标准解读
《GB/T 15713-1995 锗单晶片》是中国的一项国家标准,发布于1995年,旨在规定锗单晶片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存要求。此标准适用于半导体器件制造中使用的锗单晶片。以下是该标准的主要内容概览:
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范围:明确了标准适用的锗单晶片类型,主要用于半导体工业中的各种器件制造,规定了其基本参数和质量要求。
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引用标准:列出了实施本标准时所依据或参考的其他相关国家标准和行业标准,确保各项测试和评估有据可依。
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定义:对锗单晶片相关的专业术语进行了界定,如晶向、晶片直径、厚度、平整度等,为后续技术要求的阐述提供清晰的概念基础。
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技术要求:
- 材料:规定了锗单晶应满足的纯度等级,以及可能存在的杂质元素的最大允许含量。
- 几何尺寸:详细说明了晶片的直径、厚度及其公差范围,确保晶片的尺寸一致性。
- 表面质量:包括表面平整度、洁净度、缺陷(如划痕、凹坑)的要求,以保证晶片表面适合后续的微细加工。
- 电学性能:规定了电阻率、载流子浓度等电学参数的范围,这些对于半导体器件的功能至关重要。
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试验方法:介绍了如何通过物理和化学手段检测锗单晶片的各项指标,包括但不限于尺寸测量、表面检查、电学性能测试等,确保测试结果的准确性和可重复性。
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检验规则:明确了晶片的抽样方案、合格判定准则及不合格品的处理方式,确保产品质量控制的严格性。
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标志、包装、运输和储存:
- 标志:要求在产品或包装上明确标注产品信息,如标准号、制造商、批号、规格等。
- 包装:规定了保护晶片免受物理损伤和化学污染的包装要求。
- 运输:提出在运输过程中避免极端温度、剧烈震动的措施,以保护晶片的完整性。
- 储存:描述了适宜的储存环境条件,如温度、湿度,以防晶片性能劣化。
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文档简介
ICS29.040.20H81中华人民共和国国家标准GB/T15713—1995错单晶片Monocrystallinegermaniumslices1995-10-17发布1996-03-01实施国家技术监督局发布
中华人民共和国国家标准GB/T15713-1995错单晶Monocrystallinegermaniumslices1主题内客与适用范图本标准规定了错单晶切割片、研磨片和腐蚀片(简称错片)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和心存。本标准适用于各种牌号的错单晶经切割、双面研磨、分割、腐蚀制备的圆形、方形和长方形错片。产品用于制作品体管和红外器件。2引用标准GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB/T5238错单晶3产品分类3.1分类错片按导电类型分为n型和P型,按生产方法分为切割片、研磨片和腐蚀片三种3.2牌号3.2.1错片的牌号表示为:口8口PL心其中:-表示错单晶的生产方法。Cz表示直拉法,HB表示水平法。2--Ge表示错单晶。表示错片的品种,分别用相应英文单词的第一个字母组合的大写形式表示,当英文取两个字母时,第二个字母应小写,其中:CW表示切割片;BLW表示双面研磨片;c.EtW表示腐蚀片。-用或p表示导电类型,括号内的元素符号表示掺杂剂。国家
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