激光干涉仪作业指导书

东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD激光干涉仪作业指导书文件编号CG-QC-03-001版次A/0页数共24页受文单位□总经办□营销中心□资材部□人力资源部□生产部☑品质部□研发部□工程部□财务部□ISO小组□售服部□采购部核准审核制定汤帅东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号CG-QC-03-001版本版次A/0页码页次2/24文件名称激光干涉仪作业指导书制订部门品质部制订日期2015/11/25修改记录次数修订章节版本修订内容修订修订日期0全文A/0初版发行。汤帅2015/11/25东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/03/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间1仪器介绍1.环境补偿装置2.激光器3.传感器4.三脚架5.云台核准：复核：审核制订：东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/04/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间仪器介绍6.控制板9.镜组核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/05/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间仪器介绍10.气泡水平仪11.环境补偿器核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/06/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间2仪器安装1.将三脚架放在平稳的地面。2.将伸缩式三脚架支脚拉至必要的长度，并用支脚的伸缩扣锁定。调整三脚架的高度，以便在安装ML10激光器后，激光束刚好能击中装在待测机床上的测量镜组。3.展开三脚架的支脚让它站稳固定。把三脚架的支脚拉杆拉长以展开支脚。把三脚架的中心轴拉开以展开支脚，双脚在前，一支脚在后，也不要将三脚架支脚的伸缩扣上得太紧，以便随时调整。4.用中心主轴旁边的小型圆形气泡水平仪来确定三脚架是否平稳。视需要调整三脚架的支脚，直到气泡浮在中央。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/07/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间仪器安装5.确定支脚和拉杆都锁住定位。6.完全取下云台释放柄。将云台安装在三脚架的顶部。重新装上云台释放柄并把它上紧。7.将激光器放上三脚架云台，确定把它适当地架在三点位置之上。为了安全起见，激光器的光闸最初应旋转到它的闭合位置，如图所示。i核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/08/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间仪器安装将气温传感器插口接在补偿单元的空气温度感应器插槽接口上材料温度传感器接在补偿单元的材料温度感应器插槽中的任意一个接口上信号线1和2连接到电脑USB接口上信号线1连接到激光器后面的数据链接插孔上信号线2连接到补偿单元上激光器电源接头连线通电所有的线连接好以后，打开补偿单元开关和激光器开关，开始预热（打开时，状态指示灯呈橘黄色，等10到15分钟后，状态指示灯回变成绿色，说明预热完成）1.各信号线可靠无误2.PC机主板漏电≥25V（交流）3.环境测量点安放可靠核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/09/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间仪器安装1.用手大略准直激光器，让它与机床轴垂直，并指向机床上安装的测量镜组。2.转动云台及调节器，使它们大致位于中心位置，在各方向留下充裕的调整空间。在光束准直过程中要执行的调整如左图所示测量镜组安装时避免水接触镜面核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/010/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间3对光为了确保获得通过机器全轴的信号强度足够大，必须将激光束调整到与运动轴平行。我们假定，将光学镜设定为按照左图所示的那样测量角度扭摆。在该图中，干涉镜是固定光学镜，角度反射镜是移动光学镜。镜组安装角度及平行度确保固定确实可靠核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/011/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间对光1.旋转光闸，以便激光器发出图1中所示的直径变小的光束。图1光束的直径越小，越容易看出任何光路未准直。2.将角度反射镜放在尽可能接近激光器的位置，并确保它与机器垂直.3.将目标安装在光孔中反射镜的前端，在它的旁边有两个红点，如图2.所示。目标应定位成白点朝上。平移激光器或机器，直到光束击中目标上的白点。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/012/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间对光4.取出目标，并检查从反射镜返回的激光束是否击中光闸上的目标中心。如果没有，则平移激光器或机器，直到激光束击中目标的中心。5.将干涉镜尽可能靠近反射镜放置。如果它们的位置离得很近，则只需调整激光头就能完成其余部分的准直调整。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/013/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间对光6.确保干涉镜和反射镜的外表面互相准直并与机床垂直。如果干涉镜放置歪斜，精度就会下降，并可能因光束被遮断而导致检测失败。一般说来，在进行滚摆、俯仰和偏转测量时，最好使干涉镜的准直角度小于±2°，这通常可通过肉眼完成。7.将光靶安装在干涉镜的入射光孔中，使白点在上，并垂直和水平平移干涉镜，以便光束击中光靶。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/014/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间对光8.从线性干涉镜取下光靶，并检查从干涉镜返回的激光束是否击中从反光镜返回的激光束上方的光闸上的中心。如果没有，则平移干涉镜，直到激光束击中白色光靶的中心。注：在干涉镜和反射镜之间放一张卡以遮断从反射镜返回的光束可能会很有用。行程正负极限光束能量为满光，对光完成。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/015/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间4镭射软件电脑端设置图1打开软件如图1.点击出现目标设定的对话框如图2.3.设定如图2.图2核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/016/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间镭射软件电脑端设置图34.点确定会出现采集数据启动的对话框及设定如图3.5.点击标题信息出现数据标题对话框及设定如图4.图4核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/017/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间镭电射脑软端件设置图56.设定完成点确定，出现自动采集数据设定对话框及设定如图5.修改最小停止周期为0.5秒越程量大小为0毫米完成点确定。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/018/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间5呼叫程式及修改参数G291G91G28X0G00X-1G00X1G4X5M98P100201L50(段数)G00X1G00X-1G4X2M98P100301L50M99%子程式G91G00X16(螺距)G4X2M99%7.呼叫程式100201（X轴）.100202（Y轴），100203（Z轴），根据行程目标设定对话框修改程式。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/019/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间呼叫程式及修改参数N04001PXN04024P4301N04002PXN04024P4301N04003P4150N04025P4330N04004P4101N04026P2N04005P4150N04027P20000N04006P2N04007P20000N04011PYN04012PYN04013P4230N04014P4201N04015P4230N04016P2N04017P20000N04021PZN04022PZN04023P43308.三菱系统参数设行程极限2013设-2.0，2014设2.0，其它参数如左边设定。倍隙2011清零，机械误差4101~4150，4201~4230，4301~4330，之间清零。核准：复核：审核:制订::东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/020/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间呼叫程式及修改参数N03620A1P50A2P130A3P235N03621A1P1A2P101A3P201N03622A1P51A2P131A3P236N03623A1P1A2P1A3P1N03624A1P20000A2P20000A3P200009.法那科参数设定行程极限1320设2000，1321设-2000，其它参数如左边设定，倍隙1852清零，间距1~51，101~131，201~231，清零。核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/021/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间6采集数据选择性停止开关打开运行程式到M00停止。电脑端点击如图所示运行程式采集数据来回1遍电脑核准：复核：审核:制订:东莞程工自动化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件编号：CG-QC-03-001版次页次制订部门制订日期修订日期文件名称激光干涉仪作业指导书A/022/24品质部2015/11/25/检验项目图示检验步骤品质要求工量治具作业时间7补偿数据图1运行完成之后点击会出现绘所有曲线点击菜单分析数据中的误差补偿图表及设定如图1.点击绘制误差补偿图表如图2.将反向间隙补到参数2011（三菱系统需乘以2）1852（法那科按原数补），补偿螺杆间隙需从后向前依次补入。图2核准：