标准解读

《GB/T 28159-2011 电子级磷酸》是一项国家标准,主要规定了用于半导体制造等电子工业领域的高纯度磷酸的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。该标准适用于电子工业中作为清洗剂或蚀刻剂使用的磷酸。

根据这项标准,电子级磷酸按其质量被划分为不同等级,每个等级的磷酸都有明确的技术指标,包括但不限于外观、密度、总酸度、不挥发物含量、金属离子杂质含量(如钠、钾、铁、铜等)以及其他特定杂质的最大允许浓度。这些严格的规定确保了产品能够满足电子行业对材料纯度极高的需求。

对于检测方法,《GB/T 28159-2011 电子级磷酸》也提供了详细的指导,涵盖了物理性质测试(比如密度测定)、化学成分分析(例如通过滴定法测定总酸度)及微量杂质元素的测定技术(采用原子吸收光谱法或其他适当的方法)。所有这些测试都旨在保证产品质量符合规定的标准。

此外,标准还指定了抽样规则,明确了从批量生产的产品中如何正确地选取样品进行质量检查;同时也规范了产品的包装方式,要求使用不会与磷酸发生反应且能有效防止污染的容器来盛装,并且对外包装上的标识信息做出了具体要求,以确保安全运输并便于识别。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-12-30 颁布
  • 2012-07-01 实施
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GB/T 28159-2011电子级磷酸_第1页
GB/T 28159-2011电子级磷酸_第2页
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文档简介

ICS31030

L90.

中华人民共和国国家标准

GB/T28159—2011

电子级磷酸

Electronicgradephosphoricacid

2011-12-30发布2012-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T28159—2011

目次

前言…………………………

范围………………………

11

规范性引用文件…………………………

21

产品分类…………………

31

要求………………………

41

试验方法…………………

52

安全提示……………

5.12

一般规定……………

5.23

外观…………………

5.33

磷酸含量……………

5.43

易氧化物含量………………………

5.53

金属离子含量………………………

5.64

阴离子含量…………………………

5.75

颗粒测定……………

5.89

检验规则…………………

69

组批与抽样…………………………

6.19

检验项目……………

6.29

标志标签…………………

7、9

包装运输贮存操作……………………

8、、、9

附录资料性附录仪器工作条件……………………

A()11

附录资料性附录离子色谱图………………………

B()13

GB/T28159—2011

前言

本标准是根据给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会提出并归口

(TC203)。

本标准负责起草单位四川成洪磷化工有限责任公司江苏江阴市润玛电子材料有限公司湖北兴

:、、

发化工集团股份有限公司苏州电子材料厂有限公司苏州晶瑞化学有限公司

、、。

本标准主要起草人李全东肖遥王文武戈士勇何珂李少平钟尉尤家栋刘兵

:、、、、、、、、。

GB/T28159—2011

电子级磷酸

1范围

本标准规定了电子级磷酸的要求试验方法检验规则以及标志包装运输贮存等

、、、、、。

本标准适用于电子工业用磷酸

本标准不涉及使用安全性问题本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的

,

限制

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

包装储运图示标志

GB/T191

化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T601

化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T603

化学试剂磷酸

GB/T1282—1996

食品添加剂磷酸

GB3149—2004

化工产品采样总则

GB/T6678

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

电子级水

GB/T11446.1

化学品安全标签编写规定

GB15258

电子工业洁净厂房设计规范

GB50472

3产品分类

标准规定的电子级磷酸分为两种规格为普通电子级磷酸为高纯电子级磷酸

:E1,E2。

4要求

41外观无色无臭黏稠状液体

.:、、。

42电子级磷酸应符合表要求

.1。

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