Fab3 Cell 工程 ESD IPQC 作业规范VIP

本文格式为Word版，下载可任意编辑——Fab3Cell工程ESDIPQC作业规范文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次1/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業規範ME030-00051.0目的

規範ESDMonitor監控系統與KeyenceSensorESD監控系統IPQC管制規格及異常時之反應流程。

2.0適用範圍

LCD南科廠：CELL工程各站

PI&Rubbing：ESDMonitor監控系統、KeyenceSensorESD監控ODF：ESDMonitor監控系統、KeyenceSensorESD監控2ndCut：ESDMonitor監控系統

3.0IPQC項目：

站別IPQC項目執行頻率執行方式判斷標準SpecOOC規格:>800VOOS規格:>1200VOOC規格:>1000VOOS規格:>1500VOOC規格:>800VOOS規格:>1000VPI&RUBESD監控1次/DailyESD監控系統ODFESD監控1次/DailyESD監控系統2ndCutESD監控

4.0IPQC項目說明

1次/DailyESD監控系統4.1IPQC各項作業細項與規格4.1.1ESD監控作業規範A.點檢頻率與時機：

ESD點檢頻率：1次/Daily點檢值請記錄於各站ESD檢查記錄表B.ESD監控方式

利用各Line裝設之ESDMonitor監控系統進行檢查，監控ESDChart之曲線及變化量以判定線上靜電狀況。

4.1.2ESDTrendChartOOC/OOS認定標準：

本文件屬瀚宇彩晶股份有限公司所有。未經瀚宇彩晶股份有限公司之書面許可，不得以任何方式複製本文件，或將本文件之全部或部份內容透露予無權閱讀本文件之機構或個人。文文件件名編稱號瀚宇彩晶股份有限公司HannStarDisplayCorp.頁版次次2/264.0Fab3CELL工程ESDIPQC作業規範ME030-00051.依各站製程需求訂定ESD判斷標準Spec值，均在OOC以內為正常狀況，不需執行OCAP流程。

2.ESD量測值每小時有10Peak超過OOC設定規格時列為OOC，需執行OOCOCAP流程。

3.ESD量測值每小時有10Peak超過OOS設定規格及連續波幅小於100V時列為OOS，需執行OOSOCAP流程。

ESD值+OOCv+OOSv-OOCv-OOSvOOSOOSESD值在此ESD值在此大於-SpecESD值在此範圍內為正常大於+Spec範圍屬OOC範圍屬OOC

4.1.4ESDSENSOR裝設位置圖

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4.1.5ESDMonitor異常處置

A.ESDMonitorOOC處理流程.

1.確認線上所生產之產品類形

(TFT&CF&Dummy因本身材料不同，所以於Monitor上所監控的靜電也不一致，因此只針對TFT產品有此規範，CF及Dummy則不此限)。

2.確認線上目前之生產狀況.

(確認目前點檢時段是否處於換線後30分內或PILineDummy下線30分鐘內)。3.檢查ESD異常之設備狀況及ESD監控Sensor位置有無變異。

4.檢查設備上之HugleIonizerBar&KeyenceIonizerBar&X-Ray電源、位置是否正常及放電針使用狀況。

5.確認FI，該產品是否有ESDIssue。

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B.ESDMonitorOOS處理流程

1.確認線上所生產之產品類形。

(TFT&CF&Dummy因本身材料不同，所以於Monitor上所監控的靜電也不一致，因此只針對TFT產品有此規範，CF及Dummy則不此限)。2.確認線上目前之生產狀況。

(確認目前點檢時段是否處於換線後30分內或PILineDummy下線30分鐘內)。

3.檢查ESD異常之設備狀況及ESD監控Sensor位置有無變異。

4檢查設備上之HugleIonizerBar&KeyenceIonizerBar&X-Ray電源、位置是否正常，放電針使用狀況及管球是否消耗。

5.確認KeyenceIonizerBar是否正常，並协同ESDMonitor所呈現之波形進行交互確認。

6.ESDChart回復正常後，針對線上產品以1cst至FI進行HotRun,產品均無ESDIssue後檢查頻率回復正常。

7.依上述之檢查調整作業後ESD波形仍無法回復至正常範圍內則需重新進行ESD監控Sensor校正。

8.Sensor校正後重新調整IonizerBar位置、高度和正離子數釋放比例或X-Ray管球的照射角度，並协同手持式量測器量測，確認調整後的靜電值是否在Spec內。9.手動校正作業後需至波形確認，並進行產品檢查，檢查頻率及方法同(步驟六)。

10.完成以上步驟，產品仍有ESDIssue請马上中止生產，並通知權責工程處理。

4.1.6ESDMonitor異常處置流程圖

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