标准解读

GB/T 14602-1993 是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 氯化氢》。该标准规定了电子工业中使用的氯化氢气体的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保氯化氢气体的质量满足电子工业生产中的特定需求。

标准内容概览：

  1. 范围：明确了本标准适用于电子工业生产中作为原料或工艺气体使用的氯化氢气体。

  2. 规范性引用文件：列出了实施本标准时所直接引用或参考的其他标准文件，这些文件对于理解和执行本标准的具体要求至关重要。

  3. 术语和定义：对标准中涉及的专业术语进行了解释，帮助读者准确理解各项要求。

  4. 技术要求：

    • 纯度：规定了氯化氢气体的最低纯度要求，以确保其在电子元件制造过程中的高纯度应用。
    • 杂质含量：详细列出了可能存在的杂质元素及其最大允许含量，如水、氧、氮、砷、磷等，以防止这些杂质影响半导体材料的性能和成品率。
    • 物理状态：包括气体的压力、温度条件下的物理状态要求，确保气体的稳定性和安全性。

  5. 试验方法：详细描述了如何通过化学分析、气相色谱等方法检测氯化氢气体的纯度及杂质含量，确保测试结果的准确性和可重复性。

  6. 检验规则：规定了产品出厂前的检验项目、抽样方法、判定规则等，确保每批次产品的质量符合标准要求。

  7. 包装、标志、运输和储存：

    • 包装：要求使用耐腐蚀材料的容器进行密封包装，以防止气体泄漏和外界污染。
    • 标志：需明确标注产品名称、规格、批号、生产日期、有效期、生产厂家等信息，便于追溯和安全使用。
    • 运输：提供了运输过程中应遵循的安全措施，以防泄漏和事故。
    • 储存：指明了储存条件，如温度、压力限制及避光、干燥等环境要求，以保持气体品质。

实施意义：

该标准的制定与执行，对提升我国电子工业用氯化氢气体的质量控制水平、保障电子元器件的高性能生产、促进电子行业技术进步具有重要意义。它为生产商、用户及检测机构提供了一套统一的标准依据，有利于维护市场秩序和产品质量安全。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 14602-2014
  • 1993-08-26 颁布
  • 1994-07-01 实施
©正版授权
GB/T 14602-1993电子工业用气体氯化氢_第1页
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文档简介

UDC661G86中华人民共和国国家标准GB/T14602-—93电子工业用气体氯化氢Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride1993-08-26发布1994-07-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准GB/r14602-93电子工业用气体氯化氢Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride主题内客与适用范围本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、财存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属治炼、光导通讯和科学研究等领域。分子式：HCI相对分子质量：36.461(按1989年国际相对原子质量）2引用标准GB190危险货物包装标志GB4845氮气检验方法GB7144气瓶颜色标记GB7445氢气气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定GB8984气相色谱法3技术要求氯化氢的质量应符合下表的技术要求。氯化氢纯度，10-99.9944二氧化碳含量,10-复含量,10-氧+氩含量,10-经类含量,10-水合量,10-·S复含量，10-10：本指标系瓶装产品的气体质量指标，保证期6个月。表中纯度和含量系体积分数.4检验方法4.1氯化氢纯度

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