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  • 正在执行有效
  • 2014-10-14 颁布
  • 2015-04-01 实施
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YS/T 980-2014高纯三氧化二镓杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法_第1页
YS/T 980-2014高纯三氧化二镓杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法_第2页
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文档简介

ICS7704030

H17..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T980—2014

高纯三氧化二镓杂质含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

Determinationofimpuritiesofhighpuritygalliumoxide—

Inductivelycoupledplasma-massspectrmetry

2014-10-14发布2015-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T980—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位峨嵋半导体材料研究所南京中锗科技股份有限公司广东先导稀材股份有限

:、、

公司

。

本标准主要起草人刘爱华孙平种娜郑孝桃杨海燕朱赞芳陈劼刘心君

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T980—2014

高纯三氧化二镓杂质含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

1范围

本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法

。

本标准适用于高纯三氧化二镓中钠镁钙钛钒铬锰铁镍钴铜锌锡铅铟含量的测定

、、、、、、、、、、、、、、。

各元素测定范围为-6-5

(1×10)%~(4×10)%。

2方法提要

试料经混酸溶解制备成待测溶液后用电感耦合等离子体质谱仪进行测定获得待测元

,(ICP-MS),

素质量数信号以杂质元素质量数的信号强度为纵坐标杂质元素浓度为横坐标绘制标准加入法工作

。,

曲线进而计算所测样品中待测元素的质量分数推荐采用附录所列测量元素的同位素质量数

,。A。

3试剂和材料

除非另有说明在分析中所使用的水均为去离子水电阻率

,,≥18.0MΩ/cm。

31硝酸总杂质含量质量分数为

.,≤1ng/mL,70%。

32盐酸总杂质含量质量分数为

.,≤10ng/mL,65%。

33标准贮存溶液

.

331混合标准贮存溶液由含待测元素组成的混合标准溶液规格浓度

..:(:GSB04-1767—2004),

为

1000μg/mL。

332钛标准溶液由国家标准物质研究中心提供规格介质为硝酸

..(1000g/mL)(:GF5310),2%

溶液μ

。

333钒标准溶液由国家标准物质研究中心提供规格介质为硝酸

..(1000g/mL)(:GF5311),2%

溶液μ

。

334锡标准溶液由国家标准物质研究中心提供规格介质为

..(1000g/mL)(:GSB04-1753—2004),

盐酸溶液μ

3%。

34混合标准溶液的配置分别移取的混合标准贮存溶液钛标准溶液钒标

.:0.01mL(3.3.1)、(3.3.2)、

准溶液锡标准溶液于的容量瓶稀释至刻度此时混合标准溶液各待测杂质元

(3.3.3)、(3.3.4)100mL,,

素的浓度为

0.1μg/mL。

35氩气纯度

.:>99.999%。

4仪器

电感耦合等离子体质谱仪经过优化仪器工作条件得出仪器工作参数参见附录

:,,B。

5分析步骤

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