S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(维护版)59

日立扫描电子显微镜（SEM）维护手册S-48001、每一个月检查冷却循环水，及时记录水面是否下降并补充。换水以及清洗过滤网（频率：1年1次以上）2、空气压缩机的维护（频率：半个月一次，1个月1次以上）压缩机内部排水3、机械泵、干泵的维护（频率：半年1次以上（机械泵），1年1次（油泵））机械泵：半年1次以上，当油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机→交换油→开机油泵：1年1次，委托服务人员维护保养。4、烘烤与机械对中（频率：1年1次以上）烘烤1.关闭电脑，前面板Display，和循环水。2.拧开X轴向的两个小螺丝，取下最上端的电磁罩3.松开电子枪的螺纹盖，取下电子枪套入左侧两个圆环处。注意手不要碰到电子枪内壳4.松开Y轴向两个螺丝，注意用手掩护防止螺丝往里掉。取下镜筒罩。5.拿烘烤装置围在镜筒上，并用专用帽子盖上，拧紧螺丝。6.把两根内加热线插入电子枪桶的两个X轴向的小凸起上，并整理好内外电线，使其不接触到加热部位，防止烧坏，并引到右侧后台的接线盖处。7.松开右侧后台的接线盖，分别插入内外线插槽，用螺丝拧紧接线盖。8.设置前面板，通常烘烤必须保证冷却6Hour,加热时间可变，常用8小时,且外烘烤先启动，两个小时后内烘烤才启动。故可设Mode/Bake闪动时按下select0u8(=out8hour)In6。此时转到后面板调整开关为Bake开，Display关，其他勿动。再回到前面板按下start。若无意外，烘烤设置成功，倒计时几秒后即开始。判断烘烤是否成功开始标志：a)按下start后无报警现象b)烘烤镜筒部位发热c)IP1-3真空度下降，由E-7到E-6简单版烘烤流程拆下最上端电磁罩→拆下电子枪→取下镜筒罩→装上Outer加热器→装上Inner导线→把两队导线连接到后面板→放置高温牌提醒→前面板定时→开后面板总开关→开始烘机械对中1.软件设置1KV，flash记下电流值2.电子束光阑由1逆时针调到0，物镜可动光阑由3调到03.软件菜单栏setup/column下聚光镜condlen1、condlen2前面的勾去掉。（对话框勿关）4.放入15mm空样品台，size选15mm，height选+1，z=8mm。加高压HV5.选软件Align/BeamAlign可看到光斑，调节桌面操作版上的对比度（大一点）和亮度（小点），使光斑轮廓较清晰。6.机械操作a)用大螺丝刀（调节灯丝合轴）使光斑居中，东北西南两螺丝是X方向，西北东南是Y轴方向，通常一轴调节时先松螺丝，再同时拧紧螺丝。b)把电子束光阑顺时针调到1号，调节光阑壁上的两个旋钮c)物镜可动光阑顺时针调到3号，调节光阑壁上的两个旋钮d)勾上软件对话框len1,再调节4个小螺丝刀，最后拧紧e)再勾上len2，degauss（消磁）关闭对话框。f)ABC一下，选频率2K，focus一下，先找到样品台上明显白色物质，调最小边两个小螺丝，使画面不晃动，通常紧些较好。g)

机械对中完毕，可进行实物测量。紧急停电关机处理紧急关机在紧急情况下，按下红色EMERGENCYOFF按钮顺时针旋转到底，系统关机后，将各开关按钮拨至正常停机位置。短时间关机：退出PC_SEM程序→退出WindowsXP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后MultiIndicator区域显示“POFF”→关闭MAINSWITCH→关闭电源总开关。S-4800长时间停机程序1.先关闭HV和PC，然后关闭DISPLAY，关闭STAGE；2.将EVACPOWER拨到O（OFF），等待30分钟（目的：冷却物镜可动光栏）和5分钟（TMP关闭），真空系统（离子泵停下来后分子泵会停）停止。面板上显示有’P0FF’字样；3.将IP1，IP2，IP3都拨到OFF档；4.将关闭IP，EVAC，DISP