标准解读

《GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》是一项国家标准，旨在规范使用电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）技术测定石英砂中的多种微量或痕量元素的方法。该标准适用于石英砂样品中包括但不限于铝、铁、钙、镁、钾、钠等金属元素以及某些非金属元素的定量分析。

按照此标准操作时，首先需要对采集到的石英砂样本进行预处理，这通常涉及到样品溶解步骤，通过选择合适的酸体系将固体样品转化为液体状态以便于后续测试。常用的溶解方法有湿法消解和微波消解两种方式。其中，湿法消解可能涉及硝酸、氢氟酸等多种强酸组合；而微波辅助下的快速消解法则能有效提高效率并减少试剂消耗。

接下来，在完成样品前处理后，利用ICP-MS仪器进行元素含量测定。ICP-MS是一种非常灵敏且准确度高的分析手段，它能够同时检测多种元素，并具有极低的检出限。在实际应用过程中，需根据被测元素特性调整仪器参数设置，如射频功率、载气流量等，以确保获得最佳信号响应。此外，为了保证数据准确性，还需定期校正仪器，并采用适当的标准物质作为质量控制手段。

在整个实验流程中，从样品制备到最终结果报告，都应严格遵守相关实验室安全规定及环境保护要求。对于特殊条件下工作的人员，还应注意采取必要的个人防护措施，比如佩戴护目镜、手套等。通过遵循本标准提供的指导原则和技术细节，可以有效地实现对石英砂内各种目标元素浓度水平的精确测量。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-04-25 颁布
  • 2016-11-01 实施
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GB/T 32650-2016电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素_第1页
GB/T 32650-2016电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素_第2页
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文档简介

ICS31030

L90.

中华人民共和国国家标准

GB/T32650—2016

电感耦合等离子质谱法检测石英砂中

痕量元素

Determiningthecontentoftraceelementsinarenaceousquartzbyinductively

couledlasmamasssectrometrICP-MS

pppy()

2016-04-25发布2016-11-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T32650—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位国家硅材料深加工产品质量监督检验中心中国电子技术标准化研究院东海县

:、、

产品质量监督检验所江苏太平洋石英股份有限公司

、。

本标准主要起草人李运强薄雷明冯亚彬管琪许振午武为民周文梅

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32650—2016

电感耦合等离子质谱法检测石英砂中

痕量元素

警告———使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验本标准并未指出所有可能的安全问

。

题使用者有责任采取适当的安全和健康措施并保证符合国家有关法规规定的条件

。,。

1范围

本标准规定了石英砂中铝钙铁钠钾锂镁铬镍硼锰铜钛痕量元素的测定方法

、、、、、、、、、、、、。

本标准适用于石英砂中铝钙铁钠钾锂镁铬镍硼锰铜钛痕量元素含量的测定其他元

、、、、、、、、、、、、。

素含量的测定可参照本标准执行

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682

洁净室及相关受控环境第部分空气洁净度等级

GB/T25915.11:

3方法原理

试样用氢氟酸消解在硝酸介质中进行电感耦合等离子质谱仪测定电感耦合等离子质谱仪由离

,。

子源和质谱仪两个部分构成试样溶液经过雾化由载气送入离子源炬焰中经过蒸发解离原子化电

。,、、、

离等过程转化为带正电荷的离子经过采集系统进入质谱仪质谱仪根据质荷比进行分离对于一定

,,,。

的质荷比质谱积分面积与进入质谱仪中的离子数成正比试样的浓度与质谱积分面积成正比通过与

,。,

标准系列比较定量

。

4干扰因素

41在试验过程中通常存在双原子离子多原离子基体效应背景噪音元素间的干扰交叉污染和仪

.、、、、、

器漂移等因素的影响

。

42取样制样及分析过程中试剂的纯度设备的洁净度和操作过程中引入的污染也会影响测试结果

.、、。

5试剂和材料

51超纯水符合中实验室用水一级规格同时电阻率大于

.:GB/T6682,18MΩ·cm。

52氢氟酸质量分数为级高纯试剂

.:40%,MOS。

53硝酸质量分数为级高纯试剂

.:65%,MOS。

54硝酸溶液取硝酸慢慢加入超纯水中

.(2+98):20mL,980mL。

55铝钙铁钠

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