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集成电路课程设计
DalianUniversityoftechnologyTel:847061842/6/20231回顾:IC全定制设计步骤CreateschematicCreateSymbolCreateaTestbenchSchematicSetUpandrunSimulationViewingWaveformsCreateLayoutDRCLVSPEX2/6/20232大连理工大学集成电路课程设计使用的Mentor软件ICFlowICstudio—organizeandmaintainprojectdata.DesignArchitect-IC—Captureschematics,setupandcontrolsimulation.Eldo/Ezwave—Simulatedesignandtheassociatedwaveformviewingapplications.ICStation—LayoutIC.Calibre—VerifydesignincludingDRC,LVSandPEX.2/6/20233大连理工大学集成电路课程设计根据drc文件及本次设计的要求,我们用到的工艺层如下:层名层号说明NWELL3N阱OD6薄氧,掺杂区POLYG17多晶硅PP25P+注入NP26N+注入CO30接触孔M131第1层金属VIA1511,2层金属的过孔M232第2层金属MET1TEXT131金属1的端口标识2/6/20235大连理工大学集成电路课程设计版图的层次ndiffpolymet2contcontcontviaviamet1pdiffnwelloxide倒相器版图设计2/6/20236大连理工大学集成电路课程设计2/6/20237大连理工大学集成电路课程设计setupgrid0.005调整工作区大小到能看见格点放大:滚轮上滚,或Ctrl-z缩小:滚轮下滚,或Shift-z包括的层次:PolyG,CO,M1,PP2/6/20239大连理工大学集成电路课程设计LayerpaletteCO(30)Addrectangle边长0.162/6/202310大连理工大学集成电路课程设计M1比Cont大0.05Poly比cont大0.07PP比Poly大0.2(保证poly掺杂,电阻小)2/6/202311大连理工大学集成电路课程设计2/6/202313大连理工大学集成电路课程设计自动弹出calibre-DRCRCE(看结果的窗口)双击一个错误,查看和分析错误原因。面积错误在本例中忽略。2/6/202314大连理工大学集成电路课程设计常见错误:距离过小。将在layout图中高亮显示。修改:移动边缘:注意layout窗口下方Mouse:L:fullselection按键F4后Mouse:L:partialselection做标尺后移动边缘.再按F4回到fullselection.修改后存盘再做DRC。同意overwrite。通过DRC后,关闭视图。2/6/202315大连理工大学集成电路课程设计3,Pdiff_M1新建Pdiff_M1单元的layout视图.作图规则如下:CO:0.16M1:CO+0.05OD:CO+0.07PP:OD+0.07包括的层次:PP,OD,CO,M12/6/202317大连理工大学集成电路课程设计修改某层的图案或颜色2/6/202318大连理工大学集成电路课程设计4,Ndiff_M1与Pdiff_M1类似,将PP改为NP包括的层次:NP,OD,CO,M12/6/202319大连理工大学集成电路课程设计沟道长:0.13um;宽:0.15um5,pmos与nmos类似,可复制nmos版图进行修改选中要修改的两个Ndiff_M1,按快捷键q,改cell为Pdiff_M1.选中外圈的NP,改为PP.注意:别忘了Nwell
!!!2/6/202321大连理工大学集成电路课程设计Nwell必须超出有源区至少0.31um0.310.310.310.312/6/202322大连理工大学集成电路课程设计6、构建myinverter版图复制inverter单元,粘贴重命名为myinverter打开myinverter的版图,将原来的图删除快捷键i,浏览放入自己做好的nmos和pmos2/6/202323大连理工大学集成电路课程设计Poly_M1_PP接在pmos栅极下方Poly_M1_NP接在nmos栅极上方2/6/202325大连理工大学集成电路课程设计用M1连接pmos和nmos的栅极:SetupObjectTemplatepaths2/6/202326大连理工大学集成电路课程设计选M1层,Addpath,双击结束操作快捷键L,或者菜单addtext2/6/202327大连理工大学集成电路课程设计LVS检查ToolscalibrerunLVS2/6/202329大连理工大学集成电路课程设计2/6/202330大连理工大学集成电路课程设计2/6/202331大连理工大学集成电路课程设计2/6/202332大连理工大学集成电路课程设计2/6/202333大连理工大学集成电路课程设计2/6/202334大连理工大学集成电路课程设计2/6/2023
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