MEMS在医学中的应用与发展

MEMSMEMS在医学中的应用与发展MEMS在医学中的应用与发展李晓云 机电学院2120140162序言20世纪最有影响力的技术之一[1]。近半个世纪MEMS制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。发展综述生活和军事国防带来了深远影响[3]。它已成为以美国、日本、德国为代表的许多发达国家研究的热点。1988108所大学开始微电子机械系统的主要项目研究，19892005001995年财年的计划中，将微电子机械系统视为直接关系国防与经济发展的高技1993年就微机械对未来航天系统的潜在影响进行了调查和评估[4]90MEMS技术和产品。美国军事研究机构国防高级研究计划局)是MEMSHI-MEMSMEMSMEMS发MEMS2007年开始已要求所有汽车采用轮胎压力监测系统(TPMS)和电子稳定控制器(ESC)等，加大MEMSMEMSMEMS产品生产的晶圆IC同步，呈现大口径化、智能化，与人体神经元和大脑信息互IC芯片、计算机软件、数据采集和处理技术等多位一体化发展的趋位快速渗透和发展。目前美国主要的MEMS(TI)、模拟器件(ADI)、飞思卡尔、楼氏电子(Knowles)SiTimeIMTSiliconMicrostructures(SMI)、GEInfrastructureSensing等。大部分半导体制造公司同时MEMSMEMS环境识别、分子级化学成份识别、模拟动物及人的五官和四肢能力等方向发展。2011年世界10MEMS4(1名)(第2名)(8名)ADI(9名)2011年，美国MEMS企业的总销售额约为41.29亿美元，占世界MEMS市场销售额份额为40.5%[5]。ILG得了令人注目的成绩[4]。25家大公司参与微机械工艺制造技术[4]。日本政2007MEMSMEMS相关开发。2007年夏季，日本文部科学省科学技术及学术政策局推出“尖端融合领域革新创造基地的形成”计划课题——“微系统融合研究开发”启动了产学合作项目。112007年夏季共同启动了产学合作MEMS领域前沿的研究小组与拥有具体应用对象的企业合作，使各种MEMS2009年日本在经济产业省的主导JMEC(JapanMEMSEnhancementConsortium)MEMS设在日本产业综合研究所、MEMSMEMSDENSO、(Omron)Matsushita(Oki)(Murata)MEMS公司的最新技术发展动向主要有：智能视觉传MEMS器件、智能汽车感应系统等。如：日本不仅使用机器肺脏与声带，还增加了机动灵活的舌头、柔软的上腭、嘴唇和牙齿，能够更加清晰地读出日本字母发音等，能模仿人类的声音。201110MEMS公司中，4(5名)、松下(6名)、电装(7名)、爱普生(10名)。2011MEMS产业的20.289MEMS20.1%[5]。在医学中的应用与发展趋势[6]。生物体本身就是一个精细的复杂系统，它形成的生物信息处理的优异特性微电子技术[7]。实现生物医学电子设备的集成化和微型化是生物医学电子电子系统、生物芯片等方面，微电子技术的发展实现其微型化[8]；2)按照目前借鉴生物医学的最新成果，在很大程度上能促进微电子技术的发展[9]。生物医学传感器式传感器，热电式传感器，光电传感器以及生物传感器等[10]。制更加精确即达到分子和原子水平，从而把生物医学带入一个崭新时代。[12]：充分利用CMOS工艺传感器的研制和设计；2)充分汲取了有机物的优点利用有机物和免疫传感器以及微生物传感器等。3)多传感器的集成技术、融合与智能化技术，4)纳米技术与微电子机械技术这些植入式电子系统得植入式电子系统得到飞速的发展[13]。植入式天线的设计技术。主要是解决效率与天线微型化之间的矛盾；2)RF射频电路的设计技术。低功耗植入式集成电路植入式系统的微弱信号的提取技术。生物信号都是微弱一些前沿的数字信号处理技7)生物芯片80年代提出的，最初指的是分子电子器件。试图把生物活性分子或有机功能分子进行组装，构建一个微功能的单元以实现信息的获取、[14]。上世纪90DNA/RNA[17]等芯片。生物芯片的[8]。MEMS21世纪微电子领域的一个热点[18]。其中生物微机电系统(Bo-iMEMS)MEMS，其中最明显MEMS可以灵敏、准确、低成本和微MEMS的微加工技术和微电子技术在固体芯片[19]。目前比较先进的生物芯片是蛋白质芯片生物传感器[20]参考文献[1]王淑华.MEMS传感器现状及应用[J].微纳电子技术，2011，08：516-522.[2]赵正平.典型MEMS和可穿戴传感技术的新发展[J].微纳电子技术，2015，01：1-13.丁雯彬MEMS(英文)[A].RFID产业联盟.2012传感世界暨物联网应用峰会、中国健康物联网（上海）[C].中国电子器材总公司、中国RFID2012：1.[J].1994.[5][5]郭毅然.美日欧竞相发展MEMS产业[N].中国电子报，2012-06-12010..生物传感器在现代医学模式中的应用[J].代电子技术，2013，20:131-135.曹相民.光电子信息工程专业的现状及发展前景[J].产业与科技论坛，2015，03:86-87.路明,赵则祥,王长路. 我国微机械技术发展概述[J]. 中原工学院报,2010,06:64-67+75.刘英明.[J].数字技术与应用，2011，03:77+79.李国峰.[D].2011.王晓华，赵倩.生物微传感器系统技术的发展及应用[J].学报，2013，05:477-481.张勇,张剑,熊国宏. 浅论MEMS 技术发展趋势与应用[J]. 科技息,2010,35:123.UWB进展[J].现代电子技术，2014，10:132-136+140.杨永生MEMS[J].08:6-9..MEMS述[J].广西科学院学报，2010，04:528-531.骆健.静态腔室PCR 芯片的设计制造与实验研究[D].上海交通学,2014.杨晓博.多通道集成毛细管电泳芯片检测系统的研究[D].学,2014.薛斐CHIKVSINVJEV