DB1310T 227-2020电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范

ICS31.030L90廊DB1310坊市地方标准DB/T227—2020廊坊市市场监督管理局发布IDB1310/T227—2020前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由大厂回族自治县市场监督管理局提出。本标准起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。本标准主要起草人：贾建亮、黄永恩、贾建恩、孙艳、关海华、李继东。1DB1310/T227—2020电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范1范围本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB8978污水综合排放标准GB12348工业企业厂界环境噪声排放标准GB16297大气污染物综合排放标准GB18597危险废物贮存污染控制标准GB18599一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准GB50034建筑照明设计标准GB50073洁净厂房设计规范GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值(第一部分化学有害因素)GBZ188职业健康监护技术规范GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第8部分：噪声3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1电弧熔制arcfusion利用高温电弧熔融石英砂原料的过程3.2涂层coating在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。4从业人员4.1职业健康2DB1310/T227—2020应按照GBZ188的要求，对从业人员进行岗前、岗中、离岗职业健康体检，同时配备符合要求的个体防护用品，保证从业人员符合职业健康安全管理要求。4.2岗位技能从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训，经考核合格后方可上岗。5设备5.1熔制设备应具有电极开闭、升降、旋转、冷却、弧变、除尘等装置。5.2外表面处理设备应具有喷砂、研磨等功能。5.3切边倒棱设备应具有对中、切制、内倒角、外倒角等功能。5.4纯水清洗设备5.4.1手动纯水清洗设备应具有纯水冲洗等装置。5.4.2自动纯水清洗设备应具有产品自动化传输、纯水自动冲洗等装置。5.5涂层设备应具有加热、旋转、喷雾、冷却专用涂层等装置。6原辅材料6.1石英砂石英砂杂质元素含量应符合表1的规定。3DB1310/T227—2020表1石英砂杂质元素含量位置元素名称钙Ca镁Mg钡Ba铬Cr铜Cu铁Fe镍Ni锰Mn锂Li钠Na钾K锆Zr钛Ti锗Ge磷P硼B内层113.520.10.10.10.10.50.10.10.80.80.80.52.02.00.10.1内层27.70.80.050000.2000.10.20.100.70<0.1外层16.020.10.10.10.10.50.10.10000.52.02.00.10.1注1：锂、钠、钾3种元素之和≤2.0。注2：杂质元素含量小于或等于表中所示值。6.2石墨电极应符合以下要求：a)体积密度：≥1.65g/cm³；b)电阻率：≤8.5µΩ•m；c)灰分：≤50µg/g；d)抗压强度:≥35MPa；e)抗折强度：≥15MPa。6.3涂层原料6.3.1涂层原料试剂纯度≥99.99%。6.4纯水7工艺过程7.1熔制7.1.1上料成型利用离心力和成型装置，将石英砂原料在旋转的坩埚模具内形成一定的形状和厚度。7.1.2埚坯电弧熔制以高温电弧为热源，对坩埚模具内的石英砂原料进行高温熔制。7.2外表面处理4DB1310/T227—2020坩埚端口朝下放置于作业平台，利用研磨设备或各类喷砂设备去除坩埚外表面未完全熔融的石英砂。7.3切边倒棱利用切边倒棱设备的对中装置对坩埚进行校正后，按高度要求用切断装置对坩埚进行切断，再利用内、外倒角装置，按要求对坩埚切断端面进行倒角处理。7.4纯水清洗7.4.1手动清洗将坩埚浸入盛放纯水的浸泡池内，规定时间内取出，对坩埚内、外表面及端口进行纯水清洗。7.4.2自动清洗将坩埚放置于自动进料传输平台，按相应工艺参数对设备进行设置，然后对坩埚内、外表面及端口进行纯水清洗。7.5涂层7.5.1手动涂层人工利用手动涂层装置将配比好的特种材料涂覆在坩埚内表面和(或)外表面上。7.5.2自动涂层按相应工艺参数对设备进行设置，自动将配比好的特种材料涂覆在坩埚内表面和(或)外表面上。8环境要求8.1总则企业应为员工提供适宜的作业环境，作业场所的洁净度、温度、湿度、照度、通风换气、作业场所噪声、粉尘、废弃物排放应在适宜的范围内。8.2洁净度、温度和湿度应符合表2的规定。表2各工序工作洁净度、温度和湿度范围工序名称空气洁净要求温度/℃相对湿度RH/%埚坯电弧熔制16~3810~60外表面处理新风初效处理16~3310~80切边倒棱新风初效处理16~3310~80纯水清洗16~3310~60涂层20~3810~505DB1310/T227—20208.3照度照度应符合GB50034的规定。8.4通风换气作业场所应通风良好，设置适宜的局部排风除尘设施和新风补偿设施，应保证每人不小于20m³/h的新风量。8.5作业场所噪声作业场所噪声应符合GBZ/T189.8的规定.8.6粉尘粉尘应符合GBZ2.1的规定.8.7废弃物排放8.7.1废水废水经过处理后的排放标准应符合GB8978及相应的地方法律法规的规定。8.7.2废气废气经过处理后的排放标准应符合GB16297及相应的地方法律法规的规定。8.7.3厂界噪声厂界噪声应符合GB12348及相应的地方法律法规的规定.8.7.4固体废物固体废物的收集、处置应符合GB18599及相应的地方法律法规的规定。8.7.5危险废物危险废物的处置应符合GB18597及相应的地方法律法规的规定。9管理要求9.1作业现场应建立管理制度，设置人员专用安全通道，明确提示、禁止标识。9.2作业现场的设备及器