版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
半导体材料测试与表征—Raman光谱在半导体科学中的应用参考文献:1.蓝闽波.纳米材料测试技术[M].华东理工大学出版社,2009.5,34~120.2.周玉.材料分析测试技术[M].哈尔滨工业大学出版社,2007.8.3.陈文哲.材料测试与表征技术的挑战和展望[J].理化检验,2007,43(5):89~91..4.吴征铠,唐敖庆.分子光谱学专论,山东科学技术出版社,1999.5.王斌,徐晓轩,秦哲,宋宁,张存洲.分子束外延n-GaAs/SI-GaAs薄膜材料的拉曼光谱研究.光谱学与光谱分析.2008,28(9):2013-2016.材料测试与表征的作用和地位成分结构制备性能结构表征内容:材料成分分析、结构分析,也包括材料表面与界面分析、微区形貌分析以及缺陷等一般原理:通过对表征材料的物理性质或物理化学性质参数及其变化的检测,分析测量信号获知材料成分、结构等。材料结构表征的内容与基本方法成分分析结构分析形貌分析化学价键分析表面与界面分析XRD、IR、Raman、XPS、AESXRD、ED、Raman、中子衍射TEM、SEM、AFM、STMIR、RamanXPS、AES20世纪50年代20世纪70年代现代导电类型、载流子浓度、迁移率、杂质含量层错、位错密度、夹杂和孪晶等半导体薄膜的表面、异质结界面性质、薄膜材料的组分和结构分析纳米级研究半导体材料的测试与表征电阻率、霍耳系数、磁阻、光电导、光吸收、X射线衍射、金相观察结电容技术、激光光谱技术、俄歇电子能谱、二次离子质谱和电子显微分析技术测试表征
h
基态E0振动激发态E1h0h0h0h0
+
E1+h0E0+h0h(0
-
)激发虚态Rayleigh散射Raman散射拉曼原理h(0
+
)E0E1E1+h0E2+h0
h
h0h(0
-
)ANTI-STOKES0-
RayleighSTOKES0+
0Raman位移:Raman散射光与入射光频率差表征分子振-转能级的特征物理量;定性与结构分析的依据。
取决于分子振动能级的改变,与入射光波长无关;拉曼位移、退偏振比退偏振比与入射偏振方向垂直的拉曼散射光强度与入射偏振方向平行的拉曼散射光强度退偏比可以提供有关分子振动的对称性及分子构型的信息。单色仪光电倍增管高压电源光子计数器驱动电路计算机显示器样品激光器凹面镜经离子注入后的半导体损伤分布外延层的质量TextRaman光谱在半导体科学中的应用半磁半导体的组分外延层混品的组分载流子浓度Raman光谱的应用举例a用拉曼光谱研究金刚石膜的生长过程:a生长2min样品的Raman光谱b生长30min样品的Raman光谱c生长1h样品的Raman光谱d生长2h样品的Raman光谱b不同Si掺杂浓度的n-GaAs薄膜的Raman光谱研究Si掺杂浓度不断提高,
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 孩子抚养费支付协议书
- 产品买卖合同书(杯子)
- 建筑施工钢材采购合同范本
- 儿童摄影合同
- 姜堰区劳动用工合同
- 中建2024建筑工程专项验收指导手册(试行)
- 高三一轮复习课件 地质构造与构造地貌 (从不同尺度)
- 高中地理选修三43旅游常识和导游基础知识练习
- 浙江省杭州市二中钱江校区2023-2024学年高一下学期寒假作业检测(开学考试)数学试卷
- 工程项目施工现场自纠自查报告
- 2024-2029年电信API平台行业市场现状供需分析及市场深度研究发展前景及规划投资研究报告
- 2024年中考语文三轮冲刺-第四讲+中考作文结构+横线式课件
- 冠脉介入进修汇报
- 蒋诗萌小品《谁杀死了周日》台词完整版
- 铁道运输实训总结报告
- 小学生生涯规划班会课教案设计
- 人教部编版五年级上册语文第三单元测试卷(含答案解析)
- MOOC 光纤光学-华中科技大学 中国大学慕课答案
- 抗球虫药1课件
- 儿童民航知识课件
- ESG投资与可持续金融
评论
0/150
提交评论