标准解读

《JJG 77-2006 干涉显微镜》与《JJG 77-1983》相比,在多个方面进行了更新和改进,以适应技术进步和实际应用需求的变化。主要变化包括但不限于:

  1. 适用范围的扩展:新标准不仅适用于传统的光学干涉显微镜,还涵盖了基于数字处理技术的新一代干涉显微镜系统,这反映了近年来干涉测量技术的发展趋势。

  2. 术语定义的更新:随着科学技术的进步,《JJG 77-2006》对部分专业术语进行了重新定义或增加了新的定义项,旨在更加准确地描述相关概念和技术特点,确保行业内交流的一致性和准确性。

  3. 技术要求及检验方法的调整:针对不同类型的干涉显微镜,《JJG 77-2006》提出了更为详细的技术指标要求,并且对于如何进行这些指标的检测给出了具体指导。比如,增加了对非接触式三维形貌测量系统的性能评价内容,以及相应的测试条件、步骤等。

  4. 增加了安全性和环境保护方面的要求:考虑到设备使用过程中可能涉及到的安全问题以及对环境的影响,《JJG 77-2006》特别强调了产品设计时应考虑的人体工程学因素、电磁兼容性等安全性要求;同时,也提到了关于废弃电子产品回收处理的相关规定。

  5. 附录信息的补充:为了更好地帮助使用者理解和执行该标准,《JJG 77-2006》在附录中提供了更多实用性的参考资料,如典型应用案例分析、常见故障排除指南等,增强了标准的实际操作指导意义。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2006-05-23 颁布
  • 2006-11-23 实施
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JJG 77-2006干涉显微镜_第1页
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文档简介

中华人民共和国国家计量检定规程

JJG77—2006

干涉显微镜

InterferenceMicroscopes

2006-05-23发布2006-11-23实施

国家质量监督检验检疫总局发布

JJG77—2006

干涉显微镜检定规程췍췍

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InterferenceMicroscopes

本规程经国家质量监督检验检疫总局年月日批准并自

2006523,

年月日起施行

20061123。

归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会

起草单位:中国计量科学研究院

本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释

JJG77—2006

本规程主要起草人:

杜华中国计量科学研究院

()

高思田中国计量科学研究院

()

参加起草人:

赵有祥中国计量科学研究院

()

朱小平中国计量科学研究院

()

JJG77—2006

目录

范围……………………

1(1)

引用文献………………

2(1)

概述……………………

3(1)

计量性能要求…………

4(3)

干涉滤光片的特性…………………

4.1(3)

测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离……………

4.2(3)

测微目镜十字线分划板的指标线与毫米分划板刻线的相对位置………………

4.3(3)

测微目镜测微鼓轮刻线与毫米分划板刻线的相符性……………

4.4(3)

测微目镜的示值误差………………

4.5(3)

光学系统成像质量…………………

4.6(3)

工作台与主光轴的相互位置………

4.7(4)

辅助成像装置的特性………………

4.8(4)

仪器的示值误差……………………

4.9(4)

通用技术要求…………

5(4)

计量器具控制…………

6(5)

检定条件……………

6.1(5)

检定项目……………

6.2(6)

检定方法……………

6.3(6)

检定结果的处理……………………

6.4(10)

检定周期……………

6.5(10)

附录干涉显微镜示值误差检定结果的不确定度评定……………

A(11)

附录检定证书和检定结果通知书内页格式…………………

B()(16)

JJG77—2006

干涉显微镜检定规程

1范围

本规程适用于双光束干涉显微镜的首次检定后续检定和使用中检验

、。

2引用文献

本规程引用下列文献

:

通用计量术语及定义

JJF1001—1998

测量不确定度评定与表示

JJF1059—1999

测量仪器特性评定技术规范

JJF1094—2002

干涉滤光片检定规程

JJG812—1993

使用本规程时应注意使用上述引用文献的现行有效版本

,。

3概述

干涉显微镜由干涉和显微系统组成利用光波干涉原理来测量表面粗糙度参数它

,。

是以范围为的光波波长为标尺将被测表面与标准光学镜面相比较

(530~600)nm,,

再经显微系统高倍放大后来观察和测量被测表面的微观几何形状特性双光束干涉显

,。

微镜主要用于表面粗糙度评定参数Rz的测量该仪器可用来测量精密加工零件的表面

如平面圆柱面等外表面也可用来测量零件表面刻线镀层等深度目前常用的仪器

、,

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