常用传感器与敏感元件

常用传感器与敏感元件第一页，共一百四十页，2022年，8月28日11.传感器（sensor/transducer）定义

工程测量中通常把直接作用于（感知）被测量，并能按一定方式/一定规律将其转换成同种或别种量值输出的器件。

物理量电量

目前，传感器转换后的信号大多为电信号（如电压、电流）或者电的参数信号（如电阻、电容、电感等）。因而从狭义上讲，传感器是把外界输入的非电信号转换成电信号的装置。第二页，共一百四十页，2022年，8月28日22.传感器的构成

传感器由敏感器件/元件与辅助器件组成。敏感元件的作用是感受被测物理量，并对信号进行转换输出。dV

辅助器件则是对敏感器件输出的电信号进行放大、阻抗匹配，以便于后续仪表接入。Return第三页，共一百四十页，2022年，8月28日33.1常用传感器分类1)按被测物理量常见的被测物理量位移力温度噪声……位移传感器力传感器温度传感器2)按传感器工作原理机械式,电气式,光学式,流体式等.第四页，共一百四十页，2022年，8月28日43.1常用传感器分类3)按信号变换特征:物性型传感器和结构型传感器※物性型传感器:依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实现信号的变换。如水银温度计；压电传感器。※结构型传感器:是依靠传感器结构参数的变化（如形状、尺寸等）而实现信号转换。例如，电容式传感器。第五页，共一百四十页，2022年，8月28日53.1常用传感器分类能量转换型和能量控制型能量转换型:又称无源传感器。直接由被测对象输入能量使其工作。二者存在能量交换。例如:热电偶温度计能量控制型:又称有源传感器。从外部供给能量使传感器工作，并且由被测量来控制外部供给能量的变换。例如:电阻温度计4)按敏感元件与被测对象之间的能量关系:第六页，共一百四十页，2022年，8月28日63.2机械式传感器及仪器工作原理:以弹性体作为传感器的敏感元件。弹性元件利用其弹性变形范围内能感受力、压力、力矩等产生弹性变形在外力消失后又可恢复原状的性能，把各种形式的非电量转变为应变量或位移量，然后再经过一定的变换或检测方式转化为电量。Eg.弹簧

弹性元件具有的现象：1蠕变：材料在长时间的恒温、恒载荷作用下缓慢地产生塑性变形的现象。2.弹性后效：是指加载（或卸载）后经过一段时间应变才增加（或减小）到一定数值的现象。弹性材料的这些现象会影响输入输出的线性关系，因此，应用弹性元件时，应从结构设计、材料选择等方面采取有效措施。第七页，共一百四十页，2022年，8月28日73.2机械式传感器及仪器实例第八页，共一百四十页，2022年，8月28日83.2机械式传感器及仪器实例第九页，共一百四十页，2022年，8月28日93.3电阻、电容与电感式传感器一、电阻式传感器基本原理：就是将被测量的变化转换成电阻值的变化，再经过转换电路变成电信号输出。分类：按工作原理可分为变阻器式、电阻应变式1变阻器式传感器/电位计式传感器/可调电位器工作原理：通过改变电位器触头位置，实现将位移转化为电阻R的变化。第十页，共一百四十页，2022年，8月28日103.3电阻、电容与电感式传感器直线位移型C、A间：灵敏度S：灵敏度S

：k1——单位长度的电阻值角位移型C、A间：a——电刷转角ka——单位弧度对应的电阻值第十一页，共一百四十页，2022年，8月28日113.3电阻、电容与电感式传感器按制作方式：线绕电位器导电塑料电位器普通塑料基底导电材料粉第十二页，共一百四十页，2022年，8月28日123.3电阻、电容与电感式传感器变阻器式传感器后接电路：其中，Rp—变阻器的总电阻；

xp—变阻器的总长度；

RL—后接电路的输入电阻知识链接当Rp/RL趋于零时，输出电压Uo才与位移x成线性关系。所以，后接电路的输入电阻要远远大于变阻器的总电阻Rp。当Rp/RL<0.1时，非线性误差小于满刻度输出的1.5%。第十三页，共一百四十页，2022年，8月28日133.3电阻、电容与电感式传感器一、电阻式传感器1变阻器式传感器/电位计式传感器优点：结构简单、性能稳定、使用方便。缺点：因为受到制作更小直径的电阻丝的限制，分辨力不高，很难小于20mm，其绕制较困难。此外，这种传感器还有较大的噪声，主要因为电刷和电阻元件之间存在磨损、接触面变动等。第十四页，共一百四十页，2022年，8月28日143.3电阻、电容与电感式传感器一、电阻式传感器2.电阻应变式传感器——应变片（核心/敏感元件）（1）金属电阻应变片※工作原理：是基于金属导体的应变效应，即金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着所受机械变形(伸长或缩短)的变化而发生变化。使用：把应变片用特制胶水粘固在弹性元件（如下图）或需要测量变形的物体表面上。在外力作用下，应变片随同物体一起变形，其电阻值发生相应变化。第十五页，共一百四十页，2022年，8月28日153.3电阻、电容与电感式传感器金属丝电阻应变片△结构材质：康铜（铜镍）合金、镍铬合金（高的电阻率），直径为0.025mm应变片长度※若应变片在长度方向上发生伸长变形，则其阻值增大第十六页，共一百四十页，2022年，8月28日16金属箔式电阻应变片a）敏感单方向上的应变b）双片式应变花，测扭矩3.3电阻、电容与电感式传感器优点：线条均匀，尺寸准确，箔片厚度约为1-10mm，粘接性好，应用较广。b)第十七页，共一百四十页，2022年，8月28日17应变计金属应变计3.3电阻、电容与电感式传感器第十八页，共一百四十页，2022年，8月28日183.3电阻、电容与电感式传感器由电阻丝几何尺寸改变引起由电阻丝的电阻率随应变的改变而引起对于金属电阻应变片，有：灵敏度：（金属电阻应变片的灵敏度S=）第十九页，共一百四十页，2022年，8月28日19粘贴式：粘贴式金属丝应变片可用于应力分析，也可用作为传感器。由于可测的电阻值变化要求导线长度很长，因而要将导线按一定的形状（通常为栅状）曲折地贴在由浸渍过绝缘材料的纸衬或合成树脂组成的载体上。图金属丝应变片图应变片结构纵截面情形3.3电阻、电容与电感式传感器补充：金属丝式应变片的分类第二十页，共一百四十页，2022年，8月28日203.3电阻、电容与电感式传感器非粘贴式：图示出一种非粘贴式应变仪，它采用一组连接成电桥形式的预加载电阻丝。其中电桥的每根电桥臂的电阻值约为120～1000Ω，最大激励电压为5～10V，满量程输出为20～50mV。图非粘贴式应变仪第二十一页，共一百四十页，2022年，8月28日213.3电阻、电容与电感式传感器2.电阻应变式传感器——应变片（核心/敏感元件）（2）半导体应变片结构：工作原理：基于半导体材料的压阻效应※压阻效应：单晶半导体材料在沿某一轴向受外力作用时，其电阻率r发生变化的现象。

从半导体物理可知，单晶半导体在外力作用下，原子点阵排列规律会发生变化，导致载流子迁移率及载流子浓度产生变化，从而引起电阻率的变化。

第二十二页，共一百四十页，2022年，8月28日22分类：P型应变片：在施加有效应变时会增加其电阻值；N型应变片：在施加有效应变时会减少其电阻值。3.3电阻、电容与电感式传感器半导体应变片灵敏度：※金属丝电阻应变片与半导体应变片的主要区别：金属丝电阻应变片利用金属导体形变引起电阻变化；半导体应变片利用半导体材料电阻率变化引起电阻变化。（半导体应变片的灵敏度S=60-170）第二十三页，共一百四十页，2022年，8月28日233.3电阻、电容与电感式传感器※电阻应变片的选择、粘贴技术

1.目测电阻应变片有无折痕、断丝等缺陷，有缺陷的应变片不能粘贴。2.用数字万用表测量应变片电阻值大小。同一电桥中各应变片之间阻值相差不得大于0.5Ω。3.试件表面处理：贴片处用细纱纸打磨干净，用酒精棉球反复擦洗贴处，直到棉球无黑迹为止。4.应变片粘贴:在应变片基底上挤一小滴502胶水，轻轻涂抹均匀，立即放在应变贴片位置。第二十四页，共一百四十页，2022年，8月28日245.焊线:用电烙铁将应变片的引线焊接到导引线上。6.用兆欧表检查应变片与试件之间的绝缘组织，应大于500MΩ。7.应变片保护：用704硅橡胶覆于应变片上，防止受潮。3.3电阻、电容与电感式传感器第二十五页，共一百四十页，2022年，8月28日253.3电阻、电容与电感式传感器◎金属电阻应变片的测量电路（a）1片工作应变片的电桥R2（b）2片工作应变片的电桥第二十六页，共一百四十页，2022年，8月28日263.3电阻、电容与电感式传感器◎电阻应变式传感器的应用实例1.直接测定结构的应力或应变立柱应力测量桥梁应力测量第二十七页，共一百四十页，2022年，8月28日272.将应变片粘贴在弹性元件上制成多种用途的应变传感器3.3电阻、电容与电感式传感器◎电阻应变式传感器的应用实例原理：位移x使板弹簧产生与其大小成正比的弹性变形，弹簧上的应变片则将弹性变形（应变）转换成其电阻的变化。原理：它由质量块、悬臂梁、基座组成。当基座与被测振动体一起振动时，质量块的惯性力作用在悬臂梁上，梁的应变与振动体（基座）的加速度在一定频率范围内成正比，则贴在梁上的应变片把应变转换成电阻的变化。第二十八页，共一百四十页，2022年，8月28日283.3电阻、电容与电感式传感器2.将应变片粘贴在弹性元件上制成多种用途的应变传感器◎电阻应变式传感器的应用实例原理：物体重量引起金属盒弹簧的弹性变形，贴在盒上的应变片也随之变形，从而引起其电阻变化。原理：压力使膜片变形，应变片也相应变形，使其电阻发生变化。第二十九页，共一百四十页，2022年，8月28日293.3电阻、电容与电感式传感器案例1：电子秤原理将物品重量通过悬臂梁转化结构变形，再通过应变片转化为电量输出。应变片——受压应变片——受拉第三十页，共一百四十页，2022年，8月28日303.3电阻、电容与电感式传感器※案例2：冲床生产记数和生产过程监测R2R2UeR1UoR3R4ab第三十一页，共一百四十页，2022年，8月28日31案例3：振动式地音入侵探测器

适合于金库、仓库、古建筑的防范，挖墙、打洞、爆破等破坏行为均可及时发现。3.3电阻、电容与电感式传感器第三十二页，共一百四十页，2022年，8月28日32二、电容式传感器3.3电阻、电容与电感式传感器1.变换原理:将被测物理量转换为电容量变化。实质是一个具有可变参数的电容器。两平行极板组成电容器,其电容量为:+++Ad、A或e发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换成电容量的变化。第三十三页，共一百四十页，2022年，8月28日331)极距变化型3.3电阻、电容与电感式传感器灵敏度S：根据电容器变化的参数对电容式传感器进行分类：+++d0d第三十四页，共一百四十页，2022年，8月28日343.3电阻、电容与电感式传感器根据电容器变化的参数对电容式传感器进行分类：1)极距变化型

图3-12极距变化型电容式传感器a)极距变化b)输出特性灵敏度与极距平方成反比，极距越小，灵敏度越高。由于灵敏度随极距而变化，这将会引起非线性误差。为了减小非线性误差，通常规定在较小的间隙变化范围内工作，以便获得近似线性关系。一般取极距变化范围约为。第三十五页，共一百四十页，2022年，8月28日353.3电阻、电容与电感式传感器根据电容器变化的参数对电容式传感器进行分类：1)极距变化型在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、线性度以及克服某些外界条件（如电源电压、环境温度等）的变化对测量精确度的影响，常常采用差动式。图差动式变极距式传感器的原理图灵敏度S：极距变化型电容传感器特点：可利用被测部件作动极板，实现非接触测量，对被测系统影响小；适用于较小位移（0.01微米~数百微米）的测量。第三十六页，共一百四十页，2022年，8月28日363.3电阻、电容与电感式传感器※电容式测厚仪电容测厚仪工作原理。在被测金属带材的上下两侧各放置一块面积相等，与带材距离相等的极板2，这样极板与带材就形成了两个电容器。其总电容Cx＝C1+C2=2C。如果带材厚度发生变化，则引起电容量的变化。用交流电桥将电容的变化检测出来，经过放大，即可由电容测厚仪显示出带材厚度的变化。◎应用第三十七页，共一百四十页，2022年，8月28日373.3电阻、电容与电感式传感器◎应用用来测量金属导体表面振动位移的电容式传感器只含有一个电极，而把被测对象作为另一个电极使用。第三十八页，共一百四十页，2022年，8月28日383.3电阻、电容与电感式传感器2)面积变化型角位移型+++电容量a——覆盖面积对应的中心角r——极板半径灵敏度S：(输出与输入成线性关系)第三十九页，共一百四十页，2022年，8月28日393.3电阻、电容与电感式传感器平面线位移型电容量：b——极板宽度d——极板间距离灵敏度S：第四十页，共一百四十页，2022年，8月28日403.3电阻、电容与电感式传感器圆柱体线位移型灵敏度S：电容量：D—圆筒孔径d—圆柱外径12第四十一页，共一百四十页，2022年，8月28日413.3电阻、电容与电感式传感器产品.陶瓷电容压力传感器液体压力作用在陶瓷膜片的表面，使膜片产生位移。第四十二页，共一百四十页，2022年，8月28日423.3电阻、电容与电感式传感器3)介质变化型利用介质的介电常数变化将被测量转换成电量的一种传感器。可用来测量电介质的液位或某些材料的温度、湿度和厚度等。第四十三页，共一百四十页，2022年，8月28日433.3电阻、电容与电感式传感器产品电容式液位传感器（液位计/料位计）原理：利用介质液面高度的变化对电容介电常数的影响而制成。3)介质变化型第四十四页，共一百四十页，2022年，8月28日44电容式液位计及其等效电路HLH03.3电阻、电容与电感式传感器3)介质变化型第四十五页，共一百四十页，2022年，8月28日453.3电阻、电容与电感式传感器3)介质变化型测量原理：测试时，纱条通过电容器两个极板间的间隙，若纱条不均匀，即图中d值有变化。这个具有两层介质（一层是空气、一层是纱条）的电容器通过介电常数发生变化而使电容器的电容量发生变化，达到测试均匀度的目的。第四十六页，共一百四十页，2022年，8月28日463.3电阻、电容与电感式传感器电容式接近开关振荡电路被测物体感应电极被测电容测量头构成电容器的一个极板，另一个极板是物体本身，当物体移向接近开关时，物体和接近开关的介电常数发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化.接近开关的检测物体并不限于金属导体，也可以是绝缘的液体或粉状物体。第四十七页，共一百四十页，2022年，8月28日473.3电阻、电容与电感式传感器第四十八页，共一百四十页，2022年，8月28日483.3电阻、电容与电感式传感器2.电容式传感器的测量电路(a)电桥型电路将电容传感器作为桥路的一部分。由电容变化转换为电桥的电压输出。通常采用电阻、电容或电感、电容组成的交流电桥（如图）。电桥的输出为调幅波，经过放大、解调、滤波后输出，再推动显示仪表。如何调电桥平衡？(交流电桥平衡条件)第四十九页，共一百四十页，2022年，8月28日493.3电阻、电容与电感式传感器2.电容式传感器的测量电路(b)谐振电路电容传感器的电容Cx作为谐振电路（L2、C2+Cx）调谐电容的一部分。该谐振回路通过电压耦合从稳定的高频振荡器获得振荡电压。当传感器电容量Cx发生变化时，谐振回路的阻抗发生相应变化，并被转换成电压或电流输出，再经过放大、检波即可。为获得较好的线性，一般工作点应选在谐振曲线一边的线性区域内。第五十页，共一百四十页，2022年，8月28日503.3电阻、电容与电感式传感器2.电容式传感器的测量电路(c)调频电路传感器电容是振荡器谐振回路的一部分，当输入量使传感器电容量发生变化时，振荡器的振荡频率发生变化，频率的变化经过鉴频器变为电压变化，再经过放大后由记录器或显示仪表指示。第五十一页，共一百四十页，2022年，8月28日513.3电阻、电容与电感式传感器(d)运算放大器电路UyU0输出电压Uy与电容传感器间隙d成线性关系，该电路适于位移测量传感器。

将电容传感器电容Cx接入运算放大器的反馈电路。第五十二页，共一百四十页，2022年，8月28日523.3电阻、电容与电感式传感器三、电感式传感器定义：基于电磁感应原理，将被测的非电量转换成线圈的电感量（自感量L

或线圈之间互感量M）变化的一种装量。分类:电感式传感器自感型可变磁阻式涡流式互感型第五十三页，共一百四十页，2022年，8月28日533.3电阻、电容与电感式传感器1.自感型（1）可变磁阻式三、电感式传感器

可变磁阻式电感传感器结构

1—线圈2—铁心3—衔铁A特性曲线N——匝数m0——空气磁导率A0——空气气隙导磁横截面积d——气隙长度灵敏度（变气隙式）：为减小非线性误差，通常规定在较小间隙变化范围内工作，一般取△d/d0≤0.1第五十四页，共一百四十页，2022年，8月28日543.3电阻、电容与电感式传感器典型结构1.自感型（1）可变磁阻式三、电感式传感器可变导磁面积型自感L与A0呈线性关系，灵敏度较低。变气隙式衔铁水平移动时，一个线圈的自感增加，另一个线圈的自感减小。将两线圈接在电桥的相邻桥臂上，其输出灵敏度可提高一倍。（差动型）第五十五页，共一百四十页，2022年，8月28日553.3电阻、电容与电感式传感器典型结构1.自感型（1）可变磁阻式三、电感式传感器单螺管线圈型当铁心在线圈中运动时，将改变磁阻，使线圈自感发生变化。结构简单、制作容易，但灵敏度低，适用于较大位移（数毫米）的测量。哪一项导致自感量变化？双螺管线圈差动型电桥电路输出特性较单螺管型相比，有较高的灵敏度及线性，被用于电感测微计上。这种传感器的线圈接在电桥上，构成两个相邻桥臂，线圈电感L1,L2随铁心位移而变化。输出特性如图。第五十六页，共一百四十页，2022年，8月28日563.3电阻、电容与电感式传感器应用1.自感型（1）可变磁阻式三、电感式传感器工作原理：采用了变气隙式（差动型）传感器。当被测压力p变化时，弹簧管1的自由端产生位移，带动与自由端刚性连接的自感传感器的衔铁2发生移动，使传感器的线圈5和6中的电感值一个增加另一个减小。传感器输出信号的大小决定于衔铁位移的大小，衔铁位移的大小又取决于压力大小。第五十七页，共一百四十页，2022年，8月28日573.3电阻、电容与电感式传感器三、电感式传感器※转换原理：基于金属导体在交变磁场中的涡电流效应。当线圈中通以一交变高频电流i时，会引起一交变磁通Ф。在靠近线圈的金属表面内部产生一感应电流i1，该电流i1即为涡流。根据楞次定律，由该涡电流产生的交变磁场将与线圈产生的磁场变化方向相反，亦即Ф1将抵抗Ф的变化。由于涡流磁场对导磁材料的作用以及气隙对磁路的影响，使线圈的等效阻抗Z发生变化。1.自感型（2）※涡流式(eddycurrentsensor)影响传感器线圈阻抗Z的参数：①线圈与金属板间距离d②金属板电阻率r③金属板磁导率m④线圈激磁角频率w(测定被导体位移、振幅、厚度)第五十八页，共一百四十页，2022年，8月28日583.3电阻、电容与电感式传感器根据涡流式传感器的简化模型，可以得出以下结论：1金属导体上形成的涡流有一定的范围，当线圈与导体间的距离不变时，电涡流密度随着线圈外径的大小而变化。为了充分的利用涡流效应，被测导体的平面不应小于传感器线圈外径的2倍，否则灵敏度将下降。※2由于趋肤效应，金属导体内产生的涡流不仅沿径向分布不均匀，而且贯穿金属导体的深度有限。贯穿深度与励磁电流的频率成反比关系。交流电流通过导体时，由于感应作用引起导体截面上电流分布不均匀，越接近导体表面，电流密度越大。第五十九页，共一百四十页，2022年，8月28日593.3电阻、电容与电感式传感器分类：①高频反射式涡流传感器高频反射式涡流传感器可测量位移量d的变化。工作原理电感线圈中通一高频（MHz以上）激励电流趋肤效应薄层中产生电涡流电涡流产生的交变磁通反作用于线圈穿过线圈的磁通发生变化线圈的自感量（L）变化线圈的阻抗（Z）变化。第六十页，共一百四十页，2022年，8月28日60互感原理（多用于测量材料的厚度）发射线圈W1和接收线圈W2分别置于被测金属板材料G的上、下方。由于低频（约1kHz）磁场趋肤效应小，渗透深，当低频电动势加到线圈W1的两端后，产生一交变磁场，并在金属板中形成涡流，该涡流损耗了部分磁场能量，使部分磁力线透过金属板，使线圈W2产生感应电动势。但由于涡流消耗部分磁场能量，使感应电动势e2减小。金属板的厚度（h）越大，涡流损耗的磁场能量越大，e2就越小。因此，e2的大小与G的厚度及材料的性质有关。试验表明，e2随材料厚度h的增加按负指数规律减小，因此，若金属板材料的性质一定，则利用e2的变化即可测量其厚度。3.3电阻、电容与电感式传感器分类：②低频透射式涡流传感器第六十一页，共一百四十页，2022年，8月28日61测量电路3.3电阻、电容与电感式传感器2.涡流式(eddycurrentsensor)三、电感式传感器传感器线圈L和电容C组成并联谐振回路，其谐振频率为电路中由振荡器提供稳定的高频信号电源。测量前，调节LC谐振回路的谐振频率使其等于振荡器提供的振荡频率f0，此时，LC电路的阻抗最大，输出电压的幅值也最大。测量时，传感器线圈自感量L随间隙d而改变，LC回路失谐，而偏离激励频率，回路的谐振峰向左或向右移动。输出信号频率虽仍为振荡器的工作频率，但幅值随d而改变。它相当于一个被d调制的调幅波，再经过放大、检波、滤波后，即可获得间隙d的动态信息。第六十二页，共一百四十页，2022年，8月28日623.3电阻、电容与电感式传感器零件计数器应用第六十三页，共一百四十页，2022年，8月28日633.3电阻、电容与电感式传感器表面裂纹测量表面粗糙度测量尺寸检查应用第六十四页，共一百四十页，2022年，8月28日643.3电阻、电容与电感式传感器无损探伤应用火车轮检测油管检测第六十五页，共一百四十页，2022年，8月28日653.3电阻、电容与电感式传感器无损探伤应用※原理：有无缺陷的材料其电阻率不同，造成涡流变化，因此影响检测线圈的阻抗变化。第六十六页，共一百四十页，2022年，8月28日663.3电阻、电容与电感式传感器应用测量转数n径向振摆测量第六十七页，共一百四十页，2022年，8月28日673.3电阻、电容与电感式传感器2.互感型—差动变压器式电感传感器三、电感式传感器M—比例系数，即互感（H）其大小与两线圈相对位置及周围介质的导磁能力等因素有关。互感现象图互感现象1把被测量的变化转换成传感器线圈互感系数(M)的变化。互感型传感器(变压器)工作原理：基于互感现象。在一次侧线圈（原边）接入交流电源，二次侧线圈（付边）即产生感应电动势。当被测参数改变铁心与一次侧、二次侧线圈之间的位置时，即改变了两个线圈之间的互感，导致二次侧线圈输出电压产生相应变化。第六十八页，共一百四十页，2022年，8月28日683.3电阻、电容与电感式传感器图输出特性EwEoutxWW1W2e0=e1-e2e2图（螺管形）差动变压器式传感器工作原理e1第六十九页，共一百四十页，2022年，8月28日693.3电阻、电容与电感式传感器案例：张力测量产品——差动变压器位移传感器差动变压器式力传感器第七十页，共一百四十页，2022年，8月28日703.4磁电、压电与热电式传感器变换原理:

把被测物理量转换为感应电动势的装置。线圈的感应电动势e为磁通变化率与磁场强度、磁阻、线圈运动速度有关，改变其中一个因素，都会改变感应电动势。

一、磁电式传感器第七十一页，共一百四十页，2022年，8月28日713.4磁电、压电与热电式传感器分类

磁电式动圈式磁阻式线速度型角速度型N第七十二页，共一百四十页，2022年，8月28日723.4磁电、压电与热电式传感器1.动圈式传感器①线速度型感应电动势其中，N—线圈匝数

B—磁场磁感应强度

l—单匝线圈有效长度

v—线圈与磁场相对运动速度

q—线圈运动方向与磁场方向夹角当q=90时，第七十三页，共一百四十页，2022年，8月28日73

结论：当传感器结构参数（B，l，N）选定，则感应电动势e大小正比于线圈相对磁场运动速度v(惯性式速度计)。将被测到的速度接入微分电路或积分电路后，则可得到运动物体的加速度和位移。因此速度传感器又可用来测量运动物体的加速度和位移。

3.4磁电、压电与热电式传感器当q=90时，知识链接：微分特性：系统对输入导数的响应等于对原输入响应的导数。积分特性：如系统的初始状态均为零，则系统对输入积分的响应等同于对原输入响应的积分。第七十四页，共一百四十页，2022年，8月28日743.4磁电、压电与热电式传感器应用第七十五页，共一百四十页，2022年，8月28日753.4磁电、压电与热电式传感器应用

商用动圈式相对速度传感器。传感器活动部分由顶杆、弹簧和工作线圈连接而成，活动部分通过弹簧连接在壳体上。磁通从永久磁铁的一极出发，通过工作线圈、空气隙、壳体再回到永久磁铁的另一极构成闭合磁路。工作时，将传感器壳体与机件固接，顶杆顶在另一构件上，当此构件运动时，使外壳与活动部分产生相对运动，工作线圈在磁场中运动而产生感应电动势，此电动势反映了两个构件的相对运动速度。第七十六页，共一百四十页，2022年，8月28日763.4磁电、压电与热电式传感器②角速度型其中，w—角速度

A—单匝线圈截面积

k—依赖于结构的系数当传感器结构一定（N、B、A均为常数），感应电动势e与线圈相对磁场角速度成正比。这种传感器用于转速测量。感应电动势1.动圈式传感器第七十七页，共一百四十页，2022年，8月28日773.4磁电、压电与热电式传感器动圈式磁电式传感器等效电路将传感器中线圈产生的感应电动势通过电缆与电压放大器连接，等效电路如图。e是线圈感应电动势；Z0是线圈阻抗（包括电阻和感抗）；RL是负载电阻（放大器输入电阻）；Cc是电缆分布电容；Rc是电缆电阻（很小，可忽略）。则输出电压为第七十八页，共一百四十页，2022年，8月28日783.4磁电、压电与热电式传感器2.磁阻式传感器

原理：磁阻式传感器的线圈与磁铁彼此不作相对运动，由运动着的物体（导磁材料）改变磁路中的磁阻，从而引起磁力线增强或减弱，使线圈产生感应电动势。第七十九页，共一百四十页，2022年，8月28日793.4磁电、压电与热电式传感器※应用——测量转数第八十页，共一百四十页，2022年，8月28日803.4磁电、压电与热电式传感器NS案例：鼠笼电机转子断细条检测第八十一页，共一百四十页，2022年，8月28日813.4磁电、压电与热电式传感器二、压电式传感器1.※压电效应（piezoelectriceffect）

某些物质（如石英，钛酸钡）受到外力作用时，不仅几何尺寸发生变化，而且内部会被极化，某些表面上出现电荷，形成电场。当外力去掉时，又重新回复到不带电的状态。具有压电效应的晶体则称为压电晶体。※逆压电效应：将压电晶体置于电场中，它的几何尺寸也会发生变化，这种由于外电场作用导致物质机械变形的现象就称之为逆压电效应。第八十二页，共一百四十页，2022年，8月28日823.4磁电、压电与热电式传感器二、压电式传感器天然石英晶体为六角形晶柱，两端为一对称棱锥，六棱柱是其基本结构。◎石英晶体a-石英晶体x轴（电轴）：在应力作用下，这两端能产生最强的电荷。z轴（光轴）：当光沿z轴入射时不产生双折射。y轴为机械轴。第八十三页，共一百四十页，2022年，8月28日833.4磁电、压电与热电式传感器二、压电式传感器◎石英晶体从晶体中切下一个平行六面体，并使其晶面分别平行于z-z,y-y,x-x轴线。这个晶片在正常状态下不带电。当施加外力Fx时，晶片极化，并沿x-x方向形成电场，其电荷分布在垂直于x-x轴平面上。（纵向压电效应）当沿z轴对晶片施加外力Fz时，则不论外力大小及方向如何，晶片表面都不会被极化。当沿y方向对晶片施加外力Fy时，则在晶片受力面的侧面产生电荷。（横向压电效应）第八十四页，共一百四十页，2022年，8月28日843.4磁电、压电与热电式传感器二、压电式传感器※实验证明：在极板上积聚的电荷量q与晶片所受作用力F成正比，即

q=DF其中，q为电荷量；D为压电常数，与材质及切片方向有关；F为作用力。第八十五页，共一百四十页，2022年，8月28日853.4磁电、压电与热电式传感器2.压电材料分类：单晶压电晶体，如石英、罗歇尔盐（四水酒石酸钾钠）、硫酸锂、磷酸二氢铵等；多晶压电陶瓷，如极化的铁电陶瓷（钛酸钡）、锆钛酸铅等；某些高分子压电薄膜。第八十六页，共一百四十页，2022年，8月28日863.4磁电、压电与热电式传感器3.压电式传感器及其等效电路

压电晶片+++---压电传感器：在压电晶片两个工作面上蒸镀金属膜，使其作为两个电极。受外力作用时，电荷聚集在两极上。结构：类似电容器。有所不同是晶片表面上的电荷随着时间的推移逐渐漏掉。因为压电晶片材料的绝缘电阻虽然很大，但非无穷大。第八十七页，共一百四十页，2022年，8月28日873.4磁电、压电与热电式传感器3.压电式传感器及其等效电路

从信号变换角度看，压电传感器相当于电荷发生器；从结构上看，它又是一个电容器。因此，通常将压电元件等效为一个电荷源和电容并联的电路。其中，ua为压电晶片受力后呈现的电压，即极板上开路电压；q为压电晶片表面电荷；Ca为压电晶片电容。ua第八十八页，共一百四十页，2022年，8月28日883.4磁电、压电与热电式传感器3.压电式传感器及其等效电路

（1）※利用压电式传感器测量静态或准静态变量时，必须采用极高阻抗的负载。（2）※动态测量时，压电晶片受动态交变力作用，电荷可以得到不断补充，可以供给测量电路一定的电流，漏电量相对较小。压电式传感器适宜作动态测量。如作用在晶片上的外力不变，聚集在极板上的电荷无内部泄漏，外电路负载无穷大，则电荷量将始终保持不变，直到外力消失为止。如负载不是无穷大，电路就会按照指数规律放电，造成测量误差。+++---第八十九页，共一百四十页，2022年，8月28日893.4磁电、压电与热电式传感器※电容量大，输出电荷量大，时间常数大，宜于测量低频、缓变信号,适合于以电荷为输出量的场合。※传感器本身的电容量小，响应快，输出电压大，故这种传感器适用于测量高频、以电压作输出的信号。并联C1C2串联C1C23.压电式传感器及其等效电路

压电晶片连接方式第九十页，共一百四十页，2022年，8月28日903.4磁电、压电与热电式传感器3.压电式传感器及其等效电路

把压电式传感器接入测量电路，连接电缆的寄生电容/分布电容就形成传感器的并联寄生电容Cc，R0为负载的输入阻抗和传感器漏电阻的并联电阻。外力为F=F0sinwt，则C=Ca+Cc+Ci第九十一页，共一百四十页，2022年，8月28日913.4磁电、压电与热电式传感器3.压电式传感器及其等效电路

①通过电压ei的测量所得的被测力的信息受到因子及C中Cc（电缆长度不同，Cc大小也不一样）的影响。②只有在被测信号频率w足够高的情况下，才有可能实现不失真测试，即压电传感器实现不失真测量的条件与被测信号的频率w及回路中的时间常数R0C有关。压电传感器适用于动态信号的测量，但测量信号频率的下限受R0C的影响，上限则受传感器的固有频率的限制。第九十二页，共一百四十页，2022年，8月28日923.4磁电、压电与热电式传感器4.测量电路

由于压电式传感器的输出信号是微弱的电荷，且传感器内阻大，故输出能量甚微，一般都要先把传感器信号先输到放大器后再输送到后续环节。①带电阻反馈的电压放大器放大器的输入电压（即传感器的输出电压）ei为系统的输出电压为结论：系统的输出电压对电缆的分布电容Cc敏感。当电缆长度变化时，Cc就变化，放大器的输入电压ei就变化，系统的电压灵敏度就发生变化。导致测量困难增加。第九十三页，共一百四十页，2022年，8月28日933.4磁电、压电与热电式传感器4.测量电路

②带电容反馈的电荷放大器当略去传感器的漏电阻Ra和电荷放大器的输入电阻Ri影响时，有其中，ey为放大器输出端电压，ey=-Kei；Cf为电荷放大器反馈电容；K为电荷放大器开环放大倍数。当K足够大时，则（1+K）Cf>>Ca+Cc+Ci时，有在一定条件下，电荷放大器的输出电压与传感器的电荷量成正比，而与电缆的分布电容无关，输出灵敏度取决于反馈电容。第九十四页，共一百四十页，2022年，8月28日943.4磁电、压电与热电式传感器压电元件一般由两块压电片组成，在压电片的两表面上镀有银层，并在银层上焊有引出线，或在两压电片间夹一片金属薄片，引出线焊在薄片上，输出端另一根引出线直接与基座相连。在压电片上放一个质量块，一般用比重大的金属钨或合金做成，在保证所需质量前提下应使体积尽量小。为了消除压电元件和质量块间的接触不良而引起的非线性误差及保证传感器在交变力作用下能正常工作，要用硬弹簧对压电元件施加预压负荷。静态预压负荷大小应远大于传感器在振动、冲击测试中可能承受的最大动应力。这样，当传感器向上运动时，质量块产生的惯性力使压电元件上的压应力增加；反之，当传感器向下运动时，压电元件上的压应力减小。传感器的整个组件装在一个厚基座上，并用金属壳封罩。实例—压电式加速度传感器当质量M一定时，压电晶体上产生的电荷q与加速度a成正比。第九十五页，共一百四十页，2022年，8月28日953.4磁电、压电与热电式传感器实例—压电式加速度传感器第九十六页，共一百四十页，2022年，8月28日963.4磁电、压电与热电式传感器热电式传感器是把被测量（主要是温度）转换为电量变化的一种装置。其变换基于金属的热电效应。按照变换方式可分为热电偶与热电阻传感器。三、热电式传感器（1）热电偶及其工作原理※热电效应：把两种不同的导体或半导体连接成闭合回路，如把两个接点分别置于温度为T及T0（假设T>T0）的热源中，则回路中就会产生热电动势。T>T0热电偶传感器：将温度转化为热电动势变化的装置。第九十七页，共一百四十页，2022年，8月28日973.4磁电、压电与热电式传感器三、热电式传感器——热电偶T>T0热电动势=温差电动势+接触电动势温差电动势：同一导体的两端因温度不同而产生的一种热电动势。接触电动势：导体中存在大量的自由电子，材料不同，自由电子的浓度也不同。当两种不同的导体AB接在一起时，在接触处就会发生自由电子扩散。在接触处就形成了电位差。热电偶及其工作原理：第九十八页，共一百四十页，2022年，8月28日98※当保持冷端温度T0不变时，总热电动势仅仅成为温度T的函数，即

总电动势：3.4磁电、压电与热电式传感器三、热电式传感器——热电偶当热电偶材料一定时，热电偶的总热电动势成为温度T和T0的函数差，即其中，EAB(T)为在热端由两种因素综合作用形成的电动势；

EAB(T0)为在冷端由两种因素综合作用形成的电动势。可见，只要保持热电偶冷端温度不变，而将另一端放入被测温度场中，就可以通过测量热电动势来确定温度的值。第九十九页，共一百四十页，2022年，8月28日993.4磁电、压电与热电式传感器※中间导体定律在热电偶回路中插入第三种材料的导线，只要第三种导线（匀质）的两端温度相同，则无论插入导线的温度分布如何，都不会影响热电偶热电动势的大小。三、热电式传感器——热电偶※标准电极定律如果两种导体（A、B）分别与第三种导体C组合成热电偶的热电动势已知，则由这两种导体（A、B）组合成热电偶的热电动势也就已知，即

EAB(T1,T2)=EAC(T1,T2)+ECB(T1,T2)标准电极（铂）利用该定律，可以方便地从几个热电极与标准电极组成热电偶时所产生的热电动势，求出这些热电极彼此任意组合时的热电动势。第一百页，共一百四十页，2022年，8月28日100三、热电式传感器热电偶结构应用：热处理高温炉；摩擦磨损实验台3.4磁电、压电与热电式传感器第一百零一页，共一百四十页，2022年，8月28日3.4磁电、压电与热电式传感器三、热电式传感器——热电偶（2）热电偶材料及其分类a.铂铑—铂热电偶。正极为铂铑合金丝，负极为铂丝。b.镍铬—镍硅热电偶。正极为镍铬合金，负极为镍硅合金。c.镍铬—考/康铜热电偶。正极为镍铬合金，负极为考铜（铜、镍合金冶炼而成）。d.铂铑30—铂铑6热电偶。正极为铂铑合金（其中70％铂，30％铑），负极为铂铑合金（其中94％铂，6％铑）。第一百零二页，共一百四十页，2022年，8月28日1023.5光电传感器一、光电测量原理光电传感器的工作基础是光电效应。光电效应：每个光子具有能量hg。用光照射某一物体时，即为光子与物体的能量交换过程，这一过程中产生的电效应即为光电效应。光电效应按其工作原理又分为外光电效应、内光电效应和光生伏打效应。光电传感器：是将光信号转换成电信号的传感器。其他非电量光信号电信号第一百零三页，共一百四十页，2022年，8月28日1033.5光电传感器1.※外光电效应

在光的照射下，物体内的电子从物体表面逸出的现象。电磁能（光子）→动能（光电子）其中，g——光的频率；

m——电子质量；

v——电子逸出速度；

A——物体的逸出功hg=1/2mv2+A光电效应方程：逸出条件第一百零四页，共一百四十页，2022年，8月28日1043.5光电传感器①光电子逸出表面的必要条件是hg>A，才能产生光电子。因此，对于每一种光电阴极材料，都有一个确定的光频率阈值。当入射光频率低于该值时，无论入射光的强度多大，均不能引起光电子发射。反之，入射光频率高于阈值频率，即使光强很小，也会有光电子发射。红限：对应阈值频率的波长l0，称为某光电器件或光电阴极的红限。②入射光的频率成分不变时，单位时间内发射的光电子数与入射光光强成正比。③对于外光电效应器件来说，只要光照射在阴极上，即使阴极电压为零，也会产生光电流，因为光电子逸出物体表面时具有初始动能。要使光电流为零，必须在阳极上施加一反向截止电压，大小等于光电子逸出的动能。第一百零五页，共一百四十页，2022年，8月28日1053.5光电传感器外光电效应器件/元件（1）光电管金属底层光电阴极光电管光透明阴极光电管阳极阴极第一百零六页，共一百四十页，2022年，8月28日1063.5光电传感器外光电效应器件/元件第一倍增极第三倍增极阳极第二倍增极第四倍增极阴极入射光材料特点：有电子轰击下能反射更多的电子（2）光电倍增管第一百零七页，共一百四十页，2022年，8月28日107一、光电测量原理3.5光电传感器2.※内光电效应

在光的照射下，物体的导电性能（如电阻率）发生改变的现象。又叫光导效应。Reason:

物体内部的原子吸收光能量，获得能量的电子摆脱原子束缚成为物体内部的自由电子，从而使物体的导电性能发生改变。第一百零八页，共一百四十页，2022年，8月28日108内光电效应器件/元件光敏电阻/光导管一、光电测量原理3.5光电传感器2.※内光电效应某些半导体材料（硫化镉、硒化镉）受到光照时会产生电子——空穴对，使其导电性能增强。光线越强，阻值越低。光敏电阻没有极性。主要特征参数：①亮电阻(<KΩ)、暗电阻(MΩ)亮电流—暗电流=光电流光电流大小表征光敏电阻灵敏度大小。一般希望暗电阻大、亮电阻小，这样暗电流小、亮电流大，相应的光电流就大。第一百零九页，共一百四十页，2022年，8月28日109内光电效应器件/元件一、光电测量原理3.5光电传感器2.※内光电效应主要特征参数：②光照特性光敏电阻的光电流与光通量的关系曲线为光敏电阻的光照特性。光敏电阻的光照特性是非线性的，因此不适宜做检测光通量变化的元件。常用作开关式光电传感器。（适宜作定性而非定量）eg.路灯第一百一十页，共一百四十页，2022年，8月28日1103.※光生伏打效应在光的照射下能使物体产生一定方向的电动势的现象。一、光电测量原理3.5光电传感器光生伏打效应器件/元件——光电池它广泛用于把太阳能直接转换成电能，又称太阳能电池。Eg.

太阳能路灯、太阳能电池第一百一十一页，共一百四十页，2022年，8月28日1113.5光电传感器三、※光电传感器的应用a光电式浊度计

光源发出的光线经半反半透镜2分成两束相等的光线。一路光线直接到达光电池5，产生作为被测水样浊度的参比信号。另一路光线穿过被测水样3到达光电池4，其中一部分光线被样品介质吸收，水样越混浊，光线的衰减量越大，到达光电池4的光通量就越小。两路光信号均转换成电压信号，由运算电路6计算出两路电压信号的比值，并进一步算出被测水样的浊度。1—光源;2—半反半透镜;3—被测水样;4、5—光电池;6—运算电路;7—显示器1236547b.光电转速计第一百一十二页，共一百四十页，2022年，8月28日1123.6光纤传感器一、分类

强度调制√频率调制相位调制偏振调制光纤传感器：以光学量为转换基础，以光信号为变换和传输载体，利用光导纤维传输光信号。知识链接以电信号为变换和传输载体，利用导线传输电信号。被测量的变化→光波（强度、频率、相位、偏振）调制：把光波随被测量的变化而变化，称为对光波进行调制。1.按调制方式划分第一百一十三页，共一百四十页，2022年，8月28日113功能型传光型1-光源；2-光敏元件；3-光纤；4-被测对象；5-电输出；6-敏感元件功能型：其光纤不仅起着传输光波的作用，还起着敏感元件的作用，由它对光波进行调制。传光+传感传光型：其光纤仅仅起着传输光波的作用，对光波的调制则需要依靠其他元件来实现。传光一、分类2.按光纤作用划分3.6光纤传感器第一百一十四页，共一百四十页，2022年，8月28日1143.6光纤传感器※光纤传感器的组成环节1.信号的转换2.信号的传输3.信号的接收与处理将被测参数转换成易于传输的光信号利用光导纤维的特性将转换的光信号进行传输将来自光导纤维的信号送入测量电路，由测量电路进行处理并输出第一百一十五页，共一百四十页，2022年，8月28日1153.6光纤传感器二、光纤导光原理图光的折射结论：光波沿光纤的传播是以全反射方式进行n1>n2第一百一十六页，共一百四十页，2022年，8月28日116q23.6光纤传感器二、光纤导光原理光纤结构n1>n2<n3第一百一十七页，共一百四十页，2022年，8月28日1173.6光纤传感器二、光纤导光原理可见，入射角qi减小，C处的入射角q2增大。可证明，若光线自折射率为n0的介质中入射光纤，则当时q2=q2c，入射角为qi=qic，有通常将n0sinqic定义为光纤“数值孔径”，用NA表示。若自n0=1(空气)的介质入射时，qic=sin-1NA，即为端面入射临界角。凡入射角qi<sin-1NA的那部分光线进入光纤后，将在芯子-包层界面处产生全反射而沿芯子向前传播。反之，当qi>sin-1NA时，光线进入芯子后会折射到包层而最终消失。光纤的数值孔径越大，表明在越大的入射角范围内入射的光线均可在光纤的芯子-包层界面实现全反射。作为传感器的光纤，一般采用0.2≤NA<0.4第一百一十八页，共一百四十页，2022年，8月28日1183.6光纤传感器三、光纤传感器的应用1.光纤液位计2.光纤压力传感器3.光纤流速传感器第一百一十九页，共一百四十页，2022年，8月28日1193.6光纤传感器三、光纤传感器的应用4.光纤位移传感器发送光纤和接收光纤端面相对，其间隔为1-2mm。接收光纤收到的光强随两光纤相对位置不同而变化。此种传感器可应用于声压和水压的探测。第一百二十页，共一百四十页，2022年，8月28日1203.6光纤传感器三、光纤传感器的应用5.光纤位移传感器反射式光纤位移传感器。发送光纤射出的光波在被测表面上反射到接收光纤。接收光纤所接收的光强随被测表面与光纤端面之间的距离而变化。在距离较小的范围内，接收光强随距离的增大而较快增加，此时灵敏度高；在距离超过某一定值后，接收光强随距离的增大而减小，此时灵敏度较低。第一百二十一页，共一百四十页，2022年，8月28日1213.6光纤传感器三、光纤传感器的应用6.光纤位移传感器当光纤探头端部紧贴被测表面时，发射光纤中的光不能反射到接收光纤中去，因而无光电流信号；随着被测表面逐渐远离探头，发射光纤照亮被测表面的面积A越来越大，相应的发射光锥和接收光锥重合的面积B1越来越大，故接收光纤端面上被照亮的区域B2也越来越大，输出光电流也随之增加。在一定范围内输出光电流与位移成正比。第一百二十二页，共一百四十页，2022年，8月28日1223.6光纤传感器光纤传感器与电类传感器对比电类传感器光纤传感器电量电量检测电缆电类传感器被测参量光源光量检测光纤光纤传感器被测参量第一百二十三页，共一百四十页，2022年，8月28日1233.7半导体传感器一、磁敏传感器1.霍尔元件：组成材料：砷化铟（InAs）、锑化铟（InSb）、锗（Ge）、砷化镓（GaAs）等高电阻率半导体材料。※霍尔效应：将霍尔元件（霍尔板）置于一磁场中，板厚一般远小于板宽和板长，当在板长度方向（ab方向）通以电流i时，则在板的侧向（宽度方向cd）会产生电位差。称为霍尔电动势VH。霍尔元件利用半导体的磁敏特性，一种半导体磁电转换元件工作原理：基于霍尔效应半导体材料特性：对光、热、力、磁、气体、湿度等物理量敏感。非电量转换成电量的转换元件。第一百二十四页，共一百四十页，2022年，8月28日1243.7半导体传感器※霍尔电动势：其中，kB

—霍尔常数

i—电流强度

B—磁感应强度

a—电流与磁场方向夹角一、磁敏传感器1.霍尔元件将被测参数转换为电压量的变化第一百二十五页，共一百四十页，2022年，8月28日1253.7半导体传感器应用齿轮转速测量齿轮转速测量第一百二十六页，共一百四十页，2022年，8月28日1263.7半导体传感器压力测量第一百二十七页，共一百四十页，2022年，8月28日1273.7半导体传感器钢丝绳断丝检测钢丝绳断丝检测原理作用在霍尔元件上的磁场主要有B1：钢丝绳表面漏磁场，大体与钢丝绳轴线平行，霍尔元件平行于钢丝绳轴线时，a=0，不产生霍尔电动势；B2：钢丝绳断口处漏磁场，其与断口宽度、断口在绳股上位置以及霍尔元件与断口之间径向距离有关。霍尔电动势主要由B2决定。第一百二十八页，共一百四十页，2022年，8月28日1283.7半导体传感器采用高灵敏度的单晶锑化铟（InSb）半导体磁敏电阻等器件作为检测传感器，对纸币或支票等含有磁性油墨印刷的文字或符号产生的磁场形状进行识别。纸币识别设备自动售货机第一百二十九页，共一百四十页，2022年，8月28日3.7半导体传感器三、气敏传感器材质：氧化锡、氧化锰等。工作原理：当气敏元件表面吸附被测气体时，其电导率发生变化。当半导体气敏元件表面吸附气体分子时，由于二者相互接受电子的能力不同，而产生了正离子或负离子吸附，引起表面能带产生弯曲，从而导致电导率变化。第一百三十页，共一百四十页，2022年，8月28日1303.7半导体传感器应用a.酒精浓度传感器b.家庭煤气泄漏报警器c.自动换气扇第一百三十一页，共一百四十页，2022年，8月28日131四、湿敏传感器3.7半导体传感器湿度：空气或其他气体中的水分含量。湿度传感器：能感受外界湿度变化，并通过湿敏半导体材料的物理或化学性质变化将湿度转换为可用信号的装置。湿度术语绝对湿度：在一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含有水蒸气的质量。相对湿度：气体的绝对湿度与同一湿度下达到饱和状态的绝对湿度之比，用％RH表示。无量纲。第一百三十二页，共一百四十页，2022年，8月28日1323.10传感器的选用原则一、灵敏度二、响应特性三、线性范围※传感器的选用原则一般来讲，灵敏度越高越好。灵敏度越高，其所能感知的变化量