磁控溅射技术和透明导电薄膜课件_第1页
磁控溅射技术和透明导电薄膜课件_第2页
磁控溅射技术和透明导电薄膜课件_第3页
磁控溅射技术和透明导电薄膜课件_第4页
磁控溅射技术和透明导电薄膜课件_第5页
已阅读5页，还剩29页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

磁控溅射技术和透明导电薄膜薄膜的种类及应用磁控溅射技术原理及应用透明导电薄膜性能及应用薄膜：在固体表面上镀上一层于基体材料不同的薄层材料。厚度通常在几微米以下。电学薄膜光学薄膜机械薄膜薄膜的制备手段气相法：化学气相沉积（CVD）物理气相沉积（PVD）——热蒸发

溅射

离子镀分子束外延液相法：化学镀、电镀、浸渍镀等。其他方法：喷涂、涂敷等。溅射原理溅射示意图薄膜的生长电子在正交电磁场中的运动磁控溅射靶材结构图磁控溅射仪器外观

大型多弧离子/磁控溅射镀膜机。可在较大体积的工件表面镀制厚度均匀的金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、导电透明等多种功能薄膜。磁控溅射技术的优点薄膜与基底的结合力强。镀膜均匀，可镀大面积薄膜。镀膜种类丰富：各种金属(合金)薄膜各种金属氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等薄膜其它(如类金刚石薄膜等)

基底种类丰富：金属、玻璃、陶瓷、有机玻璃(薄膜)等透明导电薄膜种类氧化铟锡（ITO）掺铝氧化锌（ZAO）多层结构：ITO/Ag/ITO、TiO2/Ag/TiO2、ITO/ZnO、SiO2/ITOITO薄膜电学性能电阻率7×10-5~10-4Ω•cm与金属铅导电能力接近。ITO薄膜光学性能透明导电薄膜的应用液晶显示器（LCD）触摸屏太阳能电池保温、隔热电磁屏蔽军事领域：雷达隐身透明导电薄膜

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 医学制药

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论