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文档简介

———HIT太阳电池生产技术研发进展本文介绍南昌高校光伏讨论院热丝CVD装备国产化的改进探究。

HWCVDVs.PECVD

HWCVDVs.PECVD

一次8片；

可实现in、ip、双面TCO的不破真空连续镀膜

自行设计、国内公司生产

热丝加工

新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝。

a-SiOx:H制备过程中的热丝氧化问题可通过工艺参数的调整解决

镀膜+热处理温度协同作用

仅衬底加热，220℃较优！

衬底温度100℃、275℃热处理最优！

镀膜+热处理温度协同作用

黑色：热处理前红色：热处理后

适当降低基片温度，镀膜后热处理获得较好少子寿命值。

IN、IP两面连续镀（片子不接触大气）

不破：IN、IP连续镀膜

破：IN镀膜后退出真空腔体外，停留40min。

连续镀明显优

小结

热丝可以在国内解决；

IN、IP连续镀膜不破真空的设计可行；

镀膜温度与后处理加热的工艺协同调控，钝化效果更优。

本文介绍南昌高校光伏讨论院热丝CVD装备国产化的改进探究。

HWCVDVs.PECVD

HWCVDVs.PECVD

一次8片；

可实现in、ip、双面TCO的不破真空连续镀膜

自行设计、国内公司生产

热丝加工

新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝。

a-SiOx:H制备过程中的热丝氧化问题可通过工艺参数的调整解决

镀膜+热处理温度协同作用

仅衬底加热，220℃较优！

衬底温度100℃、275℃热处理最优！

镀膜+热处理温度协同作用

黑色：热处理前红色：热处理后

适当降低基片温度，镀膜后热处理获得较好少子寿命值。

IN、IP两面连续镀（片子不接触大气）

不破：IN、IP连续镀膜

破：IN镀膜后退出真空腔体外，停留40min。

连续镀明显优

小结

热丝可以在国内解决；

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