标准解读

GB/T 17874-1999 是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 三氯化硼》。该标准主要规定了电子工业中使用的三氯化硼气体的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保三氯化硼气体的质量满足电子工业生产的需求，保障生产和使用过程的安全性与有效性。

技术要求

标准详细列出了三氯化硼气体应达到的各项纯度指标，包括但不限于三氯化硼的含量、水分含量、酸度或碱度、可燃性杂质、非挥发性残留物等关键参数的具体限量值。这些指标对于保证气体在半导体制造、化学气相沉积（CVD）等精密工艺中的性能至关重要。

试验方法

为验证气体是否符合规定的质量标准，标准中详细描述了各种检测项目的具体测试方法。这包括如何准确测量三氯化硼的浓度、水分含量的测定、杂质分析等，确保检测结果的可靠性和重复性。

检验规则

标准明确了产品出厂前的检验程序，包括例行检验和型式检验的要求。它规定了抽样方法、批量判定规则及不合格品的处理办法，确保每批出厂的产品均经过严格的质量控制。

包装、标志、运输和储存

为了保持气体品质并在整个供应链中安全地搬运，标准对三氯化硼气体的包装材料、容器标识、安全警示信息、运输条件及储存环境提出了具体要求。例如，要求采用耐压、防泄漏的容器，并明确标注气体成分、纯度、生产日期、有效期及安全注意事项，同时要遵循相关的危险品运输规定，确保在储存和运输过程中气体的稳定性和安全性。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 17874-2010
  • 1999-09-16 颁布
  • 2000-06-01 实施
©正版授权
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文档简介

IcS71.100.20G86中华人民共和国国家标准GB/T17874-1999电子工业用气体三氯化硼Gasesforelectronicindustry--Borontrichloride1999-09-16发布2000-06-01实施国家质量技术监督局发布

GB/T17874-1999前本标准是根据我国三氯化硼的生产水平和实际使用情况而制定的.主要技术内容包括适用范围、技术要求、检验方法、检验规则、安全要求以及产品包装、标志、储存、运输等。本标准的附录A是提示的附录。本标准于1999年9月16日首次发布。本标准由国家石油和化学工业局提出本标准由西南化工研究设计院归口。本标准起草单位：光明化工研究设计院本标准参加起草单位：西南化工研究设计院、北京有色金属研究总院本标准主要起草人：张琳、赵敏、蔡体杰本标准参加起草人：朱心才、蒋文全、余中玉。

中华人民共和国国家标准电子工业用气体GB/T17874--1999北明Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride分子式：BCls相对分子质量：117.169(按1997年国际相对原子质量)101.3kPa下的沸点：12.4C1范围本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、财存和安全要水。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、蒸留的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。2引用标准下列标准所包含的条文·通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时.所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性、GB190—1990危险货物包装标志GB5099-1994钢质无缝气瓶GB/T5274—1985气体分析校校准用混合气体的制备称量法GB7144-1986气瓶颜色标记GB/T7445—1995纯氢、高纯氢和超纯氢GB/T8980-1998高纯氮GB11640—1989铝合金无缝气瓶3要求三氯化硼的技术指标应符合表1的要求，其中金属和颗粒的要求及其检验方法由供方和用户商定表1技术指标三氯化硼纯度·10-：（V/）99.999氧和氩（以氧计）含量.10-°（V/V）氮含量.10-（V心）WVVV·氧化碳含量.10-。（V/0.2二氧化碳含量,1

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