ESD基础知识培训教材OFILM2013课件

1ESDBasicKnowledgeTrainingESD防护基础知识培训欧菲光科技股份有限公司1ESDBasicKnowledgeTraining欧

随着IT业的突飞猛进,特别是电子信息化和微电子迅速发展.元件线路越来越精细,功耗越来越低.精细和低功耗的微结构对ESD承受力越来越差,对工艺控制提出新的要求.前言12060805060304020201随着IT业的突飞猛进,特别是电子信息化和微电子迅速发第一章静电的定义和产生途径?第三章EPA区域基本要求。第四章个人防静电装备检测方法。第五章异常处理和报告流程。第二章ESD定义和ESD的危害。课程大纲：第一章静电的定义和产生途径?第三章EPA区域基本要求4静电的定义能长时间停留在某一对象上相对静止的电荷特点：

单极性-正电荷或负电荷

分布不均匀。通常边角静电更大

4静电的定义能长时间停留在某一对象上相对静止的电荷特点：55静电产生的第一种途径:摩擦带电+4-4Net=0+3-3Net=0+4-3Net=+1+3-4Net=-1⑴摩擦带电产生原理:接触摩擦接触分离55静电产生的第一种途径:摩擦带电+4+3+4+3⑴摩擦带电6静电产生的第二种途径:接触带电⑴接触带电过程⑵接触带电特点:-带电绝缘体仅能小面积释放电荷

-带电导体能释放大量的电荷给另一个导体带电绝缘体未接地导体6静电产生的第二种途径:接触带电⑴接触带电过程⑵接触带电特点7静电产生的第三种途径:感应带电-发生于带电体接近导体时:-带电的物体(如绝缘物体或CRT显示器)吸引导体中的电子

-导体内的局部电荷分布不均匀7静电产生的第三种途径:感应带电-发生于带电体接近导体时:8ESD定义ESD(ElectrostaticDischarge-静电放电),它指的是静电电荷在两个不同电势物体上快速转移的现象.静电电荷快速转移到另一对象上.8ESD定义ESD(Electrostatic9静电放电三种模型:⑴人体放电模型-HBM⑵机器模型-MM⑶带电器件模型-CDM说明：类似于人体指尖对器件放电，放电路径从人体到敏感器件．说明：模拟设备金属部分带电后对敏感器件放电，由于放电电阻要比人体模型小许多，因此破坏性更大．说明：由于器件本身带电，在接触低电势时，器件内电荷快速转移到接触面．0.067:1.75:0.99静电放电三种模型:⑴人体放电模型-HBM⑵机器模型-MM⑶1060~75%EOS/ESD其他30~50%EOS/ESD8~33%ESDalone损失是巨大的！欧洲调查数据其他其他美国ESD协会调查数据日本调查数据ESD对电子业造成的损失1060~75%EOS/ESD其他30~50%E11ESD损伤类型:1.完全损坏:元器件功能完全失效,介质层被击穿.引脚电阻呈现短路或开路,电磁质性能反转.2.局部损坏(也称潜在损伤):电性能参数弱化,介质层局部被破坏.元件多数在老化工序或用户使用一段时间后失效.11ESD损伤类型:1.完全损坏:元器件功能完全失效,介质层12局部损坏的风险会逐级放大价值$5元器件在IC厂发生ESD局部损坏，由于元器件只是局部ESD损伤,在后续工序检测中不易发现，被组装到一台设备中导致故障损失可能是$500012局部损坏的风险会逐级放大价值$5元器件在IC厂发生ESD13导入ESD防护的效益:3.满足客户要求,提高市场分额。1.提高产品的质量,降低不良率.2.保证产品的可靠性.13导入ESD防护的效益:3.满足客户要求,提高市场分额。114EPA区域基本要求IQCInspectManufactureProcessESDS

WarehouseOQCInspect在静电敏感元器件的检查,存储和制造过程设置静电防护区域（EPA）并进行标示识别.14EPA区域基本要求IQCManufactureESDS15EPA区域应在入口地方或EPA区域明显地方张贴悬挂ESD警示标示和ESD防护区域标示15EPA区域应在入口地方或EPA区域明显地方张贴悬挂ESD161.人员进入EPA区域前，应在入口处检测手腕带或鞋人体综合电阻，检测合格后再进入。161.人员进入EPA区域前，应在入口处检测手腕带或鞋人体综172.上班前点检工作区域的接地连接，坐着作业前需使用手腕带与接地系统连接。172.上班前点检工作区域的接地连接，坐着作业前需使用手腕带183.配备离子风机工位应检查离子风机正常开启，并对准产品或作业区域。183.配备离子风机工位应检查离子风机正常开启，并对准产品或194.所有不必要的绝缘物品如饮料杯，食品包装袋及个人物品应该从EPA工作台清除。194.所有不必要的绝缘物品如饮料杯，食品包装袋及个人物品应205.必要的辅料，物品划定一个区域定位存放，与静电敏感器件保持30cm以上距离。记录表放置区辅料放置区作业区205.必要的辅料，物品划定一个区域定位存放，与静电敏感器件216.EPA工具，治具等绝缘塑料外壳应定期使用静电喷涂液喷涂，做消静电处理。216.EPA工具，治具等绝缘塑料外壳应定期使用静电喷涂液喷227.静电敏感器件应避免杂乱堆放或直接放在金属台面或纸板上，应使用防静电托盘定量定位存放。227.静电敏感器件应避免杂乱堆放或直接放在金属台面或纸板上238.静电敏感器件没有防静电材料覆盖或屏蔽包装的，需在EPA区域内作业或存放，在非EPA作业区域禁止随意取拿。238.静电敏感器件没有防静电材料覆盖或屏蔽包装的，需在EP249.工序负责人按要求定时点检环境温湿度并记录，绘制温湿度走势图，异常及时通知相关人员调整。249.工序负责人按要求定时点检环境温湿度并记录，绘制温湿度2510.工作人员进入EPA区域前需接受ESD防护知识培训，没有经过培训需进入EPA的人员，要求由受培训过的人员陪同。2510.工作人员进入EPA区域前需接受ESD防护知识培训，26个人防静电装备检测方法Step1:穿防静电鞋，佩戴手腕带Step2:人站在脚印踏板上，手腕带插入测试仪器插孔Step3:手按测试按钮金属板，观察左侧三个指示灯亮绿灯即测试“Pass”26个人防静电装备检测方法Step1:穿防静电鞋，佩戴手腕27人员静电防护装置佩戴测试进入静电防护区域静电防护区域设施定期检查ESD得到控制改善处理PassNGPassNG异常处理和报告流程不符合要求的请及时纠正或汇报上级处理27人员静电防护装置佩戴测试进入静电防护区域静电防护区域ES28ThankYou!Q&A28ThankYou!演讲完毕，谢谢观看！演讲完毕，谢谢观看！30ESDBasicKnowledgeTrainingESD防护基础知识培训欧菲光科技股份有限公司1ESDBasicKnowledgeTraining欧

随着IT业的突飞猛进,特别是电子信息化和微电子迅速发展.元件线路越来越精细,功耗越来越低.精细和低功耗的微结构对ESD承受力越来越差,对工艺控制提出新的要求.前言12060805060304020201随着IT业的突飞猛进,特别是电子信息化和微电子迅速发第一章静电的定义和产生途径?第三章EPA区域基本要求。第四章个人防静电装备检测方法。第五章异常处理和报告流程。第二章ESD定义和ESD的危害。课程大纲：第一章静电的定义和产生途径?第三章EPA区域基本要求33静电的定义能长时间停留在某一对象上相对静止的电荷特点：

单极性-正电荷或负电荷

分布不均匀。通常边角静电更大

4静电的定义能长时间停留在某一对象上相对静止的电荷特点：3434静电产生的第一种途径:摩擦带电+4-4Net=0+3-3Net=0+4-3Net=+1+3-4Net=-1⑴摩擦带电产生原理:接触摩擦接触分离55静电产生的第一种途径:摩擦带电+4+3+4+3⑴摩擦带电35静电产生的第二种途径:接触带电⑴接触带电过程⑵接触带电特点:-带电绝缘体仅能小面积释放电荷

-带电导体能释放大量的电荷给另一个导体带电绝缘体未接地导体6静电产生的第二种途径:接触带电⑴接触带电过程⑵接触带电特点36静电产生的第三种途径:感应带电-发生于带电体接近导体时:-带电的物体(如绝缘物体或CRT显示器)吸引导体中的电子

-导体内的局部电荷分布不均匀7静电产生的第三种途径:感应带电-发生于带电体接近导体时:37ESD定义ESD(ElectrostaticDischarge-静电放电),它指的是静电电荷在两个不同电势物体上快速转移的现象.静电电荷快速转移到另一对象上.8ESD定义ESD(Electrostatic38静电放电三种模型:⑴人体放电模型-HBM⑵机器模型-MM⑶带电器件模型-CDM说明：类似于人体指尖对器件放电，放电路径从人体到敏感器件．说明：模拟设备金属部分带电后对敏感器件放电，由于放电电阻要比人体模型小许多，因此破坏性更大．说明：由于器件本身带电，在接触低电势时，器件内电荷快速转移到接触面．0.067:1.75:0.99静电放电三种模型:⑴人体放电模型-HBM⑵机器模型-MM⑶3960~75%EOS/ESD其他30~50%EOS/ESD8~33%ESDalone损失是巨大的！欧洲调查数据其他其他美国ESD协会调查数据日本调查数据ESD对电子业造成的损失1060~75%EOS/ESD其他30~50%E40ESD损伤类型:1.完全损坏:元器件功能完全失效,介质层被击穿.引脚电阻呈现短路或开路,电磁质性能反转.2.局部损坏(也称潜在损伤):电性能参数弱化,介质层局部被破坏.元件多数在老化工序或用户使用一段时间后失效.11ESD损伤类型:1.完全损坏:元器件功能完全失效,介质层41局部损坏的风险会逐级放大价值$5元器件在IC厂发生ESD局部损坏，由于元器件只是局部ESD损伤,在后续工序检测中不易发现，被组装到一台设备中导致故障损失可能是$500012局部损坏的风险会逐级放大价值$5元器件在IC厂发生ESD42导入ESD防护的效益:3.满足客户要求,提高市场分额。1.提高产品的质量,降低不良率.2.保证产品的可靠性.13导入ESD防护的效益:3.满足客户要求,提高市场分额。143EPA区域基本要求IQCInspectManufactureProcessESDS

WarehouseOQCInspect在静电敏感元器件的检查,存储和制造过程设置静电防护区域（EPA）并进行标示识别.14EPA区域基本要求IQCManufactureESDS44EPA区域应在入口地方或EPA区域明显地方张贴悬挂ESD警示标示和ESD防护区域标示15EPA区域应在入口地方或EPA区域明显地方张贴悬挂ESD451.人员进入EPA区域前，应在入口处检测手腕带或鞋人体综合电阻，检测合格后再进入。161.人员进入EPA区域前，应在入口处检测手腕带或鞋人体综462.上班前点检工作区域的接地连接，坐着作业前需使用手腕带与接地系统连接。172.上班前点检工作区域的接地连接，坐着作业前需使用手腕带473.配备离子风机工位应检查离子风机正常开启，并对准产品或作业区域。183.配备离子风机工位应检查离子风机正常开启，并对准产品或484.所有不必要的绝缘物品如饮料杯，食品包装袋及个人物品应该从EPA工作台清除。194.所有不必要的绝缘物品如饮料杯，食品包装袋及个人物品应495.必要的辅料，物品划定一个区域定位存放，与静电敏感器件保持30cm以上距离。记录表放置区辅料放置区作业区205.必要的辅料，物品划定一个区域定位存放，与静电敏感器件506.EPA工具，治具等绝缘塑料外壳应定期使用静电喷涂液喷涂，做消静电处理。216.EPA工具，治具等绝缘塑料外壳应定期使用静电喷涂液喷517.静电敏感器件应避免杂乱堆放或直接放在金属台面或纸板上，应使用防静电托盘定量