无尘室测试简介

无尘室测试简介无尘室测试简介无尘室测试简介-让每个人相同地提高自我無塵室測試簡介在測試無塵室从前，假如能對測試規範、無塵室基本见解、無塵室的術語等有些认识，對測試當有幫助。這裡是一些背景資料，供给給讀者參考。一、無塵室測試規範有關無塵室定義、建筑、控制、管理等等的國際標準，在網路上用〝contaminationcontrol〞搜尋，能够找到好多相關資料。無塵室的定義，最早是在美國聯邦標準209上出現，之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。在歐洲與日本，隨著工業的日趋發展，各國的版本也逐漸出現。到了90年月後期，產業界體認到假如無共同標準，就不可以够實現經濟的全世界化，於是有ISO-14644的產生。以下說明無塵室的各種標準與規範。FederalStandard209E(Fed-Std-209E)：美國聯邦標準209E，209的第一版發行，是在1960年月，之後不斷改版以因應科技進步與工業發展，版本從原始的209、209A，向抵达1992年的最後一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣佈廢止209E，改用ISO-14644，於是209E在書面上走入歷史。但是在產業界，除了部份的歐洲企业以外，美國、日本、台灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計數器的製造商，雖然都推出滿足公制計數法的新機型，但是要等舊機器圆满裁汰，惟恐還要很長時間，所以新規範ISO-14644還沒能代替209E。2.ISO-14644系列；美國政府為了推動經濟全世界化，就很大方的放棄了自己的209E，改而实行所有使用公制的國際標準ISO-14644。14644系列有8個子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，向抵达14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建筑、操作、以及其余的有關設備等，範圍很廣。有些主題已經定案，如Part1和Part2，有些只有稿本〈Draft〉，有些連稿本都還沒有，讀者能够到ISO或IEST的網站上訂購。JISB9920(1989)：日本的潔淨標準，規定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式，及潔淨度的等級定義。VDI2083(1993)：德國的潔淨標準，規定潔淨度等級的定義方式，以及潔淨度的量測技術。Gost-R50766(1995)：俄國的潔淨標準，定義無塵室的分類與一般需求。1-让每个人相同地提高自我以上是無塵室等級規定，與潔淨胸怀測的相關標準。其余有關無塵室污染控制〈也就是潔淨度控制〉，和環境控制〈如溫溼度、震動噪音等〉，也有一些重要的測試規範，因為這些環境影響要素，都包含在無塵室性能測試的範圍之內。：這本出名的測試規範，目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測，006包含了風速風量、濾網洩漏、潔淨度、溫溼度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006的第一版稱為006-84-T，是第二版。現在由於NEBB的興起，0062已經功遂身退，逐漸消逝了。NEBB無塵室測試規範第二版：這是当前最廣為流行的測試規範，提到無塵室認證，就非NEBB莫屬。NEBB無塵室測試規範，可說是IEST-0062的改进版，其測試涵蓋範圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規定。所以NEBB無塵室測試規範的出現，解決了好多測試的爭議，也所以NEBB無塵室測試規範成功的成為產業標準。有關NEBB，請參照本站。3.ISO-14698系列：14698有Part1、Part2、Part3三個子題，是有關無塵室裡面生物污染的控制，当前都只有稿本。每一種行業，甚至每一家企业或工廠，對無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測試規範，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴格來講，這些規範也但是一個參考。各企业在訂定測試規格時，應依据自己的製程需求，在上述規範裡拿出自己適用的部份，並要求供應商與測試單位照辦，必需時能够酌情改正測試標準，才能真实滿足自己的需求。二、無塵室常用名詞無塵室定義：無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建筑的特别封閉性建築。一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境要素做控制。微粒控制：無塵室微粒控制的第一步，是把室內微粒對製程影響的程度做圆满分析，然後針對分析結果，訂定恰當的微粒控制方式與無塵室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時，必須特別注意數據的量化，也就是粒徑與其數量對製程的影響，才是合用的數據。外來污染源：從無塵室外進入系統的污染源，外來污染源主假如由空調通風系統所導入，其余門、窗、牆壁裂縫等也是外來污染源的成因。2-让每个人相同地提高自我內部污染源：無塵室內部產生污染的來源，一般是製程機器與操作員工，最嚴重的內部污染源一般是操作員工。隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無塵區域以外。這種觀念多應用在高潔淨度的無塵環境，比方Class100，Class10，Class1等高濾網覆蓋率的無塵室，或是使用迷你潔淨室將機台整個包住。稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應用在潔淨度不高的無塵室。比方在Class10000的無塵室，因為換氣量不大，製程與人員產生的粒子就會在室內打轉，要比較常的時間才會排出。所以新的乾淨空氣只好稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔淨度控制在某一等級之下就能够了，部要求把人員與製程隔開。使用稀釋法作為粒控制時，要特別注意本節第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產生速率，才能有效的稀釋微粒。氣流模式：指的是流場型態，氣流分佈，氣流的流向等性質。由於微粒的移除圆满掌握在氣流的模式，所以愈潔淨的無塵室或是無塵區域，對氣流模式的掌控就愈重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔淨度。單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，从前稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵室，潔淨度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節省成本。As-builtcleanroom（剛竣工的無塵室）：已經达成且能够操作，所有相關增援設施皆已达成的潔淨室，但並沒有設備及操作設備的人員。At-restcleanroom（準備中的無塵室）：已經达成且能够操作，所有相關增援設施皆已動作的無塵室，設備已載入並能够操作或已在運轉，1如所指定，但沒有操作設備的人員。Operationalcleanroom（操作中的無塵室設施）：一個已在正常運轉的無塵室，所有相關增援設施皆已動作，設備及人員皆已載入，運轉狀況能够呈現和達到其正常的功能。三、無塵室等級定義無塵室的等級3-让每个人相同地提高自我使用者在開無塵室的等級給供應商時，有以下幾個小技巧。第一是等級定義的模式以下：4ClassLimits-让每个人相同地提高自我μmμmμmμm5μmClassNameVolumeVolumeVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsUnitsUnitsSIU.S.(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M1350--M11,240265106--M23,500757309100--M1012,4003502,6501,060353--M335,0009917,5702143,0901,000--M100--26,50075010,6003003,530100--M4--75,700214030,90087510,000283--M1,000------35,3001,000247M5------100,0002,830618M10,000------353,00010,0002,470M6------1,000,00028,3006,180175M100,000------3,530,000100,00024,700700M7------10,000,000283,00061,8001,750ClassX(atYμm)此中X是無塵室的等級，比方100或10000等等，Y是粒徑如μm,μm等，可複選。意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣能够減少紛爭，以下是幾個例子：5-让每个人相同地提高自我Class1μm,μm,μm)Class100μm,μm)Class100μm,μm,μm)在Classes100andGreater(Class100，1000，10000....)，一般看一個粒徑即可。在ClassesLessthan100(Class10，1....)，一般要看多幾個粒徑。第二個技巧是規定無塵室的狀態，比方：ClassX(atYμm)，At-rest供應商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵室都很乾淨，微粒控制能力測試不易，這時能够乾脆把驗收上限壓低，比方：Class10000μm<=10000)，As-builtClass10000μm<=1000)，As-built這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時，依旧有足夠的微粒控制能力。以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義，和ISO-14644的等級定義。Fed-Std-209E潔淨度定義ISO-14644潔淨度定義ISOclassificationnumber(N)

3Maximumconcentrationlimits(particles/mofair)forparticlesequaltoandlargerthantheconsideredsizesshownbelow(concentrationlimitsarecalculatedinaccordancewithequation(1).0.1m0.20.3m0.5m1m5m6-让每个人相同地提高自我mISOClass1102ISOClass210024104ISOClass31000237102358ISOClass4100002370102035283ISOClass51000002370010200352083229ISOClass61000237102352008320293000000000ISOClass7352000832002930ISOClass8352000083200029300ISOClass9352008320000293000000NOTEUncertaintiesrelatedtothemeasurementprocessrequiresthatconcentrationdatawithnomorethenthreesignificantfiguresbeusedindeterminingtheclassificationlevel.NEquation(1):Cn=10XD)此中Cn是微粒濃度，N是潔淨度，D是粒徑比較以上兩表我們可看出209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，蓦地造成混杂2.在兩表中0.5m幾乎出現在每一個等級定義中，表示粒徑0.5m的粒子特别具有代表性3.在潔淨度的分類上，不论是在高潔淨度，或是低潔淨度，ISO-14644的範圍比209E都來的廣，所以拥有未來性四、無塵室測試範圍7-让每个人相同地提高自我凡是和無塵室環境控制有關的要素，都在無塵室認證的範圍之內。在無塵室竣工从前，業主、施工單位、與測試單位?應就以下幾個主題做詳細討論並達成協議，以利測試進行。待測無塵室涵蓋範圍、等級、面積、濾網地点、與數量測試的目的測試程序使用儀器測試報告撰寫方式與內容工期7.在測試前，將以上項目定義清楚，能够使測試順利進行，發現問題時也能够儘快除去，對業主和施工單位都有益。IEST-0062有一個表說明測試項目，以及適用狀態，拥有相當參考價值表列以下。Table1章節測試項目單一流向型非單一流向型混杂型風量與均勻度1,2,31,2,31,2,3風速與均勻度1,2,3OPTOPT濾網洩漏1,21,21,2潔淨度1,2,31,2,31,2,3壓力1,21,2,31,2,3平行度1,2N/AOPT(1,2only)空間洩漏1,21,21,2恢復率N/A1,21,2粒子沉降測試1,2,31,2,31,2,3照度1,OPT(2,3)1,OPT(2,3)1,OPT(2,3)噪音1,2,31,2,31,2,3溫溼度1,2,21,2,31,2,3OPTOPTOPT振動OPTOPTOPT測試的順序沒有硬性規定，但是仍舊存在某些比較理想的順序8-让每个人相同地提高自我測試適用於As-built狀態測試適用於At-rest狀態測試適用於Operational狀態N/A:代表該測試在該狀態下〝不適用〞OPT:代表該測試在該狀態下為〝選擇性測試〞，能够視製程需求而定由上表可看出，風量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態，因為不易受干擾。風速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因為简单受干擾。當然這是IEST的建議，我們能够自行決定。至於測試的項目選擇，NEBB建議：依重要性分红三級，說明以下。第一級〈LevelI〉:第一級測試是所謂的主要測試，與潔淨度直接有關的測試都屬第一級，每個無塵室都應最少應做的測試。第一級測試項目包含：風速量測風量量測前兩項的均勻度分析濾網洩漏測試潔淨度測試壓力量測第二級〈LevelII〉:第二級測試，雖然也是與潔淨度與氣流有關，但是只有在特别情況下才需要進行。氣流平行胸怀測〈只適用層流型無塵室〉空間洩漏測試〈