标准解读

《GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓》是中国国家标准之一，旨在为半导体工业中使用的高纯度三甲基镓提供质量控制和技术要求。该标准详细规定了电子级三甲基镓的技术指标、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。

在技术指标方面，标准明确了产品应达到的纯度级别和其他关键物理化学性质的具体数值范围或限值，包括但不限于金属杂质含量、非金属杂质含量等，以确保其适用于高质量半导体材料的制造过程。此外，还对不同级别的三甲基镓（如6N、7N等级别）进行了区分，并给出了各自对应的规格参数。

对于试验方法，本标准列举了一系列科学准确的方法来检测三甲基镓的各项性能指标，比如使用电感耦合等离子体质谱法测定金属元素含量、气相色谱法分析有机物组成等。这些方法的选择基于它们能够有效且可靠地反映样品真实情况的原则。

关于检验规则，《GB/T 37007-2018》定义了批次的概念，并指出了如何从一个生产批中抽取代表性样本进行测试。同时，也规定了当检验结果不符合规定时应采取的措施，如重新取样复检或者直接判定不合格等。

最后，在包装、标志、运输及贮存环节，《GB/T 37008-2018》提供了具体指导，强调了安全性和环境保护的重要性。例如，要求使用适合长途运输且能防止泄漏的专业容器；所有包装上都必须清晰标注产品名称、制造商信息、危险警告标识等内容；运输过程中要避免剧烈震动和高温环境；储存时则需置于干燥通风处远离火源。通过遵循这些建议，可以最大限度地保证电子级三甲基镓在整个供应链中的品质稳定与安全。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-12-28 颁布
  • 2019-04-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T37007—2018

电子级三甲基镓

Electronicgradetrimethylgallium

2018-12-28发布2019-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

电子级三甲基镓

GB/T37007—2018

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20191

*

书号

:155066·1-61408

版权专有侵权必究

GB/T37007—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位江苏南大光电材料股份有限公司中国电子技术标准化研究院

:、。

本标准主要起草人陈化冰孙明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T37007—2018

电子级三甲基镓

1范围

本标准规定了三甲基镓的技术要求试验方法检验规则包装标志运输贮存和安全

、、、、、、。

本标准适用于镓镁合金法三氯化镓法格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基

、、

镓该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等

。。

分子式

:C3H9Ga

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

:114.83(2013)

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

液体化工产品采样通则

GB/T6680

电子级水

GB/T11446.1

危险货物运输包装通用技术条件

GB12463

化学品安全标签编写规定

GB15258

常用化学危险品贮存通则

GB15603

洁净厂房设计规范

GB50073

3技术要求

三甲基镓的技术指标应符合表要求

1。

表1技术指标

项目指标

三甲基镓纯度质量分数-2

(C3H9Ga)()/10≥99.99995

银含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

金属铝含量

(Al)/(μg/g)<0.1

元素

砷含量

()/(/)

及Asμgg<0.5

硼含量

其他(B)/(μg/g)<0.2

钡含量

元素

(Ba)/(μg/g)<0.1

含量铍含量

(Be)/(μg/g)<

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