硅片脏污问题分析

硅片脏污问题分析太阳能硅片切割完太阳能硅片切割完毕后，在对硅片进展清洗后，会消灭硅片外表脏污的状况，影响了硅片外观质量，同时也会影响后续工序的加工。本文主要对脏污片的类型及其产生缘由进展了分析。引言硅片清洗工序是将线锯机床切割完毕的硅片从玻璃上脱离下来，将胶条去除后，将硅片清洗干净并分选出等级。清洗设备主要是预清洗机〔脱胶机〕和清洗机。预清洗机的主要清洗流程为：上料-喷淋-喷淋-超声清洗-脱胶-清水漂洗-下料。清洗机的主要清洗流程为：上料-纯水漂洗-纯水漂洗-碱洗-碱洗-纯水漂洗-纯水漂洗-预脱水〔慢提拉〕-烘干-下料。通常硅片分为A等〔一级〕、B等〔二级〕和不合格片，脏污片属于B等片，会降低硅片A级品率。常见的脏污片主要分为三类：砂浆、硅粉残留造成的脏污脏污片的产生受多种因素的影响的。硅片清洗的原理清洗剂一般为双组份产品，A剂主要有钾盐、缓蚀剂、助洗剂组成，B剂主要由外表活性剂聚合复配而成。一般客户依据清洗的工艺直接将清洗剂添加到纯水中，温度通常设定在45-65℃之间，清洗的时间不低于2分钟，一般为3-4分钟。添加清洗剂时，依据水的比例计算，当遇到磨光碾磨膏硅片及回收悬浮液切割的硅片应当增加清洗剂的药量，保证硅片清洗的效果。硅片清洗过程中留意事项硅片在清洗过对硅片外表的干净度有很大的影响，硅片的外表沾污会影响后续工作的进展。切割完毕后的硅片通常不行以沾水，如不能及时清洗，先把硅片放到悬浮液中。硅片一经放到清洗台上，必须马上进展处理，在整个清洗过程中让硅片保持潮湿。硅片在脱胶过程中保持外表潮湿，不能自然枯燥。硅片在经过每个清洗的周期后，要彻底更换后面三个清洗槽的水，以防污染后面清洗的硅片。硅片在清洗过程中尽可能削减暴露在空气中的时间，以防止硅片外表产生花片。清洗工作人员在整个清洗过程中不得直接接触硅片外表，必须佩带橡胶手套，以免产生指纹印。砂浆、硅粉残留脏污片的产生缘由切割液影响。切割液的主要成分是聚乙二醇，另外 还包括脂肪酸、脂肪酸盐、外表活性剂、消泡剂和水等成分。性能优良的切割液具有良好的悬浮性、冷却性和易清洗性。由于砂浆是由碳化硅和切割液混合成的，在切割过程中起切割作用的是碳化硅颗粒，随着钢线的转动，碳化硅颗粒包裹在钢线外表对硅块进展磨削切割，因此切割液须具有良好的悬浮性保证碳化硅颗粒能均匀地分散在钢线外表且不会在砂浆中产生沉淀。切割过程中，由于碳化硅颗粒和硅块的摩擦作用会产生较多热量，切割液的冷却性能可以降低砂浆温度，防止高温造成硅片灼伤。切割液的易清洗性能则会对硅片外观质量产生直接影响，硅片外表脏污片的产生与此有重要关系，因此要求切割液须满足以下参数要求：切割液的粘度须保证碳化硅颗粒的悬浮效果、又可以保证砂浆在线锯上的适度附着，增加砂浆的热传导45-60pas；切割液的酸碱性，不仅直接影响硅片外表的干净度，还会影响设备的使用寿命，故切过强，通常5-7。砂浆浆中碳化硅颗2μm的微粉不具有过程中还会产生大量硅粉和铁粉等微粉混入砂浆中，形成一层膜，随着切割的进展，砂浆中的微粉含量会越来越高，当微粉量足够大时难以清洗干净。因此，在进展硅块切割时要保证砂浆的更量和砂浆质量，降低砂浆中的微粉含量。砂浆粘度的影响。砂浆的粘度会影响砂浆在硅片外表的附着量，砂浆浆量越多，越难以进展清洗。砂浆粘度主要是由切割液粘度打算，但其受温度影响较大，试验证明，0-25℃的范围内，较25℃时，粘度随着温度的上升变化较缓慢。同时，砂浆的升温过程和降温过程对粘度来说是不行逆的。硅片切割过程中，砂浆21±2℃范围内最正确。预清洗喷淋不当。预清洗洗喷淋槽的水压，水质，喷嘴的流量和角度及喷淋时间等，都会对业为预喷浆发生化学反响，会导致硅片外表难以清洗干净检验ph值是否符合要求。喷嘴的水压2.5MPa，喷喷淋时间要依据实际清洗状况进展调整，保证硅片外表无脏污，再进展脱胶。脱胶槽温度过高导致。脱胶槽温度过高，会使得硅片外表的水分在时便蒸发带有砂浆或硅粉的印记。假设则80℃。硅片外表砂浆、硅粉残留过盘上脱落下来，由于砂浆的粘附作用硅片之间会粘连在一起，喷淋槽进展喷淋时不能将两片硅片之间的砂浆冲洗干净浆、硅粉残留过多产生脏片。一般硅片掉落主要是粘接缘由导致：玻璃和硅块粘接面未擦拭干净，外表有杂物，粘接不结实；胶水混合不均匀；刮胶不均，胶层厚度不全都，消灭分层；粘接硅块时气泡未排挤出来；粘接完毕后，固化时间缺乏即进展切割。对于掉片导致产生的脏片，一般可通过调整预清洗机工艺和清洗机工艺解决。预清洗机工艺调整：延长喷淋和超声浸泡时，削减脱胶后残留的砂浆，为清洗减轻负担；另外在不影响脱胶效果的前提下，屡次更换超声清洗槽的水，并在脱胶槽多添加适量的乳酸或清洗机，这样脱较干净，削减脏污片产艺调整：加大纯长漂洗时间；同时清洗肯定量的硅剂，以削减脏污片的产生。油片产生缘由油片一般分为真油片和假油片。真油片是硅片外表粘有油迹造成，主要是由于设备漏油滴到硅片外表造成，通常是由于线锯工作台位置液压油漏油导致。对难以过电池制绒工序进展清洗处理。假油片是硅片外表没有清洗干净的切割液，切割液的主要成分是聚乙二醇，另外还包括脂肪酸、脂肪酸盐、外表活性剂、消泡剂和水等成分。性能优良的切割液具有良好的悬浮性、冷却性和易清洗性。由于砂浆是由碳过颗粒，随着钢线的转动，碳化硅颗粒包裹在钢线外表对硅块进展磨削切割，因此切割液须具有良好的悬浮性保证碳化硅颗粒能均匀地分散在钢线外表且不会在砂浆中产生沉淀。切割过程中，由于碳化硅颗粒和硅块的摩擦作用会产生较多热量，切割液浆伤。切割液的易清洗性能则会对硅片外观质量产脏污片的产生与此有重须满足须保证碳化硅颗粒的悬浮效果、又可以保证砂浆在线锯上的适度附着，增强砂浆的热传导效率，切割液的粘度范围为45-60pas；切割液的酸碱性，不仅直接影响硅片外表的干净脏污现象。水印片产生缘由产类片一般会在某个时间段连续消灭。预清洗洗喷淋槽的水压，水质，喷喷淋时间会对清洗效果有很大影响。其中中水的酸碱性与砂浆发生化学反响，会导致硅片外表难以清洗干净主要是由于清洗机清洗温度过高在慢提拉过程中导致产生线状水印，可通过时转变插片方向进展解决。