2022年离子注入设备行业发展报告

2022年离子注入设备行业发展报告目录contents离子注入设备行业概述01离子注入设备行业环境02离子注入设备行业现状03离子注入设备格局与发展趋势04PART01离子注入设备行业概述离子注入机主要应用于半导体和光伏领域，半导体领域中属于晶圆制造设备，主要用于晶圆制造流程中的注入（掺杂）工序，主要方式和目的是通过加入少量杂质使得原本导电性能很差的纯净硅变为一种有用的半导体。通过离子注入机的加速和引导，将需掺杂离子以离子束形式入射到材料中去，发生一系列理化反应从而优化材料表面性能。离子注入相较以往的高温热扩散法存在精确控制能量和剂量、均匀性好、纯度高等优点，已基本取代高温热扩散法成为主流工艺。根据离子束电流和束流能量范围，一般可以把离子注入机分为低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机，应用存在区别，如高能离子注入机因电子束能量较高，主要用于深埋层。离子注入机主要用于掺杂工艺。目前从掺杂工艺技术上有2种方法:一是高温热扩散法，即将掺杂气体导入放有硅片的高温炉，将杂质扩散到硅片内的一种方法；二是离子注入法，通过离子注入机的加速和引导，将要掺杂的离子以离子束形式入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子发生一系列理化反应，入射离子逐渐损失能量，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，最后停留在材料中，从而优化材料表面性能，或使材料获得某些新的性能。行业定义离子注入设备行业定义产业链上游87%90%67%98%离子注入设备行业上游龙头企业已开始对产业链进行延伸，逐渐进军原材料生产领域，以规避高额进口原料的成本支出，攫取上游毛利。此外，伴随着上游原料生产企业的重组进程加快以及中国市场参与者技术水平的提高，离子注入设备行业上游原材料供应有望朝着专业化和规模化的方向继续发展，逐渐抢夺外资企业在行业内的话语权。产业链中游离子注入设备行业中游企业原材料大部分依靠进口，主要原因是下游消费终端为保障科研成果，对行业产品的质量稳定性要求较高，因此，中游科研用制备厂商更倾向于选择仪器先进、供应链稳定的进口原材料供应商。企业产品价格主要受市场供求关系的影响。由于离子注入设备企业的产品毛利较高，原材料价格波动不会对企业的盈利能力产生重大影响。产业链下游离子注入设备行业下游企业市场空间广阔、销售范围广、用户分散、单批数量少、销售单价高等特点。随着全球范围内生物医药行业研究的深入及产业化程度的提升，中国行业产品种类进一步丰富，应用领域持续增加，个性化、高端化的产品将逐渐获得更广阔的应用空间。PART02离子注入设备行业发展环境政治环境2《国家集成电路产业发展推进纲要》《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录(2016)》《首台（套)重大技术装备推广应用指导目录(2019年版）》突破集成电路关键装备和材料，加强集成电路装备、材料与工艺结合，研发光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备主要包括6英寸/8英寸/12英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等将高效N型晶体硅太阳能离子注入机等太阳能电池生产装备，以及中束流、大束流、高能离子注入机等集成电路生产装备列入名录《上海市先进制造业发展“十四五”规划》集成电路为重点发展领域，“十四五”规划建设世界级产业集群。在装备材料方面，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备,检测设备等集成电路前道核心工艺设备言战网经济环境80%60%40%20%0%100%12月11月10月9月8月7月6月5月4月65%为客户服务是我们存在的唯一理由，客户需求是我们发展的原动力。我们坚持以客户为中心，快速响应客户需求，持续为客户创造长期价值进而成就客户。为客户提供有效服务，是我们工作的方向和价值评价的标尺，成就客户就是成就我们自己为客户服务是我们存在的唯一理由，客户需求是我们发展的原动力。我们坚持以客户为中心，快速响应客户需求，持续为客户创造长期价值进而成就客户为客户服务是我们存在的唯一理由，客户需求是我们发展的原动力。我们坚持以客户为中心，快速响应客户需求，持续为客户创造长期价值进而成就客户我们的分析社会环境101中国当前的环境下，挑战与危机并存，中国正面临着最好的发展机遇期，在风险中寻求机遇，抓住机遇，不断壮大自己。自改革开放以来，政治体系日趋完善、法治化进程也逐步趋近完美，市场经济体系也在不断蓬勃发展；虽在一些方面上弊端漏洞仍存，但在整体上，我国总体发展稳中向好，宏观环境稳定繁荣，二十一世纪的华夏繁荣美好，对于青年人来说，也是机遇无限的时代。02改革开放以来，我国经济不断发展，几度赶超世界各国，一跃而上，成为GDP总量仅次于美国的唯一一个发展中国家。但同时我们也应看到其中的不足之处，最基本的问题便是就业问题，我国人口基数大，在改革开放后，人才的竞争更显得尤为激烈，大学生面对毕业后的就业情况、失业人士一直困扰着我国发展过程中，对于国家来说，促进社会就业公平问题需持续关注并及时解决；对于个人来说提前做好职业规划、人生规划也是人生发展的重中之重。社会环境2WEAREPROFESSIONAL整体光伏产业来看，根据中国光伏行业协会（CPIA）的统计，2018年全球光伏设备市场规模为48亿美元，同比增8%。太阳能光伏设备可分为硅片生产、电池生产和组件生产三个环节的设备，其中离子注入主要用于电池生产，由于全球仅万业企业旗下凯世通、美国Intevac和日本真空技术三家生产太阳能离子注入机，根据万业企业公告，2017年万业企业旗下凯世通和Intevac分别销售15和2台离子注入机（日本真空技术未披露销量），以600万人民币的平均单价来测算，则2017年离子注入机的市场规模至少为02亿人民币，占2017年全球光伏设备市场规模为0.3%以上。展望未来，随着国内光伏建设的政策支持与方案落地，叠加欧洲、印度与其他新兴国家的发力，全球光伏装机量有望持续增长，从而带来整体光伏设备与太阳能离子注入设备行业的继续成长。行业驱动因素在中美持续对弈、中方政策高度重视、国有基金资金助力的情况下，离子注入机的国产化进程正在加速到来。由于离子注入机在集成电路制造前道设备中的不可替代性和目前被美日龙头企业垄断的市场现状，我国在政策上对离子注入机重视程度较高，在多项政策中将离子注入机的研发列为战略发展目标。政策支持需求驱动:AMOLED已经成为智能移动设备面板的首选，除智能手机，AMOLED面板已渗透到智能手表、车载显示和虚拟现实可穿戴设备等更多应用领域。至2020年,AMOLED面板需求面积年复合增长率将达40.7%。技术需求:目前主流TFT-LCD显示的前段制造工艺和AMOLED前段制造工艺大部分设备相同,由于AMOLED采用LTPSTFT背板,需额外添加激光结晶设备和离子注入机。有望快速突破OLED面板离子注入技术瓶颈离子注入设备占前道晶圆设备市场33份额，目前全球每年市场规模约1B亿美元。根据离子注人设备产率和工艺注入量的不同.估计成熟制程产线每方片/月需要约2台大束流离子注入机，先进制程产线每万片/月需要约4-5台大末流离子注入机。如中芯计划投资76亿美元新建的北京亦庄2Bnm一期.设计产能10方片/月,约需40台离子注入机.总计价值约12亿人民币。长江存储—条月产5方片12英寸存储制造线.已采购30余台离子注入机。中国晶圆厂加速扩建产能,半导体专用设备需求巨大离子注入高效低成本,中国企业凯世通光伏领城实力强。全球光伏离子注入企业仅有三家，除凯世通外,还有美国Irntevac和日本真空。凯世通专注离子注入技术，紧抓中国巨大的市场，光伏领域出货量世界第一、占据光侯离子注入绝对领导地位。中国光伏离子注入机潜在市场规模约为225亿元:根据国家能源局2018年公布2017年全国新增光伏装机58Gw,其中生产线超过000条，未来光伏的发展趋势是高效单品的路线，通过产业链交流假如按照30%技术升级的需求进行估算,中国有近30O条生产线需耍用离子注入设备来改造为N-PERT电池产线,市场空间较大。光伏需求加速离子注入设备改造N-PERT电池产线PART03离子注入设备行业现状行业现状下游消费电子需求回暖，叠加汽车电子产业快速扩张，全球半导体产业景气度高涨带动半导体设备市场规模持续扩张，数据显示，2021年全球半导体设备市场规模达1026.4亿美元，经历了2019年产业的整体萎缩，产业回弹规模更快细分产品类型而言，晶圆制造设备种类众多且技术壁垒深厚，如光刻机等产品价格极高，是半导体设备的主要组成部分，相较2020年结构（晶圆制造设备占比84%、封装和测试分别占比9%和6%），封装设备因销售额同比增长87%左右，远高于晶圆设备增速（44%）和测试设备（30%），占比提升至12%左右。离子注入机属于半导体设备的关键设备，占比晶圆制造设备价值量4-6%左右。关键字为客户服务是我们存在唯一理由，客户需求是我们发展的原动力。我们坚持以客户为中心。行业热点热点一离子注入设备应用领域广泛热点二科研服务市场持续增长热点三行业产品质量整体提高离子注入设备行业热点离子注入设备行业具有市场空间广阔、销售范围广、用户分散、单批数量少、销售单价高等特点。离子注入设备行业技术提升，多元化科研服务平台持续扩张，促进高价值服务企业品牌形成。行业产品化发展，集研发、生产、销售于一体的综合性科研服务企业逐渐增多。离子注入设备行业产品质量有待提升制约离子注入设备行业发展。行业内产品质量参差不齐，导致研究结果可靠性难以保证，产品丧失市场竞争力。离子注入设备行业难形成统一的监督管理规范,产品质量主要靠企业自主检测保障，监管难度大。中国离子注入设备行业产品主要集中在中低端领域，高端领域被外资企业垄断，产品品质有待进一步提升。行业现状就我国离子注入机进口来源分布而言，美国是最大供给国，数据显示2021年我国从美国进口234台离子注入机，金额达6.11亿美元，除此之外，日韩等半导体发展较快的发达国家也是进口关键来源国，分别从日本和韩国进口74和35台。目前高端集成电路离子注入机仍严重依赖进口，就数量而言，进口和出口整体皆表现为稳步增长趋势，进口增速略高于出口增速，尤其2021年国内半导体产也需求大幅度上升背景下，离子注入机进口量增加154台，进口金额增长48.5%至9.13亿美元，出口而言虽然出口量有所上升，但产品主要为中低端产品，对比进出口均价而言，单台离子注入机进口均价是出口均价的40倍以上。

进出口进口来源地市场规模随着下游消费电子领域回升和汽车电子等需求持续增长，2020-2021年全球半导体产业景气度回升，离子注入机市场规模快速扩张，2019年达18亿美元左右，根据半导体设备总体规模变化情况预测，2021年全球离子注入机市场规模将超过30亿美元，2022年上半年来看，主要晶圆厂订单减少，整体半导体设备领域增长将降速，离子注入机需求增长有限。目前，全球离子注入机仍以大束流离子注入机为主，数据显示，大束流离子注入机占全部离子注入机市场份额的61%，中低束流离子注入机及高能离子注入机分别占比20%和18%。主要原因是WorkReport行业痛点离子注入设备行业缺乏完备的质量控制和质量保证体系，生产商缺乏统一的生产标准，行业内产品质量良莠不齐，导致产品的可靠性难以保证，丧失产品市场竞争力质量参差不齐政府秉承创新开放的态度，支持和鼓励科学研究创新，对科学研究试验不设置严格限制，因此，离子注入设备行业不存在统一的监督管理规范，产品质量主要依靠生产企业自主检测，离子注入设备行业产品质量的监管难度加大行业监管难度大高端产品发展落后在中低端产品领域，仍然有较大比例的产品依赖于进口渠道。此外，离子注入设备行业企业缺乏创新研发能力以及仿制能力，加重下游消费端对进口科研用检测试剂的依赖，不利于离子注入设备行业的发展产品质量问题质量参差不齐高端产品发展落后离子注入设备行业缺乏完备的质量控制和质量保证体系，生产商缺乏统一的生产标准，行业内产品质量良莠不齐，导致产品的可靠性难以保证，丧失产品市场竞争力行业监管难度大中国国家政府秉承创新开放的态度，支持和鼓励科学研究创新，对科学研究试验不设置严格限制，因此，离子注入设备行业不存在统一的监督管理规范，产品质量主要依靠生产企业自主检测，离子注入设备行业产品质量的监管难度加大在中低端产品领域，仍然有较大比例的产品依赖于进口渠道。此外，离子注入设备行业企业缺乏创新研发能力以及仿制能力，加重下游消费端对进口科研用检测试剂的依赖，不利于离子注入设备行业的发展行业发展建议（1）政府方面：政府应当制定行业生产标准，规范离子注入设备行业生产流程，并成立相关部门，对科研用离子注入设备行业的研发、生产、销售等各个环节进行监督，形成统一的监督管理体系，完善试剂流通环节的基础设施建设，重点加强冷链运输环节的基础设施升级，保证离子注入设备行业产品的质量，促进行业长期稳定的发展；（2）生产企业方面：离子注入设备行业生产企业应严格遵守行业生产规范，保证产品质量的稳定性。目前市场上已有多个本土离子注入设备行业企业加强生产质量的把控，对标优质、高端的进口产品，并凭借价格优势逐步替代进口。此外，离子注入设备行业企业紧跟行业研发潮流，加大创新研发力度，不断推出新产品，进一步扩大市场占有率，也是未来行业发展的重要趋势。提升产品质量全面增值服务多元化融资渠道单一的资金提供方角色仅能为离子注入设备行业企业提供“净利差”的盈利模式，离子注入设备行业同质化竞争日趋严重，利润空间不断被压缩，企业业务收入因此受影响，商业模式亟待转型除传统的离子注入设备行业需求外，设备管理、服务解决方案、贷款解决方案、结构化融资方案、专业咨询服务等方面多方位综合性的增值服务需求也逐步增强。中国本土离子注入设备行业龙头企业开始在定制型服务领域发力，巩固行业地位可持续公司债等创新产品，扩大非公开定向债务融资工具（PPN）、公司债等额度获取，形成了公司债、PPN、中期票据、短融、超短融资等多产品、多市场交替发行的新局面；企业获取各业态银行如国有银行、政策性银行、外资银行以及其他中资行的授信额度，确保了银行贷款资金来源的稳定性。离子注入设备行业企业在保证间接融资渠道通畅的同时，能够综合运用发债和资产证券化等方式促进自身融资渠道的多元化，降低对单一产品和市场的依赖程度，实现融资地域的分散化，从而降低资金成本，提升企业负债端的市场竞争力。以远东宏信为例，公司依据自身战略发展需求，坚持“资源全球化”战略，结合实时国内外金融环境，有效调整公司直接融资和间接融资的分布结构，在融资成本方面与同业相比优势突出。PART04离子注入设备格局与发展趋势竞争格局竞争格局1全球离子注入机的领先企业主要分布在中国、美国和日本，其中，中国大陆拥有凯世通和中科信两家离子注入机行业的龙头企业，凯世通在光伏离子注入机方面遥遥领先。而美国则拥有近乎垄断IC离子注入机市场的应用材料，以及Axcelis、等企业，前者占据了70%左右的市场份额，而后者则占据了20%左右的市场份额。日本也拥有日新、日本真空、住友重工等离子注入机知名厂商。凯世通作为万业企业旗下子公司，2020年受疫情影响离子注入机营收大幅度下降，2021年产业回暖，达23亿元，毛利水平整体较高。竞争格局2综合来看，目前市场上离子注入机主要由美国和日本的厂商垄断，知名公司还有台湾AIBT汉辰科技、日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）,SEN和Invetac等，其中日新公司是AMOLED离子注入机市场垄断厂家，汉辰科技产品主要服务于台积电，而国内起步较晚，目前主要代表性的企业仅有凯世通和北京中科信电子装备两家:（1）中电科电子装备自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大02专项所取得重大成果的缩影。（2）光伏竞争格局目前全球只有凯世通、美国Intevac公司、日本真空3家公司主要从事光伏离子注入机的生产制造，凯世通的光伏离子注入机更被广泛应用，市场占有率