标准解读

《GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼》相比于《GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼》，主要在以下几个方面进行了更新与调整：

  1. 范围和规范性引用文件：2010版标准更新了规范性引用文件，纳入了最新发布的相关国家标准和行业标准，确保技术要求与测试方法的现代性和准确性。

  2. 术语和定义：对三氯化硼的定义及相关的专业术语进行了修订或补充，以更准确地反映产品特性和行业共识。

  3. 技术要求：新标准对三氯化硼的纯度、杂质含量限值进行了重新规定，可能包括但不限于提高了主要纯度指标，增加了对特定杂质的检测要求，以满足电子工业发展的更高需求。

  4. 试验方法：详细修订了样品的取样、预处理及分析测试方法，引入了更先进的检测技术和分析仪器，提升了检测的精确度和效率。

  5. 检验规则：对产品的检验分类、抽样方案、合格判定规则等进行了优化，以更好地保证产品质量的稳定性和一致性。

  6. 标志、标签、包装、运输和储存：这部分内容也有所更新，明确了更详细的标识要求、包装材料和方式，以及在运输和储存过程中的安全注意事项，以符合当前的安全环保标准。

  7. 实施日期与替代情况：明确指出2010版标准的实施日期，并声明其替代1999版标准，为标准使用者提供了明确的过渡指导。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 17874-2021
  • 2011-01-14 颁布
  • 2011-05-01 实施
©正版授权
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ICS71.100.20G86中华人民共和国国家标准GB/T17874-2010代替GB/T17874-1999电子工业用气体三氯化硼Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride2011-01-14发布2011-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化餐理委员会

GB/T17874-2010前本标准代替GB/T17874—1999《电子工业用气体三氯化硼》本标准与GB/T17874—1999相比主要变化如下：修改范围(GB/T17874—1999的1.本版的1)；-修改规范性引用文件(GB/T17874—1999的2,本版的2):修改技术指标内容（GB/T17874—1999的3.本版的3)：增增加三氯化硼采样安全要求(本版的4.1.2)；增加三氯化硼尾气处理措施(本版的4.3)：修改氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷组分的分析方法(GB/T17874—1999的4.2、4.3.本版的4.4、4.5）：修改标志、包装、贴运及安全(GB/T17874—1999的5,本版的5)。本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1)归口本标准起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。本标准主要起草人：孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T17874-1999元

GB/T17874-2010电子工业用气体三氯化硼1范围本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、财运及安全本标准适用于以粗制三氯化硼为原料.采用吸附、精雷等方法提纯制得的三氯化硼.主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。分子式：BCl。相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件.其随后所有的修改单(不包括勒误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB5099钢质无缝气瓶GB7144气瓶颜色标志GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB14193液化气体气瓶充装规定GB/T26571特种气体储存期规范《气瓶安全监察规程》国家质量监督检验检疫总局发布.2000年）3技术要求三氯化硼的技术要求应符合表1的规定表1技术指标三氯化硼（BCL）纯度（体积分数）/10—99.9995氧十氩(O.+Ar)含量(体积分数)/10-氮(N.)含量(体积分数)/10--氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-0.5二氧化碳(CO.）含量

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