模块化学习-真空系统

设备模块化培训资料

－真空系统设备工程部培训基本内容1.学习各生产工序真空（负压）系统的结构及各组成部分的功能．

2.了解真空系统主要部件的工作原理，技术参数要求（温度，流量，压力）．3.学习电气部分是如何自动控制以保证要求的真空．4.总结各真空（负压）系统的共同点及其差异．目录２．制绒（单晶／多晶）／ＰＳＧ工序真空（负压）系统３．扩散工序真空（负压）系统４．ＰＥＣＶＤ工序真空系统５．丝网印刷工序负压系统１．真空定义真空定义与分类●真空的定义1标准大气压：在标准重力加速度g为980.665厘米/秒2，温度T为273K时，760毫米高的汞柱所施加的压强。真空是指压强低于1标准大气压的气态空间。1atm=760Torr=1.013×105Pa1Torr＝7.5×10－3Pa1Pa＝1N/m2=133.3Torr１bar=0.1MPa≈1个标准大气压1atm的气态空间，气体分子的浓度为：2.69×1019个/cm3，随着压强的下降，空间气体分子的浓度不断下降，气态分子呈现出不同的物理现象，通常把压强小于1大气压的真空空间称为真空。真空按如右区域划分：1标准大气压～103帕(760～10托)粗真空103～10－1帕(10～10－3托)低真空10－1～10－6帕(1－3～10－8托)高真空10－6～10－12帕(10－8～10－14托)超真空<10－12帕(<10-14托)极高真空4真空定义与分类压强值（托）物理现象获得设备的特性10气体放电开始出现水抽气机的极限10-3分子平均自由程（λ）为厘米级转动泵的极限10-8布满清洁表面一单分子层的时间（t）为分级扩散泵的极限10-14每立方厘米气体分子数（n）为100级必须使用低温泵●真空泵所能达到的压强5一．制程工序系统结构：抽风主管抽风副管调节阀负压压力表湿制程设备抽风系统湿制程设备抽风系统抽风主管抽风副管7湿制程设备抽风系统反应槽内抽风机体侧壁抽风机体顶部抽风抽风作用：刻蚀槽抽风还有气象腐蚀的作用，工艺调整抽风压力，同时需要调整风向，排出挥发的酸性气体（例如ＨＦ），另外使硅片的表面吹干效果更好．抽风数值如果过大，会使得液面不平稳，造成片子抖动．8湿制程设备抽风系统循环槽抽风抽风负压表<0.01bar9湿制程设备抽风系统抽风系统常见故障（１）主管连接处松动------原因多为螺丝松动或变形-------重新更换或上进螺丝即可（２）副管连接处裂开------原因多为管子接口处焊接老化-----重新焊接

主管接口处焊接处10湿制程设备抽风系统抽风软管接口松动或老化裂开（上紧固定环螺丝或更换新管即可）连接处固定环软管11二．扩散工序扩散工序负压（抽风）系统结构设施抽风扩散工序平面图排风气源柜炉体柜计算机控制柜推舟机构排废口净化操作台电源总进线进气13抽风管路气源柜抽风管尾气抽风管排风口14尾气抽风流程图尾气管废液桶排毒桶设施负压管尾气15总体结构图气源柜抽风负压调节阀16故障分析及解决方法1.负压管道接口松动，需定期检查2.抽风不足加大调节阀开度17三.PECVD工序PC机PLC罗茨泵干式泵角阀储能罐设施抽风

电气控制框图ＰＣ机ＰＬＣ真空泵站腔体真空表变频器１２１路为ＰＣ腔，２路为ＬＣ／ＵＣ腔19真空气路流向图罗茨泵干式泵角阀腔体Scrubber气体流向20干式泵（GV600）／罗茨泵（EH4200）

真空管路进气真空管路出气冷却水出口密封吹扫进口冷却水进口稀释吹扫真空进气口干式泵罗茨泵罗茨泵干式泵干式泵气路系统作用：１轴密封吹扫，２稀释吹扫．21角阀压缩气体进口压缩气体出口控制线活塞位置指示真空管路接口控制线控制着角阀内部的电磁阀，来实现角阀真空管路的开与闭．活塞位置指示用于当角阀真空管路打开时指示是可见的，关闭时则不可见．角阀22真空仪表量程：PKR251:精度：ＭＫＳ－Baratron:量程：精度（％）：ＴＰＲ23储能罐储能罐是用来对腔体内气体进行预抽，以缩短腔体抽真空时间．储能罐24电气电路—真空泵—工艺腔真空泵电路上下料腔真空泵电路25电气电路—角阀—角阀电路图26电气电路－真空仪表－PC—MKS电路PC－ＰＫＲ电路27电气电路－真空仪表－ＵＣ－ＴＰＲＬＣ－ＴＰＲ28设施抽风Scrubber排风热排风特气柜排风29常见故障处理清理密封圈YN泵检修检修变频器,电气连接线检修ＰＬＣ模拟量模块,与真空仪表的电气连线Ｙ检修真空仪表腔体密封OK?腔体真空度不能达到工艺要求真空泵密封OK?Y变频器引起的故障NYYPLC引起的故障解决故障NN30丝网工序负压（抽风）系统结构四.丝网工序2、简介丝网印刷设备的真空控制主要在以下三个方面：1、上料台吸片2、旋转台面3、翻转机构323、气路图旋转台面33翻转机构上料吸片344、元器件介绍上料吸片真空管路旋转台面真空管路破真空35翻转机构真空管路电磁阀真空管路破真空36印刷台抽风烘箱抽风CDA表真空表375、常见故障的处理(丝网)故障报警信息Insufficientmainvacuum检查真空总管的压力是否足够和稳定，有异常联系设施

第一第二第三检查设备下方主真空管附近的压力表数值

，正常工作需要-700mbar的压力

检查真空压力传感器，显示0时表示真空压力不足

，否则应为138旋转台面真空异常检查真空总管的压力是否足够和稳定，有异常联系设施

检查管路/台面是否有破损，有则更换，没有则更换电磁阀将片子放于台面上，手动控制电磁阀通断，看片子是否牢固吸附于台面检查桨料、刮刀深度、丝网间距、印刷压力等YESNO真空压力过大调节控制阀，降低到正常范围调节台面破真空气压吸片不牢释