GB/T 28856-2012硅压阻式压力敏感芯片

ICS17100

N05.

中华人民共和国国家标准

GB/T28856—2012

硅压阻式压力敏感芯片

Siliconpiezoresistivepressure-sensitivechip

2012-11-05发布2013-02-15实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

硅压阻式压力敏感芯片

GB/T28856—2012

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100013)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

/p>

年月第一版

20133

*

书号

:155066·1-46294

版权专有侵权必究

GB/T28856—2012

目次

前言…………………………

Ⅲ

范围………………………

11

规范性引用文件…………………………

21

术语与定义………………

31

分类………………………

41

电隔离类型…………………………

4.11

敏感芯片参考感压腔类型…………

4.22

基本参数…………………

52

测量范围……………

5.12

工作介质……………

5.22

工作温度范围………………………

5.32

激励电源……………

5.42

要求………………………

62

总则…………………

6.12

基本性能要求………………………

6.22

试验方法…………………

75

环境条件……………

7.15

电气连接及外观……………………

7.25

敏感电阻……………

7.36

漏电流………………

7.46

击穿电压……………

7.56

隔离电压……………

7.67

零点失调电压………………………

7.77

常压失调电压………………………

7.87

静态性能……………

7.97

稳定性………………

7.108

检验规则…………………

88

检验分类……………

8.18

出厂检验……………

8.28

型式检验……………

8.39

标志包装运输及贮存…………………

9、、10

标志…………………

9.110

包装…………………

9.210

运输…………………

9.310

贮存…………………

9.410

Ⅰ

GB/T28856—2012

附录规范性附录传感器性能指标的计算方法……………………

A()11

实际校准特性……………………

A.111

最小二乘法直线方程……………

A.211

满量程输出Y…………………

A.3(FS)12

非线性ξ………………………

A.4(L)12

迟滞ξ…………………………

A.5(H)12

重复性ξ………………………

A.6(R)12

准确度ξ…………………………

A.7()13

零点漂移d……………………

A.8(z)13

热零点漂移α……………………

A.9()14

热满量程输出漂移β…………

A.10()14

Ⅱ

GB/T28856—2012

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国机械工业联合会提出

。

本标准由中国机械工业联合会归口

。

本标准起草单位沈阳仪表科学研究院传感器国家工程研究中心国家仪器仪表元器件质量监督

:、、

检验中心昆山双桥传感器测控技术有限公司大连理工大学中国电子科技集团公司第四十九研究所

、、、、

北京鑫诺金传感技术有限公司北京瑞普恩德斯豪斯仪表有限公司南京沃天科技有限公司中国仪器

、、、

仪表协会传感器分会中国仪器仪表学会仪表元件分会

、。

本标准主要起草人唐慧刘沁徐秋玲于振毅张治国徐淑霞殷波王冰陈信琦黄正兴

:、、、、、、、、、、

王文襄郭宏宁宁李延夫高峰

、、、、。

Ⅲ

GB/T28856—2012

硅压阻式压力敏感芯片

1范围

本标准规定了硅压阻式压力敏感芯片以下简称敏感芯片术语和定义分类基本参数要求试验

()、、、、

方法检验规则标志包装运输及贮存

、、、、。

本标准适用于硅压阻式压力敏感芯片

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

包装储运图示标志

GB/T191—2008

周期检验计数抽样程序及表适用于对过程稳定性的检验

GB/T2829—2002()

传感器通用术语

GB/T7665—2005