GB/T 33523.602-2022产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法第602部分：非接触(共聚焦色差探针)式仪器的标称特性

ICS1704020

CCSJ0.4.

中华人民共和国国家标准

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

产品几何技术规范GPS表面结构

()

区域法第602部分非接触

:

共聚焦色差探针式仪器的标称特性

()

GeometricalroductsecificationsGPS—SurfacetextureAreal—Part602

pp()::

Nominalclaracteristicsofnon-contactconfocalchromaticrobe

(p)

instruments

ISO25178-6022010IDT

(:,)

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

计量特性概述

4……………13

附录规范性区域表面结构扫描仪器不同结构的分类

A()……………15

附件资料性一般原理

B()………………16

附录规范性概念图

C()…………………23

附录资料性与矩阵模型的关系

D()GPS……………24

参考文献

……………………25

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是产品几何技术规范表面结构区域法的第部分

GB/T33523《(GPS)》602。

已经发布了以下部分

GB/T33523:

第部分表面结构的表示法

———1:;

第部分术语定义及表面结构参数

———2:、;

第部分规范操作集

———3:;

第部分表面结构测量方法的分类

———6:;

第部分实物测量标准

———70:;

第部分软件测量标准

———71:;

第部分文件格式

———72:XMLx3p;

第部分接触触针式仪器的标称特性

———601:();

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性

———602:();

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性

———603:();

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性

———604:();

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性

———605:();

第部分非接触变焦式仪器的标称特性

———606:();

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准

———701:()。

本文件等同采用产品几何技术规范表面结构区域法第部

ISO25178-602:2010《(GPS)602

分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性

:()》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC240)。

本文件起草单位哈尔滨工业大学华中科技大学上海市计量测试技术研究院山东省计量科学研

:、、、

究院清华大学中机生产力促进中心有限公司中机研标准技术研究院北京有限公司广东皓辰旺科

、、、()、

技有限公司广东锦亚科技有限公司陕西润正检测科技有限公司浙江昂华新材料有限公司西安凯益

、、、、

金电子科技有限公司

。

本文件主要起草人刘俭卢文龙瞿潮庆明翠新刘辰光曹丛尉昊赟朱悦曹世磊郑德灿

:、、、、、、、、、、

张德军向伟明王光建向梅

、、、。

Ⅰ

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

引言

随着国家产品质量提升计划的实施对产品设计制造测量和检验过程中使用的统一规范或原则

,、、

的需求越来越迫切原有产品几何技术规范中表面结构的表示方法及相关标准已不能满足产品制造过

。

程中的表面质量控制要求

。

产品几何技术规范表面结构区域法基于新一代产品几何规范体

GB/T33523《(GPS)》GPS

系通过数字化测量技术软件分析技术及计量评定等手段构建一套全新的三维表面结构测量与分析

,、,

的推荐性国家标准在提出表面结构表示法表面结构参数及规范操作集的基础上分析

。GB/T33523、,

了表面结构测量的方法给出了使用的测量技术及仪器的标称特性特别是在涵盖接触

,。,GB/T33523

式测量仪器的同时重点引入了在高精度测量应用中具有重要价值但缺乏标准支撑的多种非接触式测

,

量仪器还规范了实物测量和软件测量标准给出了软件文件标准和表面结构测量的计

。GB/T33523,

量特性实现了从二维轮廓测量到三维表面结构测量的跨越为产品几何规范体系

。GB/T33523,GPS

提供了计量测试支撑

。

拟由个部分构成

GB/T3352314。

第部分表面结构的表示法规定了产品技术文件例如图纸规范合同和报告中利用图

———1:。(、、)

形符号表示区域表面结构的规则

。

第部分术语定义及表面结构参数规定了用区域法评定表面结构的术语定义和参数

———2:、。、。

第部分规范操作集规定了适用于区域法评定表面结构尺度限定表面的完整规范操

———3:。()

作集

。

第部分表面结构测量方法的分类规定了主要用于表面结构测量方法的分类体系定义了

———6:。,

三类方法描述了三类方法之间的关系并对具体方法做了简要说明

,,。

第部分实物测量标准规定了用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测量

———70:。

标准的特性

。

第部分软件测量标准规定了用于测量仪器软件校验的型和型软件测量标准标

———71:。S1S2(

准具的术语定义

)。

第部分文件格式规定了用于存储和交换形貌及轮廓数据的文件格

———72:XMLx3p。XML

式

x3p。

第部分接触触针式仪器的标称特性规定了表面结构区域法接触触针式仪器的标

———601:()。()

称特性

。

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性规定了使用基于白光轴向色散特

———602:()。

性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性规定了相移干涉法轮廓和区域

———603:()。(PSI)

表面结构测量显微镜的计量特性

。

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性规定了用于表面高度三维映射的相

———604:()。

干扫描干涉测量系统的计量特性

(CSI)。

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性规定了使用点自动对焦探针测量

———605:()。

表面结构的非接触式仪器的计量特性

。

第部分非接触变焦式仪器的标称特性规定了使用变焦传感器测量表面结构的

———606:()。(FV)

非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准规定了区域法表面结构接触触针式仪

———701:()。()

器用作测量标准的实物量具的特性残余误差的评定方法校准验收和周期检定的检测方法

,,、。

Ⅱ

GB/T33523602—2022/ISO25178-6022010

.:

产品几何技术规范GPS表面结构

()

区域法第602部分非接触

:

共聚焦色差探针式仪器的标称特性

()

1范围

本文件规定了使用基于白光轴向色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计

与计量特性

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

产品几何技术规范表面结构轮廓法接触触针式仪器的标称特性

ISO3274(GPS)()[Geo-

metricalProductSpecifications(GPS)—Surfacetexture:Profilemethod—Nominalcharacteristicsof

contact(stylus)instruments]

注产品几何技术规范表面结构轮廓法接触触针式仪器的标称特性

:GB/T6062—2009(GPS)()(ISO3274:

1996,IDT)

产品几何技术规范表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数

ISO4287(GPS)、[Geomet-

ricalProductSpecific