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文档简介

CHANGJIANGPOLYTECHNIC原理：电容加速度传感器舒松《传感器技术及应用》电容加速度传感器电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器，其中一个电极是固定的，另一变化电极是弹性膜片。弹性膜片在外力（气压、液压等）作用下发生位移，使电容量发生变化。这种传感器可以测量气流（或液流）的振动速度（或加速度），还可以进一步测出压力。电容加速度传感器结构及测试原理此图为电容式加速度传感器内部结构图，有硬质衬底、下电极、多晶硅悬臂梁、上电极构成，其中加速度测试单元封装在周围，起到接收电信号和信号处理的作用。在向某一方向加速度时，中间的悬臂梁发生位移，改变电容量，从而可以测算出加速度值，并将其通过电信号返回到计算机系统中。CHANGJIANGPOLYTECHNIC谢谢观看！《传感器技术及应用》

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