• 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-12-22 颁布
  • 2015-07-01 实施
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T31058—2014

电子工业用气体四氟化硅

Gasesforelectronicindustry—Silicontetrafluoride

2014-12-22发布2015-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

电子工业用气体四氟化硅

GB/T31058—2014

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20154

*

书号

:155066·1-51307

版权专有侵权必究

GB/T31058—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位核工业理化工程研究院华核新技术开发公司佛山市华特气体有限公司绿菱电

:、、

子材料天津有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司贵州大学西南化工研究设计院有限公司

()、、、。

本标准主要起草人邓建平李于教傅铸红汤有伦崔学文方华唐安江周鹏云

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31058—2014

电子工业用气体四氟化硅

1范围

本标准规定了四氟化硅的技术要求试验方法标志包装运输和贮存等内容

、、、、。

本标准适用于萤石硫酸法六氟硅酸盐热分解法单质硅直接氟化法制备的四氟化硅它主要用作

、、。

电子工业中等离子蚀刻发光二极管形掺杂离子注入工艺外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯

、P、、

石英玻璃的原料也是生产多晶硅的重要原料

,。

分子式

:SiF4。

相对分子质量按年国际原子相对质量

:104.0786128(2009)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

钢质无缝气瓶

GB5099

气瓶颜色标志

GB7144

永久气体充装规定

GB14194

化学品安全标签编写规定

GBl5258

气瓶警示标签

GB16804

特种气体储存期规范

GB/T26571

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726—2012

气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法

GB/T28727

气瓶安全监察规程版

(2000)

危险化学品安全管理条例版

(2002)

特种设备安全监察条例版

(2009)

3技术要求

四氟化硅的技术要求应符合表的要求

1。

表1技术指标

项目指标

四氟化硅纯度体积分数-2

()/10≥99.9999.999

氢含量体积分数-6

(H2)()/10<21

氧氩含量体积分数-6

(+)(O2+Ar)()/10

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