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第五章电容式传感器1.结构简单,没有活动触点,工作可靠,寿命长。2.灵敏度和分辨率高。传感器输出信号强,有利于信号传输。3.重复性好,线性度好。4.能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。主要特点:5.1工作原理与结构一.基本原理二.结构1.变间隙式2.变面积式3.变介电常数式5.2特性一.变间隙式由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。(非线性关系)当很小时,高次相可以忽略不计,输入与输出的关系近似为线性,由此带来的误差
为了改善传感器的特性,常采用差动结构,这样可以提高灵敏度一倍。更重要的是可将级数中的二次相抵消而使线性度提高。传感器的灵敏度:可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。传感器输出信号强,有利于信号传输。5.1工作原理与结构二.二极管不平衡环形电桥当很小时,高次相可以忽略不计,输入与输出的关系近似为线性,由此带来的误差传感器输出信号强,有利于信号传输。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。若传感器为变间隙式电容器另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。结构简单,没有活动触点,工作可靠,寿命长。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。二.变面积式输入和输出呈线性关系两极板间的电容传感器的灵敏度可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。5.1工作原理与结构另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。但如果传感器为变间隙式电容传感器能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。传感器输出信号强,有利于信号传输。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。重复性好,线性度好。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。为了改善传感器的特性,常采用差动结构,这样可以提高灵敏度一倍。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。输入和输出呈线性关系可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。三.变介电常数式1.(线性关系)2.(非线性关系)3.(线性关系)5.3测量电路交流电桥单臂时:
而输出电压与电容C成反比但如果传感器为变间隙式电容传感器输出与被测位移成正比差动电容时(半桥)其中2.变压器式交流电桥3.双T电桥可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。输出电压与电容C成反比可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。重复性好,线性度好。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。为了改善传感器的特性,常采用差动结构,这样可以提高灵敏度一倍。重复性好,线性度好。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。5.1工作原理与结构另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则
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