀況及管球是否消耗。
5.確認KeyenceIonizerBar是否正常,並协同ESDMonitor所呈現之波形進行交互確認。
6.ESDChart回復正常後,針對線上產品以1cst至FI進行HotRun,產品均無ESDIssue後檢查頻率回復正常。
7.依上述之檢查調整作業後ESD波形仍無法回復至正常範圍內則需重新進行ESD監控Sensor校正。
8.Sensor校正後重新調整IonizerBar位置、高度和正離子數釋放比例或X-Ray管球的照射角度,並协同手持式量測器量測,確認調整後的靜電值是否在Spec內。9.手動校正作業後需至波形確認,並進行產品檢查,檢查頻率及方法同(步驟六)。
10.完成以上步驟,產品仍有ESDIssue請马上中止生產,並通知權責工程處理。
4.1.6ESDMonitor異常處置流程圖
本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可,不得以任何方式複製本文件,或將本文件之全部或部份內容透露予無權閱讀本文件之機構或個人。文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次5/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業規範ME030-0005ESD監測值oos設備確認異常ooc設備確認IonizerBarCheckNGIonizerBarCheckNG調整OK調整OKOKESD波
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 2025甘肃省安全员-A证考试题库附答案
- 2025年-河北省安全员-C证考试题库
- 2025重庆市安全员知识题库
- 《手的运动》课件
- 课件:新课标《信用工具和外汇》
- 《PICC置管及其维护》课件
- 《南朝山水诗》课件
- 单位人力资源管理制度合并汇编十篇
- 【语文课件】《落花生》复习课件
- 单位管理制度展示选集【人事管理篇】十篇
- 学校安全事故报告和调查处理制度(四篇)
- 石油化工管道布置设计规范
- 阿尔茨海默病(AD)的影像学诊断
- JJF 1622-2017太阳电池校准规范:光电性能
- GB/T 31.1-2013六角头螺杆带孔螺栓
- 西交大少年班英语考试试题
- 初中生物人教七年级上册(2023年更新) 生物圈中的绿色植物18 开花和结果
- 水电解质及酸碱平衡的业务学习
- CSCEC8XN-SP-安全总监项目实操手册
- 口腔卫生保健知识讲座班会全文PPT
- 成都市产业园区物业服务等级划分二级标准整理版
评论
0/150
提交评论