标准解读
《GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅》是中国国家标准之一,专门针对电子工业中使用的四氯化硅产品制定了详细的技术要求和测试方法。该标准适用于半导体材料加工、太阳能电池板制造以及其他相关领域内作为原料或中间体的四氯化硅的质量控制。
根据此标准,首先明确了四氯化硅产品的分类依据其纯度分为不同等级,以满足各种应用场景下的需求。接着对每种级别的四氯化硅规定了具体的物理化学性质指标,如外观、密度、熔点等,并且对于杂质含量也做了严格限制,包括但不限于金属离子、非金属元素及其他有机物等可能影响最终产品质量的因素。
此外,《GB/T 38867-2020》还提供了详尽的检测方法指导,确保能够准确地测定上述各项参数。这些方法覆盖了从样品准备到实际操作流程的所有步骤,并且对于仪器设备的选择与校准也有明确说明,旨在提高测试结果的一致性和可靠性。
最后,该标准还包括了包装、标志、运输及储存等方面的要求,强调在处理四氯化硅时应注意的安全措施和个人防护装备使用指南,以保障工人健康与环境安全。通过遵循这些规定,可以有效保证电子工业用四氯化硅在整个供应链中的品质稳定性和安全性。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2020-07-21 颁布
- 2021-02-01 实施
文档简介
ICS7110020
G86..
中华人民共和国国家标准
GB/T38867—2020
电子工业用四氯化硅
Silicontetrachlorideforelectronicindustry
2020-07-21发布2021-02-01实施
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
电子工业用四氯化硅
GB/T38867—2020
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号
2(100029)
北京市西城区三里河北街号
16(100045)
网址
:
服务热线
:400-168-0010
年月第一版
20207
*
书号
:155066·1-65089
版权专有侵权必究
GB/T38867—2020
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC203)。
本标准起草单位湖北晶星科技股份有限公司湖北省标准化与质量研究院洛阳中硅高科技有限
:、、
公司唐山三孚电子材料有限公司湖北光谷标准创新科技有限公司广东华特气体股份有限公司浙江
、、、、
西亚特电子材料有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司上海市计量测试
、、、
技术研究院联雄投资上海有限公司随州市信息与标准化所达州市质量技术监督检验测试中心
、()、、、
西南化工研究设计院有限公司
。
本标准主要起草人徐德张国光黄娣刘畅杨剑赵雄楚东旭王春英戴帅张竞黄国菲
:、、、、、、、、、、、
廖恒易陈艳珊杨利于青玉方华曹作斌曲庆陈鹰李春华黄辉谭鹏程邓远方周鹏云徐龙
、、、、、、、、、、、、、、
赵帅德唐霞梅
、。
Ⅰ
GB/T38867—2020
电子工业用四氯化硅
1范围
本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求检验规则试验方法标志包装运输储存及安全
、、、、、、
的要求
。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅
。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
危险货物包装标志
GB190
化学试剂杂质测定用标准溶液的制备
GB/T602
工业用化学产品采样安全通则
GB/T3723
氩
GB/T4842
钢质无缝气瓶
GB/T5099
红外光谱分析方法通则
GB/T6040
液体化工产品采样通则
GB/T6680
气瓶颜色标志
GB/T7144
电子级水
GB/T11446.1—2013
化学品安全标签编写规定
GB15258
气瓶警示标签
GB/T16804
气体分析氦离子化气相色谱法
GB/T28726
不锈钢焊接气瓶
GB/T32566
电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法
GB/T34972
气瓶安全技术监察规程
TSGR0006
危险化学品安全管理条例年月日中华人民共和国国务院令第号公布年月
(2002126344,20112
日国务院第次常务会议修订通过
16144)
特种设备安全监察条例版中华人民共和国国务院令第号
(2009,549)
3技术要求
四氯化硅的技术要求应符合表的规定光纤用四氯化硅还应增加相对透过率的要求
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