标准解读

《GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》是一项国家标准，专门针对使用原子力显微镜（AFM）技术来测定溅射薄膜材料表面粗糙度的过程提供了详细的指导。该标准适用于各种通过物理气相沉积方法制备的溅射薄膜样品，旨在为科研人员及工业界提供一个统一且准确的测试平台。

根据标准内容，首先明确了适用范围，即本标准所涵盖的具体领域和对象；接着对术语进行了定义，包括但不限于“表面粗糙度”、“原子力显微镜”等关键概念，确保了行业内对于这些专业词汇有一致的理解基础。此外，还详细介绍了实验所需仪器设备的基本要求，比如AFM的工作模式选择、探针规格等，并给出了具体的操作步骤说明，从样品准备到数据采集再到结果分析都有明确指示。

在样品制备方面，强调了需要保证待测表面清洁无污染，并且推荐了一定条件下进行预处理以提高测量准确性。关于数据处理部分，则是基于国际通用算法对获取的数据进行分析，计算出平均粗糙度值Ra以及其他相关参数。同时，也提到了如何评估测量不确定度以及重复性与再现性的控制方法。

整个过程强调了标准化操作的重要性，通过规范化的流程设置来减少人为因素造成的误差，从而能够更客观地反映溅射薄膜的真实表面特性。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-09-30 颁布
  • 2015-04-15 实施
©正版授权
GB/T 31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法_第1页
GB/T 31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法_第2页
GB/T 31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法_第3页
GB/T 31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法_第4页
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文档简介

ICS1704020

J04..

中华人民共和国国家标准

GB/T31227—2014

原子力显微镜测量

溅射薄膜表面粗糙度的方法

Testmethodforthesurfaceroughnessbyatomicforcemicroscope

forsputteredthinfilms

2014-09-30发布2015-04-15实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T31227—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国科学院提出

。

本标准由全国纳米技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC279)。

本标准起草单位上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心

:、。

本标准起草人李慧琴梁齐路庆华何丹农张冰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31227—2014

引言

溅射技术因其能够使材料均匀致密并且大面积地按照合适的比例镀在基体表面上而得到广泛运

,

用形成的薄膜表面粗糙程度对其光电性能具有很大影响由于其粗糙度一般处于纳米尺度但目前

,、。,

已有的国家标准和国际标准都是大于微米尺度的测量方法标准不适用这种材料表面粗糙度的测量

,。

原子力显微镜利用一尖锐探针接触到样品表面得到表面的高度信息达到了纵向上优于横向

,,0.1nm,

上优于的分辨率用原子力显微镜来测量溅射薄膜的表面粗糙度平均标准偏差可以达到

1nm。,1nm,

因而适合这种薄膜表面粗糙度的测量

。

Ⅱ

GB/T31227—2014

原子力显微镜测量

溅射薄膜表面粗糙度的方法

1范围

本标准规定了使用原子力显微镜测量表面粗糙度的方法

(AFM)。

本标准适用于测量溅射成膜方法生成的平均粗糙度Ra小于的薄膜

、100nm。

其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

利用晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

GB/T27760—2011Si(111)。

3术语和定义符号和缩略语

、

31术语和定义

.

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T27760—2011。

311

..

原子力显微镜atomicforcemicroscope

利用晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

Si(111)。

312

..

溅射薄膜sputteredthinfilms

利用溅射工艺在某种基体上形成的均匀的膜

。

313

..

探针污染tipcontaminated

探针针尖的表面吸附上了其他物质造成了针尖的污染

,。

32符号和缩略语

.

下列符号和缩略语适用于本文件见表

(1)。

表1符号和缩略语

缩写和符号说明单位

原子力显微镜

AFM(AtomicForceMicroscope)

云母片用于的方向的原子级分辨的校正

Mica,AFMx-y

Ra平均粗糙度

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