SK海力士半导体（中国）有限公司12英寸集成电路生产线五期技术升级项目环评报告

江苏省环科咨询股份有限公司I1前言 1 2总论 12 3技改项目所地在环境特征分析 30 4现有项目分析 44 江苏省环科咨询股份有限公司II5五期项目工程分析 76 6区域环境质量现状调查与评价 129 7区域污染源调查 141 8环境影响预测评价 143 9环境风险评价 189 江苏省环科咨询股份有限公司III 10施工期环境影响分析 246 11公众参与 251 12环保措施及可行性论证 260 13产业政策、清洁生产及循环经济分析 308 江苏省环科咨询股份有限公司IV14区域污染物排放总量控制 321 15厂址的可行性分析 324 16环境经济损益分析 335 17社会影响分析 34118环境监测与管理 343 19结论与建议 34919.1结论 35019.2建议 354江苏省环科咨询股份有限公司1言主办单位名称：SK海力士半导体(中国)有限公司SK海力士半导体(中国)有限公司(原名海力士—意法半导体有限公为SK海力士半导体(中国)有限公司)。现位于江苏省无锡高新区综合保江苏省环科咨询股份有限公司2在地块为规划的工业用地，符合江苏省无锡高新技术开发区的总体规划；本项目符合《产业结构调整指导目录(2011年本)(修正)》的要求；符合规划及区域环评中的选址要求；符合《省政府关于印发江苏省生态红线区域保护规划的通知》的相关要求。本项目的建设，可以带动相关产业的发展、促进经济的发展，具有明本项目属于技改项目，根据项目性质和特点，本次评价将通过工程污染分析，确定本工程项目排放的污染源强及主要污染物；调查该项目周围环境的主要环境要素的现状，掌握环境基本情况，并预测项目对周围环境的影响程度；评价建设项目污染防治措施；从环境保护的角度论证项目的可行性，指出存在的环境问题，提出相应的防治对策，为项目的决策、设⑴遵循国家法律、法规，紧密结合当前国家和行业的环保政策以及地方环保规划要求，协助建设方采用先进的环保治理技术，确保污染物总量江苏省环科咨询股份有限公司3⑶做好工程分析，贯彻“清洁生产”及“循环经济”的原则，最大限度地减少污染物的排放量。通过环境影响预测，分析建设项目对环境的影⑷坚持可持续发展、经济建设和环境建设协调发展的原则；充分利用近年来项目所在地取得的环境监测、环境管理等方面的成果，开展本项目⑸评价工作应做到客观、公正、真实可靠，为项目环境管理提供科学环保审批的原则进行评价。⑺早期介入原则：环评工作尽早介入工程前期工作中，重点关注技改⑻广泛参与原则：广泛吸收相关学科和行业的专家、有关单位和个人环境影响评价工作一般分三个阶段，即前期准备、调研和工作方案阶段，分析论证和预测评价阶段，环境影响评价文件编制阶段。具体工作过江苏省环科咨询股份有限公司4江苏省环科咨询股份有限公司5为主，主要生产工艺流程不变，仅由于产品线宽要求，导致工艺重复次数物量增加，但该部分增加的废水量及污染物量均经厂内预处理装置处理达无锡新区再生水回用示范工程接管标准后，排入无锡新区再生水回用示范⑶项目性质为技术改造，符合国家与地方的各项产业政策和相关规划处于2002—2020)》的相关要求；符合《无锡新区总体发展规划》的相关要求；符合《无锡国家高新技术产业开发区发展规划环境影响报告书》及其批复的相关要求；符合⑵废气：含氟废气、有机废气、酸碱废气、特殊气体等以及化学品仓无组织挥发的气体。行了调查、监测、分析，在此基础上进行了预测和综合分析评价，得出以江苏省环科咨询股份有限公司6小时。本项目是在原厂区内进行产品技术升级改造，主体工程、配套辅助公用工程、环保工程主要依托原有设施，部分设施会根据产能的调整进行析结构调整指导目录(2011年本)(修正)》的要求；符合《江苏省工业和信锡市人民政府办公室关于转发市经信委无锡市制造业转型发展指导目录锡新区总体发展规划》的相关要求；符合《无锡国家高新技术产业开发区发展规划环境影响报告书》及其批复的相关要求；符合《江苏省生态红线根据清洁生产分析，本项目的产品在国际国内处于领先水平，项目污物达标排放分析废水)、、生活污水等。不同的废水在生产车间内按照清污分流、异质分流的原则。含氟废水和酸性废水经厂内现有预处理设施预处理达到无锡新区再生水回江苏省环科咨询股份有限公司7用示范工程接管标准后，排入无锡新区再生水回用示范工程，经处理后，炭过滤—微滤(膜处理)工艺处理后回用；部分经生化系统处理达新城污水处理厂的接管标准后，排入污水收集管网。生活污水排入新城污水处理②废气：本项目的废气种类比较多，按照生产工艺要求和废气处理的要求，分为含氟废气(PFC)、有机废气(VOC)、酸碱废气(硫酸等挥发的吸收净化塔处理；有机废气采用焚烧处理工艺；特殊废气中砷烷、磷烷采磷酸、废硝酸)、废液(硫酸铵)、废有机溶剂(ACT-935、THINNER、IPA、磷酸、废硝酸)、废液(硫酸铵)、废有机溶剂(ACT-935、THINNER、IPA、江苏省环科咨询股份有限公司8市建设技术有限公司收集处置。建设项目噪声源除来自于现有生产线、动力系统、压缩空气系统、制备，对所用的高噪设备进行防振基础和减振措施，车间采用吸声材料，厂进行了降噪隔声处理。影响分析现状监测数据显示：本次评价的地表水监测断面除氨氮外，其余各项SL。氨氮在要是上游来水水质超标及城市生活污水影响造成的。本项目酸性废水、含氟废水拟通过公司自建的污水处理站预处理达无锡新区再生水回用示范工程接管标准后，通过专门的管网排放进入无锡新区再生水回用示范工程，进行深度处理，达到《生活饮用水卫生标准》(GB5749—2006)后经专用管道回用于海力士公司及周边单位，在新区范本项目除含氟废水、酸性废水外的其他工艺废水、生活污水接入无锡市新城污水处理厂，是可行的。根据《无锡市高新水务有限公司新城水处m告书(报批稿)》水河排水口排入周泾浜，可调节周泾浜、伯渎港水质，项目尾水最终排入京江苏省环科咨询股份有限公司9根据环境影响预测结果，全年逐时气象条件下，环境空气保护目标和面小时浓度满足相应标准的要求；全年逐日气象条件下，环境空气保护目面日平均浓度均满足相应标准的要求；长期气象条件下，环境空气保护目本项目执行已批的卫生防护距离：化学品仓库(四期的)设置300米根据监测结果，各噪声测点昼、夜间噪声均达到《声环境质量标准》根据预测结论，本项目建成后，在正常情况下，新增噪声设施对厂界标准》GB底叠加后，厂界声环境仍论本项目产生的大部分固体废物均可通过各种途径回收重复利用。少部处置后不会影响周围的环境质量。江苏省环科咨询股份有限公司10价格、砷能满足《地下水质量标准》(GB/T14848—93)中的Ⅰ类标准，高酸盐指数、挥发酚、硫酸盐、氟化物、铜、六价格、砷均满足《地下水质项目所在地土壤各项指标的现状值均能达到《土壤环境质量标准》本项目对可能产生地下水影响的各项途径均进行了有效预防，在确保各项防渗措施得以落实，并加强维护和厂区环境管理的前提下，可有效控制厂区内的污染物下渗现象，避免污染地下水，因此项目不会对厂区所在本项目废水均为接管考核量，共分为两个部分，一是接入新城污水处理厂的考核量，一是接入新区再生水示范工程的考核量。接入新城污水处新区再生水示范工程的废水及其污染物的排放量作为接入新区再生水示范本项目主要风险物质为氢氟酸、硫酸、氨和氯气，主要风险类型为泄本项目已经设置围堰、防火堤、事故池、消防水收集池等防范设置以及相应的管理措施可极大的降低风险发生的概率，减轻泄漏事故造成直接江苏省环科咨询股份有限公司11公众参与调查结果表明：本项目得到了较多公众的了解与支持，对该项目的建设，绝大多数人表示支持，无人表示反对。公众要求建设单位重视环境保护，要严格执行国家有关规定及标准，落实各项环保治理措施，江苏省环科咨询股份有限公司122总论江苏省环科咨询股份有限公司13域保护规划的通知》(苏政发(33)关于加强建设项目环评文件固体废物内容编制的通知(苏环办江苏省环科咨询股份有限公司14⑶《环境影响评价技术导则地面水环境》(HJ/T2.3—93)；收集贮存运输技术规范》(HJ2025—2012)。江苏省环科咨询股份有限公司15环境⑺关于海力士半导体(中国)有限公司三期扩建工程环境影响报告书的⑻关于海力士半导体(中国)有限公司三期扩建工程第一阶段竣工环境⑼关于海力士—恒忆半导体有限公司再生水工程情况的报告，锡新管⑾海力士—恒忆半导体有限公司三期扩建项目第一阶段竣工环境保护⑿关于海力士—恒忆半导体有限公司《180K片/月晶圆铜制程技改项⒀关于对海力士半导体(中国)有限公司四期工程月产12英寸(线宽⒂关于SK海力士半导体(中国)有限公司四期工程月产12英寸(线江苏省环科咨询股份有限公司16区城污水处理厂)；(23)无锡德宝水务含氟废水(海力士五期)扩建工程环境影响报告表及⑴大气江苏省环科咨询股份有限公司17⑹噪声价工作等级及评价重点XiCP=CiiC0i江苏省环科咨询股份有限公司18m级级判据(ug/m3)(ug/m3)(%)121//雾//NH3/2废气排气筒/3/(ug/m3)(ug/m3)(%)1//NH3/雾/2//NH3/雾/3NH3/由于本项目同种排气筒排放的污染源强相同，故上表中同种排气筒只江苏省环科咨询股份有限公司19目排气筒较多，其中氯化氢的现状占标率已接近环境质量标准，因此本项级直接排入地表水，酸性废水、含氟废水排放进入无锡再生水回用示范工程管道回用于海力士公司及周边单位；其他生产废水经预处理与生活污水混合，通过市政污水管网，汇入新城污水处理厂集中处理达标后，排入京杭成后环境噪声级增加不明显，根据导则要求，本项目声环境影响评价工作海力士半导体(中国)有限公司全厂存在《建设项目环境风险评价技术导险源辨识结果，全厂构成重大危险源；对照《建设项目管理名录》中规定的需特殊保护地区、生态敏感与脆弱区及社会关注区所处地区，本项目选址不属于环境敏感地区。根据以上分析，确定本次环境风险评价工作等级剧毒危险性物质一二一一二二二二区一一一一江苏省环科咨询股份有限公司20响评价等级本项目废水排放强度大；本项目污水水质复杂程度为中等；地下水环境评包气带岩土的渗透性能强岩(土)层单层厚度Mb≥1.0m，渗透系数K≤10-7cm/s，且分布连续、稳定。中岩(土)层单层厚度0.5m≤Mb<1.0m，渗透系数K≤10-7cm/s，且分布连续、稳定。弱岩(土)层不满足上述“强”和“中”条件。位置与含水层易污染特征易含水层埋深浅的地区；地下水与地表水联系密切地区；不利于地下水中污染中下水环境敏感特征生活供水水源地(包括已建成的在用、备用、应急水源地，在建和规划的水源地)准保护区；除生活供水水源地以外的国家或地方政府设定的与地下水环境相关的保护区，如热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源保护区。生活供水水源地(包括已建成的在用、备用、应急水源地，在建和规划的水源地)准保护区以外的补给径流区；特殊地下水资源(如矿泉水、温泉等)保护区以外境敏感区。区。污水排放总量(m3/d)大中小污水水质指标(个)污染物类型数≥2需预测的水质指标≥6污染物类型数≥2需预测的水质指标≥6江苏省环科咨询股份有限公司21目目场地的易污染特征目场地目水弱-强弱易大中复杂-中等小中大-中小复杂-中等大中大复杂-中等中中易大中复杂-中等小大中大复杂-中等中强易大弱中小中易小中中小中小大强易小大中小中中小大大江苏省环科咨询股份有限公司22本次评价工作重点：工程分析、污染防治措施及可行性论证、总量控业企业设计卫生标准》中居住区大气中有害物质的最高容许浓度标准；非环境质量标准(mg/m3)依据小时(一次)《环境空气质量标准》PM《工业企业设计卫生标准》硫酸(雾)NH3《大气污染物综合排放标准详解》中的推荐值江苏省环科咨询股份有限公司23中异丙醇执行前苏联居住区大气中有害物质的最大允许浓度。对于本项目有关标准参照执行。在生产过程中产生的特殊废气污染物主要为磷烷、砷烷、硅烷。关于本项目有毒有害气体排放的统一控制标准，参照执行《荷标准的强制性规章，而是政府和行业用来为每个工厂设备设置环境许可所(m)(mg/m3)(kg/h)(mg/m3)94硫酸(雾)(NER)另铜制程工段产生的硫酸雾的排放标准执行《电镀污染物排放标准》排气量mm2(m)雾江苏省环科咨询股份有限公司24灶头数总投影面积(平方米)表2.5—5主要异味物质的嗅觉阈值表(mg/m3)氨雾36建设项目铜制程过程产生的含铜废水执行《电镀污染物排放标准》B含氟废水污染物排放执行无锡新区再生水回用示范工程接管标准,具体指，回用至海力士公司及新区内其他电子企业，尾水接管至梅村污水处理厂执行其接管标准。其他废水(有机废水、生活污水等)排放执行无锡新城污水处理TP排入城江苏省环科咨询股份有限公司25排放标准(mg/L)备注《电镀污染物排放标准》排口0.3排水量要求江苏省环科咨询股份有限公司26/2、总砷要求车间处理设施排口达标。准，厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348—2008)中3dBA声排放标准采用地下水质量标准(GB/T14848—93)，详见表2.5—12。江苏省环科咨询股份有限公司27项目砷铜8.5~9土壤、底泥环境质量标准均采用《土壤环境质量标准》(GB15618—铜铅铬镍汞砷染防治与环境保护目标⑴采用先进、清洁的生产工艺，物耗、能耗达到国际先进水平，提高⑵控制大气污染物对环境影响，敏感点满足环境质量标准要求，保证江苏省环科咨询股份有限公司28满足区域污染物总量控制要求。本项目控制污染目标为项目建成后污染物必须做到达标排放，污染物排放总量考虑在无锡市内平衡。排污口设置必须符合《江苏省排污口设置(m)(人)12345 6北78北9北江苏省环科咨询股份有限公司29(m)(人)江苏省环科咨询股份有限公司303技改项目所地在环境特征分析况长江三角洲(长)江(太)湖间走廊部分，江苏省东南部。东邻苏州，距。宁高速公路、312国道、沪宁铁路、京杭大运河穿境而过，距离长江口岸是高新技术产业开发区、无锡(太湖)国际科技园、无锡空港产业园、中国(无锡)工业博览园、中国吴文化博览园、国际教育生活社区。新区下辖旺庄街道、硕放街道、江溪街道、梅村街道、鸿山街道和新安街道六个无锡市位于长江流域太湖地区北部，太湖地区在印支运动形成褶皱基长江和钱塘江沿岸沙滩的发育，逐渐形成的平原。本地区属太湖平原，地的淤积物和湖积物为主。本地区属江苏省地层南区，地层发育完全，基底未出露，中侏罗纪岩浆开始活动，喷出盖在老地层上和侵入各系岩层中。第四纪全新统(Qh)现代沉积遍及全区，泥盆纪有少量分布，为紫红色砂砾岩，石灰砾岩，石上层土壤类型为太湖平原黄土状物质的黄泥土，土层较厚，耕作层有机质江苏省环科咨询股份有限公司31本地区地下水层为松散岩类孔隙含水岩组，潜水含水层为泻湖相亚粘有台风、暴风、连阴雨、干旱、寒潮、冰雹和大风等。由于受太湖水体和宜南丘陵山区复杂地形等的影响，局部地区小气候条件多种多样，具有南北农业皆宜的特点，作物种类繁多。根据无锡市多年气象资料监测，各气温水量气温5℃气温形成一大水乡特色，新区外围较大河流为京杭大运河、下甸桥外贸仓库以下古运河。区内原有许多小河浜，随着开发区建设的发展，大多数河浜已填平，仅剩少量的断头浜，代之而形成目前的以地块为格局的排水管网系江苏省环科咨询股份有限公司32统，雨水和清排水通过雨水管网与京杭大运河等相通，污水管网则经提升太湖流域行政区划分属江苏、浙江、上海、安徽三省一市，其中江苏湖流域自古以来的水利基础。流域内河道水系以太湖为流域的中心，分上游和下游两个系统。上游有发源于天目山南北麓的苕溪水系，发源于湖西茅山及界岭脚下的南河水系及洮滆水系；下游主要为平原河网水系，东部通道和航道；北部沿江水系，主要河道有浏河、望虞河、锡澄运河、德胜系，主要为人工开挖疏浚的入杭州湾的河道，有长山河、海盐塘、盐官下京杭大运河北起北京，南至杭州，经北京、天津两市及河北、山东、江苏、浙江四省，沟通海河、黄河、淮河、长江、钱塘江五大水系。全长京杭大运河贯穿无锡全境，经直湖港与太湖相通，经锡澄运河与长江京杭大运河(无锡段)划分为江南(京杭)运河无锡市工业、农业用锡废水排放的雨污通道,因此京杭运河(无锡段)上没有饮用水取水口、养江苏省环科咨询股份有限公司33殖水产区域等敏感目标。本项目废水排入新城污水处理厂，集中处理后排放京杭大运河，不会影响到太湖的水质。近年来，无锡市已规划建设与望。于入湖河道水位，开闸放湖水进入河道进行泄洪排涝。非汛期，关闭太湖河道水位，所以可确保所有河道污水不入湖。京杭大运河与下游的望虞河立交(望虞河是“引江济太”的清水通道),与望虞河不相通。京杭运河的下游支流如伯渎港等，均在与望虞河的交汇处建有闸门，在望虞河引水时南水北调东线将在江苏省江水北调工程基础上进行扩大延伸。以江都抽水站为起点，京杭大运河为输水主干线逐级提水北送，连通沿途作为调蓄水库的洪泽湖、骆马湖、南四湖、东平湖，再继续向北送水；南水北调东线的第一期工程江苏三阳河是一条与大运河平行的河道，将在目前江都抽水站的东边再建一座大型抽水站，将长江水翻入三阳河北上至江苏省宝应县汇入大运河。因此，南水北调工程与京杭(江南)大运河无锡段没有为东部东西向引排河，又是苏锡通航要道。西起无锡市南门运河清明桥东江苏省环科咨询股份有限公司34㈠新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀洗涤用品；㈢向水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性体污水、工业废渣以及其他废弃物；物毒杀水生生物；(苏政办发〔2012〕221号)，本项目所在地不属于该通知中的一、二级范无锡市自然条件优越，各种生物资源品种繁多，种植业以粮油作物为主，林业以松、杉、竹为主。近期由于经济开发，原始生态植破坏严重，残存无几。近几年，市政府加强生态保护和绿化工程的工作力度，绿色通道建设成绩显著，全市城乡绿化日新月异。目前，无锡市森林覆盖率为而言，全市森林资源城市西片较为丰富、东部区域相对薄弱，绿化分布城镇较为丰富、村庄相对薄弱，中心城区街头绿地数量不足、布局不均。生仍不容忽视。评价区原属太湖平原农业区，主要种植水稻、蔬菜业农作物，地带性植被属落叶林带，随着近年来经济的高速发展，人类社会经济活动的日益江苏省环科咨询股份有限公司35项目周边区域的动物类别有脊椎动物、无脊椎动物、昆虫等。野生动物主要有鸟类、鼠类、蚁类、蛇类、蛙类等，但受人类的干扰影响会产生本项目位于无锡国家高新技术产业开发区内，根据《江苏省生态红线长广溪湿地公园、太湖(无锡市区)重要保护区、阳山水蜜桃种质资源保护区、贡湖沙渚饮用水水源保护区、贡湖锡东饮用水水源保护区、钱桥低山生态公益林、望虞河(无锡市区)清水通道维护区、鹅真荡(无锡市区)域保护区范围内，且距离均较远(大于8km)，其中相应较近的有贡湖锡东kmkm与江苏省环科咨询股份有限公司36无锡市各大板块、苏南六大开发区中实现争先进位。无锡新区连续九年位无锡新区建成了国家集成电路设计无锡产业化基地、国家火炬计划软件产业基地和国家级科技创业服务中心，成为国家高新技术产业出口基地是江苏目前投资总量最大的外商独资项目，技术填补国内空白、达到国际目前，全区已形成了锂电池、硬盘、数码相机、液晶显示产品、电子新的世纪，无锡新区围绕无锡争创全省“两个率先”先导区和示范区的要求，高举率先发展旗帜，坚持科学的发展观，全力推进无锡国际制造业基地核心区和高新技术产业高地建设，向国内一流的开放园区和国际有江苏省环科咨询股份有限公司37业开发区规划2009高新区规划范围为西至京杭运河、沪宁铁路、沪宁高速公路；北至旺程与医疗、精细化工和新材料。无锡国家高新技术产业开发区总体规划见无锡国家高新技术产业开发区功能定位以产业特点鲜明、区域功能完善、人文环境优越、经济社会和谐为主要特点的长三角示范、国内领先、发展目标为：国际先进制造业集聚区，国家科技创新先导区，苏南国际物流集散区，和谐宜人新无锡样板区。区内工业重点发展科技含量高的江苏省环科咨询股份有限公司38高新技术产业，门类为电子信息、光机电、生物工程及医疗、精细化工、本技改工程属于电子信息产业，因此本项目的建设符合开发区产业定发展的需求，部分工业用地向生活性用地置换、调整。高新区是以电子信息、光机电、生物工程及医疗、精细化工和新材料五大高新技术产业为主代化科技型产业园区。江苏省环科咨询股份有限公司39水厂联合供水。。thC组扩建和梅村片区金桥东路西侧区域。其供热主干管一路沿新光路、江海路架设无锡友联热电股份有限公司位于无锡市新区梅村镇薛典东路伯渎港H江苏省环科咨询股份有限公司40务范围主要是梅村片区金桥东路东侧区域及华友工业园，其供热主干管沿SK海力士半导体(中国)有限公司处于友联热电和协联热电供热服务况高新区沪宁高速公路以西工业废水及生活污水全部进去新城污水处理厂处理，沪宁高速公路以东工业废水及生活污水全部进入梅村污水处理厂水处理厂收水范围内最远端为梅村北面新世界国际纺织城，污水干管总长吴江苏省环科咨询股份有限公司41厂的处理范围：北至太湖大道，西南至京杭大运河，东南至无锡机场，东北至沪宁城际公路(扣除南站片区和旺庄路片区芦村污水处理厂收水范围用示范工程概况生物医药、精细化工和新材料为重点的五大支柱产业。无锡新区范围内除鸿山片区外，其余片区内的污水皆已初步形成较为完整的污水收集系统，产业我国微电子工业的南方基地，这里集聚着华晶电子集团、中国电子科技集员。鉴于无锡新区现有多家微电子企业，且微电子企业的用水量较大，污水排放量较大，给新区新城污水处理厂造成了较大的压力。为确保海力士与海力士平行的地块，建设无锡新区再生水回用示范工程，规模为30000(含氟废水和酸性废水)，进行深度处理，达到《生活饮用水卫生标准》GB海力士公司及周边企业。再生水回西气东输天然气管道已进入无锡，经无锡天然气门站调压后已进入高江苏省环科咨询股份有限公司42新区，高新区居民已全部使用天然气作为生活热源，部分企业已使用天然家高新技术产业开发区规划审查意见硫酸雾的企业。优化新洲生态园和城铁站前社区等集中居住区周围的工业㈡进一步升级改造产业结构。根据规划发展目标和产业导向要求，加快推进污染企业的布局调整、升级改造和污染整治。严格入区项目环境准太湖流域污染防治规定。㈢抓紧制定硫酸雾影响大气环境质量和重金属废水污染河道底泥的综合整治方案，作为规划实施的重要内容。提高工艺废气排放企业和重金属的污水排放跟踪监测和管控。㈤做好开发区及新洲生态园、梁鸿湿地等重要生态环境敏感目标的规㈥在规划实施过程中，每隔五年左右进行一次环境影响跟踪评价。在项目所在地大气环境质量功能区划定为二类区，执行《环境空气质量根据江苏省水利厅和江苏省环保厅制订的《江苏省地表水环境功能区江苏省环科咨询股份有限公司43类区标准分别为：昼间65dB(A)、夜间55dB(A)和昼间70dB(A)、夜间江苏省环科咨询股份有限公司444现有项目分析SK海力士半导体(中国)有限公司原为海力士—意法半导体有限公司，工商行政管理局新区分局批准变更为SK海力士半导体(中国)有限公司。项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺、排放污染物总量及环境保护对策措施进行项目建设，如建设项目的生产工艺、产能、污染防治措施等项目为主体一并向江苏省环境保护厅书面提交试生产申请，在项目试生产期限间按规定程序向国家环境保护总局申请环境保护验收。无锡海力士项江苏省环科咨询股份有限公司45程部、江苏省环保厅、无锡市环保局和无锡新区规划建设环保局组成竣工验造项目竣工环境保护验收意见的函，对《海力士—意法半导体有限公司二形期扩建工程第一1江苏省环科咨询股份有限公司46国)有限公司四期工程固体废弃物项目产排量调整专项环境影响修编报告环保验收(苏环验[2015]98号)。了无锡市环保局的竣工环保验收(锡环管新验[2015]74号)。现有工程的相关资料均参考《海力士半导体(中国)有限公司四期工)等相关内容。江苏省环科咨询股份有限公司47的批审工验建成12英寸生产线，规模号程程工艺收程5/////(甲类)仓库收，程江苏省环科咨询股份有限公司48产品方案程称容库WmWmW498m2、W16:500m2房顶以保温材料构建。①给水：净水场占地面积10300m2，设计供水能力35000m3/d，二期建成四期建成一套含氟废水处理系统(设计能力7000m3/d)。热江苏省环科咨询股份有限公司49称容电电源由开发区经厂区变电站供给，占地面积13459m2，全厂年使用量为气理理分类收集后，委托有资质单位回收或处置。措施进行降集成电路的生产工艺制造流程是网状结构，在生产过程中反复重复氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀等过程。各个过程需要不同的原辅材料N膜的过程，产生的二氧化硅用以作为扩散、离子注入的调节层，或介质隔离层。江苏省环科咨询股份有限公司50①铜的物理气相沉积(PVD)用高能粒子(由电场加速的正离子)冲击固体靶的表面，靶原子与这些高能粒子交换能量后从表面飞出，沉积在硅片(阳极)上的工艺过程叫②电镀铜(EP)③化学机械抛光(CMP)CMP工艺的基本原理是将待抛光的硅片在一定的下压力及研磨液粒的机械磨削及化学氧化剂的腐蚀作用来完成对工件表面材料的去除，并获得光洁表面。江苏省环科咨询股份有限公司51等含氟废气、有机废气 等等成形层生长江苏省环科咨询股份有限公司52废气、有机废气C2F废气、有机废气C2F2、光刻胶、显等C2F2、光刻胶、显废气、有机废气废气、有机废气等等江苏省环科咨询股份有限公司53r硫酸、硫酸铜、氯化铜盘(来自化学气相沉积工序)(去内联层绝缘工序)动力消耗生产晶圆使用原辅材料品种繁多，质量要求严格。根据海力士公司提江苏省环科咨询股份有限公司541/2/34BOELAL15(BOE缓冲蚀刻液)56789HNO3HSS(ABBRASIV)研磨液Ce铈磨HSSADDITIVESi硅磨磨LSTRINSE去污剂L江苏省环科咨询股份有限公司55ridineL程程程混合气江苏省环科咨询股份有限公司561m3/a2纯水m3/a3电a4气m3/a567m3/a功率(KW)描曝光机兰掩膜版储存机2兰涂胶显影机步进式光刻机兰KLAOVERLA套刻机4兰掩膜版交换机1兰机1兰3施施现有工程项目产生的废水分为生产废水和生活污水两大类。排水系统江苏省环科咨询股份有限公司57①雨水：采用有组织雨水收集后排入厂区雨水管道，经高新技术开发②生产废水：包括含氟废水、酸性废水；有机废水(碱性废水、有机不同的废水在生产车间内按照清污分流、异质分流的原则，把含氟废水、酸性、有机废水、冷凝水、冷却水废水分开并通过各自不同的处理系统进行预处理。其中含氟废水和酸性废水经厂区污水处理站预处理达到无锡新区再生水回用示范工程的接管标准后，通过专门的管网收集，排入再司及周边企业。有机废水经分质处理，其中显影废水经预处理(氮氨转化)后与高氮废水混合吹脱，吹脱后的废水和碱性废水、有机废水混合后部分进入生物处理系统处理，经处理达标后排入市政截留管网，排放至无锡新城污水处1234－5江苏省环科咨询股份有限公司58含氟废水处理系统MAU含铜废水处理系统4均化池流动性介质HTN备碱废水处理池M/FMBR理厂超纯水设备含氟废水处理系统MAU含铜废水处理系统4均化池流动性介质HTN备碱废水处理池M/FMBR理厂超纯水设备NPW121001857冷却塔0UPW理eam洗涤装置SNSN江苏省环科咨询股份有限公司5912”12”酸/碱废气特殊废气含氟废气酸/碱废气特殊废气酸/碱废气酸/碱废气特殊废气含氟废气酸/碱废气特殊废气12”12”酸/碱废气特殊废气含氟废气酸/碱废气特殊废气酸/碱废气酸/碱废气特殊废气含氟废气酸/碱废气特殊废气含氟废气酸/碱废气特殊废气含氟废气有机废气VOCMainScrubber施现有工程工艺废气主要分为一般排气(热排气)、酸碱废气、特殊废气(含磷烷、砷烷和硅烷的有毒废气)、有机废气和含氟废气五类。排气筒位酸/碱废气特殊废气酸/碱废气酸/碱废气特殊废气含氟废气酸/碱废气特殊废气含氟废气12”酸/碱废气特殊废气含氟废气酸/碱废气特殊废气含氟废气有机废气VOC废气82个m江苏省环科咨询股份有限公司6018个2342个5施噪声主要来源于空压机产生的噪声，还有真空泵、离心风机等设备噪声。本项目已通过建筑物隔声、采取消音减振等降噪措施，并在厂区内空余场地进行集中绿化后，厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标12真空泵(电机)3455江苏省环科咨询股份有限公司6112345678937118////2////现有项目工程竣工验收情况公司现已完成四期工程、铜技改工程及危险废弃品(甲类)仓库工程，江苏省环科咨询股份有限公司62K无锡市环保局的竣工环保验收(锡环管新验[2015]74号)。4.3现有工程存在的环境问题及“以新带老”措施段因实际产生的固体废(关于对SK海力士半导体(中国)有限公司四期工程固体废弃物项目产排7月通过了省环保厅的竣工环保验收(苏环验[2015]98号)。江苏省环科咨询股份有限公司63废气处理设施损坏而无法满足竣工验收监测标准，故已向省厅提出试生产火灾原因为人为操作失误导致。海力士公司在安全方面，加强人员管理并制定业务流程及操作流程，要求每一操作人员都必须按照操作规范进行，在化学品储存、使用区域设置报警系统，能在第一时间侦测到化学品善。07)号)：工测的条件。项目较好地执行了“三同时”制度，建立了环境管理组织体系污染物氯化氢、氟化物和无组织排放的氯化氢、臭气浓度超标外，项目所废零排放。除废气污染物氯化氢、氟化物、氨总量超出省厅批复的总量控制指标，其余各类污染物排放总量均满足江苏省环保厅环评批复中的总量气浓度做到了达标排放；废气污染物氯化氢、氨、氟化物年排放总量均达施因：江苏省环科咨询股份有限公司64调整二次处理设施中喷淋水循环周期(按换水量计算)，将现有用水基ubber理。情况江苏省环科咨询股份有限公司65项目口监测值范围量//mg/m3mg/m3////量//mg/m3mg/m3////项目量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3标标量//mg/m3标标量//mg/m3标标江苏省环科咨询股份有限公司66项目量//mg/m3量//mg/m3量//mg/m3氯化氢、硫酸雾、氮氧化物排放浓度、排放速率均满足《大气污染物综合江苏省环科咨询股份有限公司67项目监测值范围量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3标mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3江苏省环科咨询股份有限公司68项目监测值范围量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3江苏省环科咨询股份有限公司69项目监测值范围量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3量／／mg/m3／／mg/m3排放浓度mg/m3排放速率mg/m3mg/m3江苏省环科咨询股份有限公司70表4.3—5酸碱废气(氯化氢)验收补充监测情况监测值范围量//mg/m3氨//后经整改，补测的厂界下风向无组织排放氯化氢浓度满足《大气污染江苏省环科咨询股份有限公司71臭气浓度(无量纲)氯化氢(mg/m3)情况验收监测期间:总磷、氨氮浓度均符合中水厂接管标准要求；含酸废水排入中水厂接管口铜86／616~10／铜56/526~9/江苏省环科咨询股份有限公司72②有机废水收集池的总砷浓度未检出，符合《污水综合排放标准》//474/8/6~9//L江苏省环科咨询股份有限公司73／8／验收监测期间：厂界噪声监测点位的昼夜间噪声监测值均满足《工业复落实情况容123456789江苏省环科咨询股份有限公司74江苏省环科咨询股份有限公司75验收监测期间，各类环保治理设施运行正常。项目所测的各类废水、各类废水、废气污染物的排放总量均满足江苏省环保厅环评批复中的总量环保厅的竣工环保验收(苏环验[2015]98号)。海力士为进一步降低项目对周围环境产生的影响，本次技改项目主要级处理装置为水洗涤(处理含氟废气、特殊废气)，三级处理装置位于排气筒前部，其中酸碱废气采用逆流式循环吸收净化塔处理、含氟废气及特殊江苏省环科咨询股份有限公司76项目工程分析5.1项目名称、项目性质、建设地点及投资总额建设单位：SK海力士半导体(中国)有限公司江苏省环科咨询股份有限公司77实施淘汰集成电路芯片集成电路芯片取得国家环境保护总局的批复，环通过环境保护部组织月，环验[2008]23号集成电路芯片铝制程淘汰线宽54nm/44nm铝制程程收程20nm级132K片/月，8号/////品(甲类)仓库程20nm级132K片/月，程程江苏省环科咨询股份有限公司78同时在现有生产车间内对部分生产线机台进行技术改造。厂区平面布置详入厂交通枢纽。在海力士－意法路(原春丰路)中段设置一个人流入口，⑵生产区。厂区正中间在行政办公楼西侧现已建成一幢三层结构的芯ABFAB以保温材料构建。本期项目(即五期项目)不新增生产厂房，仅新增2栋超净纯水制取车间、废水处理站和废物仓库，变电站和中央办公大楼之间V江苏省环科咨询股份有限公司79。北侧的主入口开始在厂区内设置一环型道路，小客车、自行车从大门进入后，停车布置在接待中心前的停车场，货车经道路直接送到车间和化学品等仓库装卸，人流和物料运输不交叉。现已基本建成，喷泉、绿化小品为主的绿化，厂内道路两侧采取大面积绿化，路边以乔木结合灌木为主，厂界种植以乔不新增绿地。环保工程均主要依托原有设施，部分根据产能的调整进行了改造及扩建，江苏省环科咨询股份有限公司80称容12英寸超大规模集成电路生产线进行产品升级，生产能力135K库处理能力。热电m气理理分类收集后，委托有资质单位回收或处置。不扩建固废仓库，依托现有工程，所有废物分类收集后，委托有江苏省环科咨询股份有限公司81多，企业间竞争日趋激烈，产品的利润空间不断缩小。半导体企业要想生新产品投放市场，保证市场的占有率；同时，在生产的过程中，必须降低物耗、能耗、水耗等，将清洁生产技术应用于整个工艺生产全过程，也成完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片加工(前工序)、集成电路的制造工艺和传统产品的制造工艺有所不同，其生产工艺制刻蚀等过程。各个过程需要不同的原辅材料和制造参数，一个典型工艺流⑴清洗：集成电路芯片生产的清洗包括硅片的清洗和工具的清洗。清洗工序需要消耗大量的高纯水，同时经过特殊过滤和纯化的半导体化学试清洗的主要过程是：硅片先按照各自的工艺设计要求放入各种药液槽进行表面化学处理，然后送入清洗槽，将其表面粘附的药液清洗干净后进江苏省环科咨询股份有限公司82 常用的清洗方式是将硅片沉浸在液体槽内或使用液体喷雾清洗，为取得更好的清洗效果，通常采用超声波激励和擦片措施，即在有机溶剂清洗药液清洗槽N膜的过程，产生的二氧化硅用以⑶扩散：扩散是在硅表面掺入纯杂质原子的过程。通常使用三氟化硼⑷离子注入：离子注入也是一种给硅片掺杂的过程。它的基本原理是把掺杂物质(原子)离子化后，在数千到数百万伏特电压的电场下得到加⑸光刻：光刻包括预处理涂胶、曝光、显影。涂胶是在硅片表面通过硅片高速旋转均匀涂上光刻胶的过程；曝光是使用光刻机，并透过光掩膜版对涂胶的硅片进行曝光，使部分光刻胶得到曝光，另外部分光刻胶得不江苏省环科咨询股份有限公司83到曝光，从而使得曝光过后的光刻胶产生光化学反应；显影是对曝光后的成了图形。预选择性地去除，使用的方法就是湿法腐蚀或干法刻蚀。湿法腐蚀或干法刻湿法腐蚀是通过化学反应的方法对基材或其他材料腐蚀的过程，对不腐蚀硅(Si)——使用氢氟酸加硝酸(HF—HNO3)腐蚀氮化硅(Si3N4)——使用热磷酸(热H3PO4)干法刻蚀是在高密度等离子气氛中选择性腐蚀基材或其他材料过程，江苏省环科咨询股份有限公司84于具有三层或更多层金属的集成电路芯片制造生产。在已形成图案的芯片蚀、化学气相沉积(CVD)等工艺，并经清洗后晶圆片送入铜制程工艺。①铜的物理气相沉积(PVD)用高能粒子(由电场加速的正离子)冲击固体靶的表面，靶原子与这些高能粒子交换能量后从表面飞出，沉积在硅片(阳极)上的工艺过程叫在真空室中充入氩气，热阴极通电发射电子，阳极加一定正电压，从而在阴极和阳极之间放电，产生等离子体。外加磁场可使等离子体在中轴江苏省环科咨询股份有限公司85②电镀铜(EP)。。为江苏省环科咨询股份有限公司86选择性透过铜选择性透过铜电场、图5.4—5电镀铜(EP)工艺设备构造示意图③化学机械抛光(CMP)(Slurry，由超细二氧化硅颗粒、化学氧化剂和纯水组成的混合液，与铝制程的研磨液成分相同)的存在下相对于一个抛光垫作旋转运动，借助磨江苏省环科咨询股份有限公司87液染物有含铜废水。与其稳定性达到最完善的指标。说明个主要工序不断循环的制造过程，期间会穿插加入其它工序，与海力士公因此，从生产工艺流程上看，技改项目与现有项目完全相同，只是由流程江苏省环科咨询股份有限公司88光刻胶、显影液、纯水等等TMB、TEOS、C2F2、光刻胶、显影液、纯水等等C2F2、光刻胶、显影液、纯水等成形层生长江苏省环科咨询股份有限公司89C2F2、光刻胶、显影液、纯水等等C2F2、光刻胶、显影液、纯水等等等一道工艺完成后，均需进行清洗，产生清洗废水，清洗废水含酸、碱、有机物、、氟、高氮等，光刻后的清洗水为显影废水。江苏省环科咨询股份有限公司90r硫酸、硫酸铜、氯化铜环r硫酸、硫酸铜、氯化铜环 (来自化学气相沉积工序)(去内联层绝缘工序)引入管经水表计量后接入厂区连成环状管网，保证厂区用水水量。本项目超纯水主要用于：生产硅片的清洗、腐蚀工艺；生产刀具和石英制品的清洗；化学品配送系统等。生产中的后道清洗纯水返回制备车间重新制江苏省环科咨询股份有限公司91 中和罐滤器滤水泵水泵江苏省环科咨询股份有限公司92纯水回用滤器纯水方法。反渗透法的工作原理为，将预处理后的含盐溶液加压来克服渗透压力，同时在隔膜一边另外加压以获得生产能力，所以在隔膜的低压侧产生渗透作用。这种渗透(流过隔膜的液体)通常为近似于大气压的，减少的液体中的盐量。而在隔膜另一侧将产生含盐量得到增加的浓盐水并被处理掉。在源液供给量保持不变的情况下，通过改变反渗透组块的排列方式，离子交换法是水处理中软化和除盐的主要方法之一。离子交换设备是国际应用非常成熟的脱盐处理设备，广泛用于软化水及纯化水制备中，延用至今，仍然有着广阔的市场前景和发展潜力。离子交换的实质是不溶性离子化合物(离子交换剂)上的可交换离子与溶液中的其它同性离子的交冷却水系统为开式循环系统，全年平均为942240m3/d，冷却水泵一期江苏省环科咨询股份有限公司93含氟废水22000m3/d(包含铜制程的含铜废水296m3/d)和酸性废水水回用示范工程，进行深度处理。处理后的再生水达到《生活饮用水卫生石过滤方式，废水透过砂子的空隙，杂质与其他悬浮物被截留，达到净化