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TouchPanelSiO2镀膜

TouchPanel产品介绍SiO2镀膜前准备SiO2镀膜作业SiO2镀膜品质缺陷1TouchPanel产品介绍背景：TouchPanel产品是2007年伟光公司开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。构造：TouchPanel产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。

F面SiO2F面ITO层玻璃R面ITOR面金属层R面ITO层2双面SiO2镀膜前准备双面SiO2镀膜是TouchPanel产品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊性，需要用到两种特殊用品。镀膜特殊用品介绍：金属Mask及铜磁背板。

3双面SiO2镀膜前准备金属Mask

R面金属MASKF面金属MASK5双面SiO2镀膜前准备铜磁背板

铜磁背板没有镙孔面与玻璃基板接触6双面SiO2镀膜作业将金属MASK置于对位台上，固定后打开真空吸附开关，将其吸附（注意F/R面MASK不要用错）7双面SiO2镀膜作业基板对位标金属MASK对位框OKNG手动对位9双面SiO2镀膜作业在监视器上确认基板与金属MASK对位是否在规格内（基板上有四个“田”字型对位标，与金属MASK上对位方框对位）10双面SiO2镀膜作业将铜磁背板置于基板置于基板上，必须避免基板在金属MASK上的滑动11双面SiO2镀膜作业将待镀品挂上框架（注意金属MASK不能有翘曲）13双面SiO2镀膜品质缺陷主要品质缺陷※电子击伤※金属层划伤※SiO2掉膜※SiO2打弧※粉尘、污染14双面SiO2镀膜品质缺陷电

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