GB/T 30705-2014微束分析电子探针显微分析波谱法实验参数测定导则

ICS7104050

G04..

中华人民共和国国家标准

GB/T30705—2014

微束分析电子探针显微分析

波谱法实验参数测定导则

Microbeamanalysis—Electronprobemicroanalysis—

Guidelinesforthedeterminationofexperimentalparametersfor

wavelengthdispersivespectroscopy

(ISO14594:2009,MOD)

2014-06-09发布2014-12-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30705—2014

目次

前言

…………………………Ⅰ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

缩略语

4……………………2

实验参数

5…………………2

概要

5.1…………………2

入射电子束参数

5.2……………………2

波谱仪参数

5.3…………………………3

试样参数

5.4……………4

测量步骤

6…………………4

概要

6.1…………………4

束流

6.2…………………4

谱峰测量参数

6.3………………………5

试样参数

6.4……………7

实验报告

7…………………7

附录资料性附录分析面积的估算方法

A()……………9

附录资料性附录分析深度的估算方法

B()……………11

附录资料性附录射线分析体积的蒙特卡罗模拟估算方法

C()X(MC)……………12

参考文献

……………………15

GB/T30705—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准使用重新起草法修改采用微束分析电子探针显微分析波谱法实验参

ISO14594:2009《

数测定导则英文版

》()。

本标准与微束分析电子探针显微分析波谱法实验参数测定导则英文版

ISO14594:2009《》()

的主要技术差异

:

用代替

———GB/T27025:2008ISOGuide25:1990;

将第章中的项修改为的

———7ISOGuide25:199013.2GB/T27025—20085.10。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本标准起草单位中国科学院上海硅酸盐研究所

:。

本标准主要起草人曾毅李香庭吴伟

:、、。

Ⅰ

GB/T30705—2014

微束分析电子探针显微分析

波谱法实验参数测定导则

1范围

本标准规定了进行电子探针分析时的入射电子束波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则并规

、,

定了束流束流密度死时间波长分辨率背底分析面积分析深度和分析体积的测定过程

、、、、、、。

本标准适用于垂直入射电子束对抛光试样的分析对于其他实验条件这些实验参数只能作为

,,

参考

。

本标准不适用于能谱法

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

检测和校准实验室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

分析面积analysisarea

能检测到全部信号或者规定百分数信号的试样表面的二维区域

。

32

.

分析深度analysisdepth

从试样表面到作用体积底部的垂直距离经过该距离能检测到全部信号或者规定百分数的信号

,