标准解读

《GB/T 35316-2017 蓝宝石晶体缺陷图谱》是一项国家标准，主要针对蓝宝石晶体中的各种缺陷类型进行了系统性的分类与描述。该标准定义了不同类型蓝宝石晶体中可能出现的缺陷，并通过详细的图谱来帮助识别这些缺陷。它为从事蓝宝石材料研究、生产以及应用的专业人士提供了一个统一的标准参考框架。

根据这项标准，蓝宝石晶体内的缺陷被分为多个类别，包括但不限于位错、气泡、夹杂物等。对于每一种类型的缺陷，《GB/T 35316-2017》都提供了具体的特征说明和对应的显微图像或示意图，以便于使用者能够准确地识别并理解不同种类的缺陷形态及其对材料性能的影响。

此外，该标准还包含了关于如何制备适合观察缺陷的样品以及使用何种方法和技术来进行检测的相关指南。这有助于确保不同实验室之间在进行蓝宝石晶体质量评估时采用一致的方法论，从而提高测试结果的一致性和可靠性。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-12-29 颁布
  • 2018-07-01 实施
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文档简介

ICS29045

H80.

中华人民共和国国家标准

GB/T35316—2017

蓝宝石晶体缺陷图谱

Collectionofmetallographsondefectsofsapphirecrystal

2017-12-29发布2018-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T35316—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准主要起草单位中国科学院上海光学精密机械研究所上海大恒光学精密机械有限公司中

:、、

国科学院新疆理化技术研究所新疆紫晶光电技术有限公司有色金属技术经济研究院江苏浩瀚蓝宝

、、、

石科技有限公司苏州恒嘉晶体材料有限公司江苏吉星新材料有限公司东莞市中镓半导体科技有限

、、、

公司天津三安光电有限公司江西东海蓝玉光电科技有限公司丹东新东方晶体仪器有限公司

、、、。

本标准主要起草人徐民杭寅潘世烈张方方赵兴俭韦建贺东江吴成荣蔡金荣徐永亮

:、、、、、、、、、、

丁晓民王笃祥李国平赵松彬杨素心

、、、、。

Ⅰ

GB/T35316—2017

蓝宝石晶体缺陷图谱

1范围

本标准规定了蓝宝石晶体缺陷的术语和定义形貌特征及产生原因

、。

本标准适用于蓝宝石单晶材料制备中各种缺陷的检验和分析

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

锗晶体缺陷图谱

GB/T8756

半导体材料术语

GB/T14264

硅材料原生缺陷图谱

GB/T30453

3术语和定义

和界定的术语和定义适用于本文件

GB/T8756、GB/T14264GB/T30453。

4蓝宝石晶体缺陷

41晶锭缺陷

.

411开裂crack

..()

4111形貌特征

...

生长的蓝宝石晶体有时外形完整但晶体内部或边壁处可观测到数道裂纹严重时可见晶体碎裂成

,,

块其形貌特征示例见图图

。1~4。

4112产生原因

...

晶体生长或退火时热场不合理炉内温度变化过快造成晶体内部热应力过大而引起开裂晶体粘

,、;

连坩埚形成外部挤压应力导致晶体边壁处出现微裂纹无籽晶生长或原料杂质过多时极易产生局部

,;,

多晶导致晶体开裂

,。

412失透opaque

..()

4121形貌特征

...

生长的蓝宝石晶体半透明或不透明

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