• 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-07-24 颁布
  • 2015-02-01 实施
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GB/T 30869-2014太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法_第1页
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文档简介

ICS77040

H21.

中华人民共和国国家标准

GB/T30869—2014

太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化

测试方法

Testmethodforthicknessandtotalthickness

variationofsiliconwafersforsolarcell

2014-07-24发布2015-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30869—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会及材料分技术委员会

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并归口

203/SC2)。

本标准起草单位东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司有研半导体材料股份有限公司乐山新

:、、

天源太阳能科技有限公司青洋电子材料有限公司

、。

本标准主要起草人何紫军冯地直程宇黎阳陈琳荆旭华刘卓

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T30869—2014

太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化

测试方法

1范围

本标准规定了太阳能电池用硅片以下简称硅片厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法

()。

本标准适用于符合规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量分立

GB/T26071、GB/T29055,

式测量方法适用于接触式及非接触式测量扫描式测量方法只适用于非接触式测量在测量仪器准许

,。

的情况下本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量

,。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

太阳能电池用硅单晶切割片

GB/T26071

太阳电池用多晶硅片

GB/T29055

3方法提要

31分立点式测量

.

在硅片对角线交点和对角线上距两边的个对称位置点测量硅片厚度见图硅片中

15mm4(1)。

心点厚度作为硅片的标称厚度个厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值称作硅片的总厚度

。5

变化

。

图1分立点式测量的测量点位置

32扫描式测量

.

硅片置于平台上在硅片中心点进行厚度测量测量值为硅片的标称厚度然后从点开始按

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