JJF 1503-2015电容薄膜真空计校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1503—2015

电容薄膜真空计校准规范

CalibrationSpecificationforCapacitanceDiaphragmVacuumGauges

2015-01-30发布2015-04-30实施

国家质量监督检验检疫总局发布

JJF1503—2015

电容薄膜真空计校准规范ৣॣ

ॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣৣॣ

ॣॣ

CalibrationSecificationforॣJJF1503—2015ॣ

ৣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣ

pॣ

ॣॣ

ॣৣ

CapacitanceDiaphragmVacuumGauges

归口单位全国压力计量技术委员会

:

主要起草单位中国计量科学研究院

:

参加起草单位上海市计量测试技术研究院

:

上海振太仪表有限公司

浙江省计量科学研究院

本规范委托全国压力计量技术委员会负责解释

JJF1503—2015

本规范主要起草人

:

于红燕中国计量科学研究院

()

王金库中国计量科学研究院

()

参加起草人

:

许红上海市计量测试技术研究院

()

丁基敏上海振太仪表有限公司

()

陈宇航浙江省计量科学研究院

()

JJF1503—2015

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和计量单位

3………………………(1)

术语

3.1…………………(1)

计量单位

3.2……………(2)

概述

4……………………(2)

计量特性

5………………(3)

修正因子

5.1……………(3)

零位变化量

5.2…………(3)

校准条件

6………………(3)

环境条件

6.1……………(3)

测量标准及其他设备

6.2………………(3)

校准项目和校准方法

7…………………(4)

校准项目

7.1……………(4)

校准方法

7.2……………(4)

校准结果表达

8…………(7)

复校时间间隔

9…………(8)

附录电容薄膜真空计校准记录格式

A………………(9)

附录校准证书内页格式

B()………(10)

附录电容薄膜真空计修正因子测量结果的不确定度评定方法

C…(11)

附录热流逸效应下电容薄膜真空计修正因子的温度修正

D………(15)

Ⅰ

JJF1503—2015

引言

国家计量校准规范编写规则通用计量术语及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定义测量不确定度评定与表示和真空技术术语

》、JJF1059-1《》GB/T3163—2007《》

共同构成本规范制定的基础性系列规范

。

本校准规范参照真空计与标准真空计直接比对的

ISO/TS3567:2011(E)《———

校准

》(Vacuumgauge—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)、

真空技术真空计与标准真空计直接比对校准结果

ISO/TS27893:2009(E)《——————

的不确定度评定

》(Vacuumtechnology—Vacuumgauge—Evaluationoftheuncertaintiesof

和真空技术手册

resultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)《》

中第章全压真空计

(HandbookofVacuumTechnology)13(TotalPressureVacuum

和第章校准和标准进行制定采用了其中的

Gauge)15(CalibrationsandStandards),

基本原则对具体方法和技术指标进行了细化补充和修改

,、。

本规范为首次制定

。

Ⅱ

JJF1503—2015

电容薄膜真空计校准规范

1范围

本规范适用于测量范围在的电容薄膜真空计的校准其中包括绝

0.1Pa~133kPa,

压电容薄膜真空计和差压电容薄膜真空计

。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

通用计量术语及定义

JJF1001—2011

压力计量名词术语及定义

JJF1008—2008

真空技术术语

GB/T3163—2007

真空技术图形符号

GB/T3164—2007

真空计与标准真空计直接比对的校准

ISO/TS3567:2011(E)———(Vacuum

gauge—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)

真空技术真空计与标准真空计直接比对校准

ISO/TS27893:2009(E)——————

结果的不确定度评定

(Vacuumtechnology—Vacuumgauge—Evaluationoftheuncer-

taintiesofresultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)

真空技术手册第章校准和标准

《》(HandbookofVacuumTechnology)15(Cali-

brationsandStandards)

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语和计量单位

术语

3.1

真空计定义

3.1.1(vacuumgauge)[GB/T3163—20074.1.2]

测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的一种仪器

。

电容薄膜真空计

3.1.2(capacitancediaphragmvacuumgauge)

利用膜片受到压差产生位移造成膜片与固定电极之间的电容量发生变化