单晶炉维护与修理

单晶炉维修和养护规程一、坩埚轴驱动部件的维修：坩埚轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，要增强保护，坩埚轴是多晶硅料的支撑轴，其精度高，工艺复杂，应要点保护。1、要经常检查其冷却水的状况，省得因冷却水不充分而被烧坏，拆下后需垂吊放置；2、坩埚轴驱动装置的导柱及直线运动轴承是要点的导向元件，应妥当保护，导柱须保持干净，禁止灰尘、杂物附着，如期涂抹油脂，以防绣蚀。直线轴承出厂时已作充分润滑，必需时每隔一年加注锂基润滑脂一次，加油时，松开油盖，提起油封，推出轴承，认真冲刷后方可注入新油（见附图9），发现导柱与轴承间有研损时，应将轴承微转一角度，使滚珠避开研损印迹，以保证平衡运转。导柱与轴承是配套装置的，请勿装错；3、滚珠丝杆精美杆付、涡轮、齿轮等传动部件，应经常保持干净、润滑，禁止灰尘等脏物污染，省得部件损坏和失灵；4、坩埚轴快速起落传动涡轮，每两个月打开润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次，请准时除去涟漪管中的杂物；二、谐波减速器的维修（见附图M11）谐波减速器是由波发生器所产生的机械波，经过柔性齿轮变形，进而产生齿间相对位移而达到传动目的的一种大减速比减速机构，使用中一般不加油，不用拆卸，在必需时，拆后装置务必然个部件冲刷干净，其轴承内应涂201润滑脂，齿面应加7011特钟脂；三、籽晶提拉部件的维修（见附图M17，M18）11、籽晶提拉部件是单晶炉的要点部件，卷轮箱是核心部分，上边设有察看孔，用来察看内部卷轮及软轴钢丝绳的工作状况，卷轮箱左端联有超限位箱，用来保护卷轮箱不会因其超程而被损坏，卷轮箱的右端由双级减速器传达转知距，减速箱内的涡轮涡杆传动件，每三个月加注适合润滑油；2、不锈钢丝软轴定额承载150Kg，每次开炉后，应检查承重头部钢丝绳可否烧损，若有烧损应将烧损部分实时去掉，外层编织层拉紧并打个节扣（有条件的可用氩弧焊封头），一根钢丝绳可供几次修整使用，但每次修整后，都应核实所剩钢丝绳长度可否能知足使用要求，不然应更换新的软轴钢丝绳；3、卷轮箱内的调整螺母（铜螺母）不得随意拆动，省得影响软轴的对中，若是一定要拆卸时，装时必然要认真调整，最后保证软轴读中，软轴钢丝绳在保留、使用、维修安装中禁止造成任何死弯现象，不然在运转中会引起抖动；四、水冷系统的维修每次装炉前要检查各水道可否通畅，要点部位的水温巡检传感器安装可否正常，拉单晶时，当水压报警时要实时办理，若有漏水时要实时采纳举措，当发现结垢时，应先用醋酸进行除垢，尔后用清水冲刷，最后用压缩空气吹尽余物；五、隔断阀的维修每次装炉前都要检查阀口密封圈可否圆满，检查隔断阀操作可否轻松、无卡滞，如发现问题应实时除去；六、管道的维修2真空管道是联接主机与真空泵的通道，真空管道可否圆满工作直接影响着设备的正常工作，所以，也应重视这方面的保护，除尘器中的过滤网每2-3炉清理一次，抽气管道每1炉清理一次，管道的温升直接影响着泵的寿命、抽气速率及密封圈的寿命，应经常检查管道的冷却水，保证通畅；单晶炉常有故障现象、原由及除去方法故障现象产生原由除去方法1、真空密封室密封不良1、对真空室进行分段查验确立漏点，2、球阀处密封松动或损坏进行除去；（磁流体密封处加注磁液）真空抽不到指标3、真空泵有故障2、调整球阀或更换密封圈；3、参阅真空泵说明书；1、丝杆、螺母有污物，润滑不1、冲刷丝杆丝母，加润滑油；良；2、调整电磁离合器，控制缝隙至2、电磁阀离合器工作不良；0.4-0.6;2埚升不稳3、齿轮带松动或齿合不良；3、调整齿行带，使其合理齿合；4、给定电位器接触不良；4、更换电位器；5、测速电机有问题；5、检查测速机刷头或更换电机；6、电机抖动，放大倍数过大；1、坩埚轴有卡滞现象；1、清理波稳管中的杂物；2、楔形带有松动；2、调整楔形带张力；3埚转不稳3、测速机有问题；3、检查测速机刷头或更换电机；4、坩埚轴定位轴承工作不良；4、冲刷润滑轴承或更换轴承；5、同第二项中的第4、6条5、同第二项中的第4、6条；31、卷丝轮与牵引套联接松动；1、紧固2、钢丝绳有毛刺或拆痕；2、更换软轴钢丝绳籽晶轴起落不3、减速机润滑不良3、冲刷润滑4稳，有抖动现象4、电刷环接触不良4、清理、调整电刷环组件5、同第二项中的第二步、6条5、同第二项中的第二步、6条6、计算机控速输出不稳6、更换计算机1、测速电机有问题1、检查测速机电刷头，或更换电机2、楔形带松动2、调整楔形带张力籽晶轴转动不稳3、支轴承工作不良3、冲刷润滑轴承或更换轴承4、同第二项中的第二步、64、同第二项中的第二步、66飞车1、测速机电压开路1、查电刷环及线路1、12A8控制器零点偏正；1、调控制器零点偷转2、计算机控速有输出；2、将计算机控速输出OP回零1、给定无输出；1、检查给定电源（印刷板）8不转2、计算机有负信号输出（晶升）2、将计算机OP回零3、滑环开路；3、维修滑环组件1、软轴对中性差；1、调整对中；2、籽晶提拉部件动平衡差；2、调整配重使之达到平衡；9重锤左右摇动3、阻尼套松动或损坏；3、调整更换阻尼套；4、外界振动影响；4、除去外界振动影响；5、与限位杆干涉；5、调整限位杆；10液面抖动1、按第9项各条检查调整；1、按相关方法办理；42、按第2、3、4项中各条调整2、按相关方法办理；3热系统（托杆、埚托等）与坩3、调整各联接使之紧固；埚杆联接松动；4、检查清理抽气管道；4、两抽气口抽气不匀；5、除去外界振动的影响；5、外界震动影响；1、按第9项各条检查调整1、按相关方法办理；等径过程中出现112、主机水平误差过大；2、调整主机水平；晶体扭曲现象3、液面温度偏低，拉速过快；3、加大温校量；1、电刷环组件接触不良；1、清理、调整电刷环组件；计长显示禁止2、计算机有问题；2、换计算机；1、测速电机接触不良产生临时拉晶过程中速度飞车现象（尖刺向上）；13记录曲线出现尖检修调整刷头使之接触优异2、力矩机电刷接触不良，产生刺临时泊车现象；1、计算机控温输出（OP）较1、将计算机OP输出降至800字；大；2、检查接通侧取光；14欧陆显示断欧2、側取光断路；3、查接口板；3、温度记录仪接口板故障；15非故障报警传感器有问题检查传感器同步少一相1、换交流接触器；加热过程中电流1、交流接触器头接触不良；2、换同步变压器；忽然降落2、同步变压器断头；5加热电压加至1、可控硅断路；1、换可控硅；1730V忽然回零2、脉宽电容特点差；2、换电容；1、加热器打火；2、氩气不纯拉弧；3、加热电极与炉体间绝缘性1、清理炉內个处；过流差；2、换相应绝缘件4、高温加热后，杂质挥发过多，拉晶过程中打火单晶炉部件拆装一、坩埚轴的拆装（参阅附图M10）拆卸坩埚轴时，应先松开水套与水套固定座的联接螺钉，去掉轴挡圈，卸掉水套固定座，尔后松开圆螺母，卸掉带轮，将磁流体密封部件整体取下，最后将坩埚轴上边整体抽出，装入时逆操作，只要注意轴承的润滑采纳真空脂润滑，水套座内的润滑可用一般润滑即可；二、电极的拆装（见附图M12）因为电极资料为无氧铜，所以装时应特别小心，切勿重击，拆装电极时，第一卸掉水冷电缆及铜夹子，尔后拆下水嘴座，松开压紧螺母，移去上部石英护套，将电极从上部抽出即可，装置时，可进行逆操作即可；三、卷丝轮的拆装卷丝轮轴的旋转密封采纳的是磁流体密封，拆装卷丝轮时应尽可能不要打开磁流密封组件，1、拆去电机及减速箱（拆时做上相对地址记号，复位时按记号找正）；62、拆下软轴网丝绳压轮；3、卸掉重锤及软轴钢丝绳；4、拆下卷轮箱左端限位箱；5、拆下左端盖及限位杆；6、拆下拖动限位杆的拖动圆盘；7、松开右端盖与卷轮箱的联接螺钉；8、将右端盖与卷丝轮一起从右