PECVD日常报警说明

PECVD日常报警说明管式PECVD日常报警说明Processrecipehasterminatedwitherrorstate----AlarmACK----(1)tostore(2)tostoreenableunload(3)Restartrecipe.说明：进行中的工艺以错误的状态结束----警报确认----（1）储存（2）储存并卸下（3）重新开始工艺。(1)用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工艺时进行选择。(2)多数情况下选择此项。；(3)工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜情况。1管式PECVD日常报警说明Boatalreadyintube----select:[process=0unload=1].说明：石墨舟已经在管内----选择[运行工艺=0取出卸下=1]。当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示，查看镀膜情况后在做选择。2管式PECVD日常报警说明Losthoming,checkposition.说明：失去引导，检查位置。此报警会自动解除，只需要检查一下桨是否在原点的位置即可。3管式PECVD日常报警说明HFGenoutof1st(2nd)tolerance.说明：高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后，选择手动工艺输入剩余时间。通常出现这样的报警有三种情况：(1)石墨舟的电极孔放反。(2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。(3)炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。4管式PECVD日常报警说明Recipeabort2----processabort!TOcontinue:enterAB.说明：工艺推出----运行终止。继续输入AB。对工艺异常确认输入AB后，会出现第（一）个报警5管式PECVD日常报警说明Vacuumtubeoutof1st(2nd)tolerance.说明：石英管内的真空度超过第一（二）个限值。系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班。6管式PECVD日常报警说明Boatsensorofgrabhaschangedwithoutpermission.说明：机械手上的传感器被非允许移动。机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被锁定，出现报警。此警报需要通知工序长或领班。7管式PECVD日常报警说明Collectivealertpumpst.1说明：真空泵报警。一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报警。如复位无效的话通知工序长或领班。8管式PECVD日常报警说明GasN2(SiH4、NH3)outof1st(2nd)tolerance.说明：特气氮气（硅烷、氨气）超过第一（二）个限值。出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个限值报警，只是警告；超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止，此时报警消失，出现第五个报警信息9管式PECVD日常报警说明Warming:checkSiH4distribution.说明：警告,检查硅烷的流量。检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果不是退出并重新运行工艺10管式PECVD日常报警说明Recipecouldn’tdestarted.pleasecheckprotocolforreason.。说明：工艺不能被运行，请检查原因。原因：此管已有一个工艺在运行；此管没有你要选的工艺文件；状态不正确11管式PECVD日常报警说明Thereisalreadyanactiverecipe×××formlocallisting.说明：已经有×××工艺在此管的工艺列表中。十一、十二俩个报警有时会一起出现，终止任何一个报警都会解除。12管式PECVD日常报警说明TubereadyinundefinedpleaseensurethattheCESARloadingmachineisat“0”positionandsoftlanderis“UP”.说明：管子的状态无法被确认，请确保CESAR接收到桨在“0”和“UP”的位置。检查桨是否在上位和原点的位置，如果是的，在空桨的情况下运行homing工艺；如果不是，手动移动桨到上位和原点。13管式PECVD日常报警说明Boatcollision.说明：舟被撞击。Handling对话框中将舟移动到安全的位置；若是在上下舟，检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置匹配。14管式PECVD日常报警说明Theboatsensorhasdetectednoboatinthegrabalthoughaboatshouldbeinthegrab.pleasecheckboatingrabsensorandtryagain.说明：虽然有一个舟在机械臂上，但传感器测不到，请检查一下舟是否接触到传感器后再试一次。机械臂上的传感器没有感应到舟，将舟放到正确的位置即可。15管式PECVD日常报警说明Grabsensorundefined.Nomovementpossible!Checkboatposition.说明：传感器不明确，无法移动，检查舟的位置。机械臂不在正确的位置，无法移动，若机械臂没有被锁定在Handling的界面中将机械臂移至正确的位置。16管式PECVD日常报警说明Boatposition(speed)outof1st(2nd)tolerance.说明：舟的位置（速度）超过第一（二）限值。通常会发生在退舟失败后，手动使桨复位。17管式PECVD日常报警说明Boatfailure.说明：退舟失败。检查舟在桨上的位置，如果正确手动将桨复位；如果不正确，戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位。18管式PECVD日常报警说明Waterflowgassidest.1.说明：TGA（gasside）