高真空的和检漏改_第1页
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文档简介

高真空的获得和检 007系07 12、用静态升压法和氦质谱法检漏,并对比两种方法的特点1n,p,故产生的正离子数N+正比于压强p.规管的结构如图2.6.3-l所示,它主要由发射电子的热阴极2.6.3-2F接零电位,为UK为热阴极加热电压;加速极GUG(几百伏);离子收集极接负电位UC(几十伏),其FUGG加,大部分电子通过加速极GC,2.6.3-3向G、C空间时,电子又在拒斥场作用下,直到速度为零又返向G极,向GCGC极Ce形成的正离子流I+正比于发射电子电流I和气体的压强p,即eeI+=KIe其中比例常数K1/Pa,KIe等于常数.对于不同气体,K或氮气而言.普通型热阴极电离规的测量范围为1.33X10-1~1.33X10-5Pa,超出此范围,离子流与压强便不再是线性关系而不能进量.2p-t2.6.3-42.6.3-4l)直线a平行于t轴,说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无2)曲线b开始上升较快而后渐渐变成平行于t轴的直线.这说明系统只有3)cp漏Q=V漏式中V4)曲线d开始上升较快,而后渐渐减慢,最后变成直线.这说明系统既有放气也有漏气.曲线dbc实验仪器:FZH-2B型复合真空计,DM-30012阀(235开始。50.13pa65min7108、抽至极限真空度后,关高阀,测P-t910、待扩散泵冷却至室温(40分钟1205p/102p/102p/102放气曲线B放气曲线BLinearFitofyy=a+NoResidualSumofAdj.R-StandardB0002009-4-19value0.25641standarderrorvaluestandarderror4.13347E-1答:测量完放气曲线后,压强已经增加到了4.5101Pa,近电离计的工作极限容器内部已经出于压强较高的水平(10-1pa)接近电离计的工作范围的上限,若不立即关闭电离计,因为压强较高,气体浓度较大,极容易电离形成浓度比较大的电流,从而会损坏电子仪表。因而测量完毕后,应立即关闭电离计.2答

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