超纯水系统工艺流程图

``Word文档Word文档`Word文档um过滤器0.2um过滤器0.2脱气水箱PF二级EDI膜堆氮封超纯水箱反渗透装置纯水泵高压泵保安过滤器盐箱软水器活性炭过滤器机械过滤器超纯水泵取样不合格排放不合格排放CPcPPPFC抛光混床um过滤器0.1用水点自来水进水P氮气瓶F杀菌灯紫外线RFP纯水极水浓水PFR纯水出口调压阀浓水回流或排放极水排放FkFk原水泵原水箱紫外线杀菌灯PFI循环泵过滤器化学计量泵 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FKPFRC电磁阀 球阀 止回阀 压力表压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 流变控制开关 图3常用的一级RO+二级EDI+MB电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统um过滤器0.2um过滤器0.2脱气水箱PF二级EDI膜堆氮封超纯水箱反渗透装置纯水泵高压泵保安过滤器盐箱软水器活性炭过滤器机械过滤器超纯水泵取样不合格排放不合格排放CPcPPPFCum过滤器0.1用水点自来水进水P氮气瓶F杀菌灯紫外线RFP纯水极水浓水PFR纯水出口调压阀浓水回流或排放极水排放FkFk原水泵原水箱紫外线杀菌灯PFI循环泵过滤器化学计量泵 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FKPFRC电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 流变控制开关 图4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统快速过滤器um过滤器快速过滤器um过滤器0.2纯水箱PF二级EDI膜堆氮封超纯水箱反渗透装置纯水泵高压泵超纯水泵不合格排放不合格排放CPcPPPFC抛光混床um过滤器0.1用水点自来水进水P氮气瓶F杀菌灯紫外线RFP纯水极水浓水PFR纯水出口调压阀浓水回流或排放极水排放FkFk原水泵原水箱紫外线杀菌灯P排放PC超滤装置FP反洗排放水F循环泵过滤器化学计量泵 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FKFRC 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 流变控制开关图5常用的一级RO+二级EDI电子+MB电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统快速过滤器0.2快速过滤器0.2um过滤器纯水箱PF二级EDI膜堆氮封超纯水箱反渗透装置纯水泵高压泵超纯水泵不合格排放不合格排放CPcPPPFCum过滤器0.1用水点自来水进水P氮气瓶F杀菌灯紫外线RFP纯水极水浓水PFR纯水出口调压阀浓水回流或排放极水排放FkFk原水泵原水箱紫外线杀菌灯P排放PC超滤装置FP反洗排放水F循环泵过滤器化学计量泵 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FKFRC电磁阀 球阀 止回阀 压力表压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 流变控制开关 图6常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统图7是常用的一级EDI全系统组成图。氮气瓶氮气瓶0.2um过滤器CRFPcP符号说明:R极水浓水纯水不合格排放TOC分解器紫外线杀菌灯0.1um过滤器超纯水泵抛光混床用水点氮封超纯水箱一级EDI膜堆一级反渗透装置一级高压泵保安过滤器PcP活性炭过滤器机械过滤器取样不合格排放风机脱气水箱纯水泵脱气水箱二级高压泵二级反渗透装置不合格排放风机纯水泵不合格排放PCPFPPPcCbFCPPFFFPPcRPCPP自来水进水原水泵原水箱阻垢剂加药PH调节循环泵过滤器化学计量泵FI电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 图7常用的产水水质稳定的二级RO+一级EDI+MB电子Ⅰ级超纯水系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率<1000μs/cm,即TDS<500ppm时，要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的纯水系统```FIFI化学计量泵过滤器循环泵PH调节阻垢剂加药原水箱原水泵自来水进水PPCPRPcPFFFPPCFbCPcPPFPCP不合格排放纯水泵风机不合格排放二级反渗透装置二级高压泵脱气水箱纯水泵脱气水箱风机不合格排放取样机械过滤器活性炭过滤器PPc保安过滤器一级高压泵一级反渗透装置一级EDI膜堆氮封超纯水箱用水点超纯水泵um过滤器0.1紫外线杀菌灯TOC分解器不合格排放纯水浓水极水R符号说明:PPcFRC0.2um过滤器氮气瓶 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导