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文档简介

材料显微结构分析方法VII.

扫描电子显微镜ScanningElectronMicroscopy

（SEM）

特点：①分辨率比较高，二次电子象50～60Å

②放大倍数连续可调，几十倍到二十万倍

③景深大，立体感强④试样制备简单

⑤一机多用VII.

扫描电子显微镜*电子束参数：束流i

：10－12～10－6A

束斑直径d：50Å～1m发散度:(立体角)电子束亮度：亮度方程：**扫描系统：X-Y

**扫描方式①线扫描，X扫描，Y调制CS制备陶瓷涂层与基体的界面形貌及元素分布陶瓷涂层金属**扫描系统：X-Y

**扫描方式①线扫描，X扫描，Y调制②面扫描：

用CRT上相应点的亮度显示试样上对应点的显微结构信号.

PMN陶瓷中的Mg分布*放大倍数：L：l：M由调节线圏的偏转控制S大小实现，不必改变透镜的聚焦的激磁电流。通常即在某一M下，CRT可分辨的最小尺寸，图象元素：所以Pe与M之关系:

当M=1000X时:

CRT荧光屏尺寸100mm电子束在样品上的扫描长度

有效放大倍数：即Pe

与束斑dsamp必须相适应：当:虚放大，不可分辨景深D：即试样有一定起伏时，能使上下各部都获得同时聚焦的深度。又∴∴二.检测器

三个重要参量

1.take-offAngle:

试样表面与信号探测器的夹角2.探测器立体角：A：探测器立体角r：Sample与探测器之间的距离3.转换率：探测器响应值与接受信号的百分比1.闪烁晶体－光电倍增系统

PM光电倍增管法拉第罩F作用：

F为-50V偏压：F为+250V偏压：

避免S上的10KV影响eB方向。

take-offAngle:

=30

()a.b.c.无影灯效应立体感强三.反差

C的影响因素：原子序数反差试样两点信号强度S差:形貌反差

(1)原子序数反差。应是信号检测器能在CTR上的反映。SrTiO3基BLC的背散射图像*背散射电子图象与吸收图象之关系：

在Sample上加正偏压:

当η>0.5时：eSC图象有比eBS图象更好的反差。

即对重元素观察吸收电子图象往往更有效。

3.对eSE：两相邻的不同倾角的平均值

两相邻的不同倾角的差值

θ表面抛光浸蚀试样断口试样与有效发射深度有关

θ:d:即:

=0的eSE的发射率R那么有：Rose认为，通常要区别两点反差，必须有：

四.

图象质量：

*图象中反映的信息的清晰程度

决定于S/N(信号/噪声)

通常一点上有

就有次波动。次几率为了观察具有C水平的图象，要求图象上相应点的信号

必须超过：组成一个扫描点的时间为τ，所需的电流强度为

若信号负载者是e,那么：例：观察Al-Fe交界，ε=0.25SEM两个最重要的关系：

最少需要多大的

可以获得的细节情况阈值方程

亮度方程电子束亮度：原子序数反差：用β方程计算，即实际上是求束斑尺寸：

可观察细节，

例：最少需要多大的

可以获得的细节情况ε=0.25观察Al-Fe交界，钨丝T=2700K,加速电压E=25KV

：

习题：第26题第29题教学安排：一.第十三周二.第十四周1.t-ZrO2超细粉体颗粒尺寸的XRD测定仪器宽度标定标样：SrTiO312月12日星期五上课(TEM)2.复习三

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