P5000工作原理精品课件

Theoryintroduction2021/8/231最新PPTP5000Minframeoverview主机2021/8/232最新PPTPoweron2021/8/233最新PPTRemoteACbox2021/8/234最新PPTACbox2021/8/235最新PPTDCpower1.48v10AChopperdriver,motobreak2.+/-15v3AMatch,manometer,remotesupportequipment,tool3.24v31ADI/O,2021/8/236最新PPT2021/8/237最新PPTTCMFC2021/8/238最新PPT2021/8/239最新PPT2021/8/2310最新PPTExpand12gasesto28gases.附机2021/8/2311最新PPTHeatexchanger

2021/8/2312最新PPT1.AMAT-0standard工作温度：20℃-80℃冷却液：50%ethyleneglycol50%DIwater流量：2gpm容量：2gallon2.AMAT-1hightemperature工作温度：20℃-120℃冷却液：100%ethyleneglycol流量：1.25gpm容量：2gallon3.Neslab工作温度：5℃-35℃冷却液：50%ethyleneglycol50%DIwater容量：5gallon常见热交换器2021/8/2313最新PPTAMATHeatExchanger2021/8/2314最新PPTAMATstandard2021/8/2315最新PPTAMAT-1hightemperature2021/8/2316最新PPT

Neslab2021/8/2317最新PPT2021/8/2318最新PPTWafertransfersubsystem2021/8/2319最新PPTRobot方向2021/8/2320最新PPT2021/8/2321最新PPTP5000robotassemblely2021/8/2322最新PPTrobotblade2021/8/2323最新PPT手臂取片位置①手臂在cassette中slotbase位置②手臂在cassette中slotdelta位置①手臂在elevator中slotbase位置②手臂在elevator中slotpickup位置（往腔体传片）③手臂在elevator中slotpassthrough位置（往cassette传片）2021/8/2324最新PPTHandlermanualcontrol2021/8/2325最新PPTTRANSFERSTEPPERMOTORSCONTROL2021/8/2326最新PPTETCHchamberP5000ETCHchambertype:MarkIIMxpMxp+eMxp+ASP2021/8/2327最新PPTETCHchambercomponents2021/8/2328最新PPTMarkIIchamberbody2021/8/2329最新PPTMxpchamberbody2021/8/2330最新PPTETCHMxPchamber2021/8/2331最新PPT2021/8/2332最新PPTMxp+chamber2021/8/2333最新PPTMxp+chamberparts2021/8/2334最新PPTMonitorETCHchamber2021/8/2335最新PPTETCHMxPchamber2021/8/2336最新PPTVACUUMSUBSYSTEM2021/8/2337最新PPT2021/8/2338最新PPT2021/8/2339最新PPTVacuumGaugesIonGaugeCapacitanceManometerConvectronTCGauge2021/8/2340最新PPT是一种绝对真空计，它利用薄膜受气压变化产生挠曲，检测膜片电容值改变来测量真空，它是一种高精度真空计误差〈０.５％，测量范围：760托-10-5托（所有干法设备均采用MKS127/122系列）CapacitanceManometer2021/8/2341最新PPT2021/8/2342最新PPTCapacitanceManometer2021/8/2343最新PPT利用熱散失的原理量測溫度，當壓力越高則加熱絲溫度低，反之亦然熱電偶偵測出溫度的變化於是產生電壓，藉由電壓變化的判讀得知壓力適用壓力範圍為 10-3~1torrThermocoupleGauge2021/8/2344最新PPTThermocoupleGauge2021/8/2345最新PPT电离真空计（离子规IONGAUGE）具有一定动能的带电质点通过稀薄气体时可以产生电离现象。由阴极发射出来的电子在加速电场的作用下具有较大的动能，电子在飞行过程中与残余气体分子相撞，使气体分子电离。电离产生的正电子数与气体密度成正比即与气体的压强成正比。因此可以通过测量离子流的大小来间接测量真空度。测量范围：10-2-10-12托。IONGAUGE2021/8/2346最新PPTGaugeConvectron

利用熱散失的原理量測溫度，當壓力越高則加熱絲溫度低，反之亦然為間接量測之壓力計，所量測的氣體種類需要輔以校正參數適用的壓力範圍為10-4~1000torr當量測壓力高於1torr時，擺放方位必須為水平位置，方能得到準確的壓力量測值2021/8/2347最新PPTGaspanalGasdeliverysubsystem2021/8/2348最新PPTSENSORBYPASSCONTRLVALVEELECTRONICS(PCB)GASFLOWMassflowcontrol2021/8/2349最新PPTMFCfunction

用途：制程用气体的流量控制与测量。组成：

1.Amassflowmeter(MFM)

2.Acontrolandsolenoidvalve(控制或螺线形电导管阀门）

3.Electronics(produceandsendsignals)2021/8/2350最新PPTMFC的使用条件：工作电压:+/-15V前后压力差：10--40PSIresponesetime:<=1sec（typical=500ms)接口：1/4“VCR使用范围：10%--90%控制接口：20-pincardedgeconnector(金手指）15-pinDconnector9-pinDconnector2021/8/2351最新PPTPlasma&RFsubsystem腔体充满气体和适当的压力之下刚开始只有少数的游离电子提供电场,离子化与碰撞开始发生提供电场之后,电子会被加速,同时与中性粒子发生碰撞,產生离子化等离子体中的碰撞适当压力与能量下,产生星火燎原的连锁反应产生一团发光发热的云状物质2021/8/2352最新PPT提供电场,离子化与碰撞开始发生Plasma2021/8/2353最新PPT腔体充满气体和适当的压力之下Plasma2021/8/2354最新PPTRFMatchoftheMxPChamber2021/8/2355最新PPT腐蚀P5000设备的射频源在设计上都以50欧姆为额定输出电阻，但腔体在腐蚀过程中其电阻是不断变化的，因此需要在RFG与腔体之间加一匹配器，用以使RFG的负载电阻稳定在50欧姆。RF匹配原理2021/8/2356最新PPTChamberpressurecontrol腔体压力控制：（THROTTLEVALVE）通过改变泵的抽气管径来改变泵的抽力，以达到设定的腔体压力。2021/8/2357最新PPTThrottlevalve2021/8/2358最新PPTDerivative目的為避免壓力過高(Overshoot)或過低(Undershoot)的突衝現象過度使用ratefunction會減緩系統的壓力反應時間，而使得系統壓力不穩定PressurePIDcontrol2021/8/2359最新PPTPressureControlScreen2021/8/2360最新PPTWaferCooling

IonbombardmentgeneratelargeamountheatHightemperaturecancausePRreticulationNeedcoolwafertocontroltemperatureHeliumbacksidecoolingiscommonlyusedHeliumtransferheatfromwafertowatercooledchuck2021/8/2361最新PPT

ETCHchamberHE2021/8/2362最新PPT结束

谢谢！2021/8/2363最新PPT9、人的价值，在招收诱惑的一瞬间被决定。03-2月-2303-2月-23Friday,February3,202310、低头要有勇气，抬头要有低气。***2/3/20234:38:34PM11、人总是珍惜为得到。03-2月-23**Feb-2303-Feb-2312、人乱于心，不宽余请。***Friday,February3,202313、生气是拿别人做错的事来惩罚自己。03-2月-2303-2月-23**03February202314、抱最大的希望，作最大的努力。03二月2023**03-2月-2315、一个人炫耀什么，说明他内心缺少什么。。二月23*03-2月-23*03February202316、业余生活要有意义，不要越轨。**2/3/202317、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。***03-2月-23谢谢大家2021/8/2364最新PPT9、人的价值，在招收诱惑的一瞬间被决定。03-2月-2303-2月-23Friday,February3,202310、低头要有勇气，抬头要有低气。***2/3/20234:38:34PM11、人总是珍惜为得到。03-2月-23**Feb-2303-Feb-2312、人乱于心，不宽余请。***Friday,February3,202313、生气是拿别人做错的事来惩罚自己。03-2月-2303-2月-23**03February202314、抱