标准解读

《GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》是一项国家标准,主要针对用于多晶硅铸锭过程中制作石英坩埚所需的熔融石英材料进行了规范。该标准详细规定了熔融石英料的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的要求。

在技术要求部分,明确了熔融石英料的化学成分、物理性能等具体指标。比如,对于SiO2含量有明确的规定,同时对Al2O3、Fe2O3等杂质元素的最大允许含量也给出了限定值。此外,还规定了熔融石英料的密度、热膨胀系数等物理性质的标准范围。

试验方法章节则介绍了如何通过一系列科学实验来检测熔融石英料是否符合上述技术要求。这包括但不限于使用X射线荧光光谱法测定其主要及微量元素组成;采用阿基米德原理测量密度;利用差示扫描量热仪(DSC)或热机械分析仪(TMA)测试热膨胀系数等。

检验规则方面,《GB/T 32652-2016》指出了产品出厂前必须经过的质量检查流程,包括批次划分原则、抽样方案以及合格判定条件等内容。只有当所有项目均达到标准要求时,才能认为这批熔融石英料为合格品,并准许出厂销售。

最后,在标志、包装、运输和贮存部分,标准提供了关于如何正确标识产品信息(如制造商名称、地址、执行标准号等),以及推荐使用的包装材料类型、方式以确保运输过程中的安全性和完整性。同时也提出了存放环境的具体建议,比如避免阳光直射、保持干燥通风等措施,以延长产品的使用寿命并保证其性能稳定。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-04-25 颁布
  • 2016-11-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS31030

L90.

中华人民共和国国家标准

GB/T32652—2016

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

Fusedquartzusedforquartzceramiccruciblesforcastingpolycrystallinesilicon

2016-04-25发布2016-11-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

GB/T32652—2016

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20166

*

书号

:155066·1-53852

版权专有侵权必究

GB/T32652—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位国家硅材料深加工产品质量监督检验中心东海县产品质量监督检验所江苏中

:、、

腾石英材料科技有限公司中材高新江苏硅材料有限公司中国电子技术标准化研究院

、、。

本标准主要起草人薄雷明程尚栩栾振祥张存君王祥许振午李建德管琪冯亚彬

:、、、、、、、、。

GB/T32652—2016

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

1范围

本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求检验方法检验规则及标志包装运

、、、、

输和贮存

本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

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高纯石英中杂质含量的测定方法电感耦合等离子体原子发射光谱法

JC/T2027—2010———

工业用酸洗石英砂

SJ/T10380—2012

3产品分类

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料按产品粒度分为熔融石英块料和熔融石英砂料

4技术要求

41外观

.

熔融石英块料外观应为无色透明或半透明无异色点

,。

42灼烧失量

.

熔融石英料灼烧失量应小于

0.05%。

43粒度

.

熔融石英块料应大于或等于粒径小于的为熔融石英砂料

830μm;830μm。

44二氧化硅含量

.

二氧化硅含量应不低于

99.95%。

45杂质元素含量

.

杂质元素总含量应小于各

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